【課題】センサの取り付け位置調整をすることなく良好な計測信号を得ることが容易に可能な物理量計測装置、及び該物理量計測装置を備えた磁気浮上装置、真空ポンプを提供する。
【解決手段】コイルのインダクタンス変化によって振幅変調された高周波電圧に基づいて物理量を計測するセンサにおいて、コイルに被変調高周波電圧の周波数特性又は高周波電圧の周波数の可変手段を設けることによって、コイル又はそのコアの取り付け位置調整を必要とせずにセンサ感度の調整を可能にする。また、差動手段を設け、計測信号と調整可能な基準値信号の差を出力することにより、消費電力を低減し低飽和増幅器の採用を可能にする。更に、上記の調整手段を磁気軸受若しくは真空ポンプの機構部に配置することによって、機構部とコントローラの互換性を向上する。 （もっと読む）

【課題】Ｈ_２ＳまたはウェットＣＯ_２を包含している腐食環境中で動作するに適したステータを提案する。
【解決手段】エアギャップによってローターから分離された複数の磁極片３８を有している加圧回転機械のためのジャケット付き電磁機械ステーターは、前記ステーターを前記腐食環境から保護するハーメチックシールエンクロージャーが、前記磁極片に合って配置された前記腐食環境に接触しない磁性体象眼３６Ｂを有している非磁性シリンダー３６Ａによって構成されたジャケットを有しており、前記ハーメチックシールエンクロージャーは、どんな熱処理にもさらされなかった溶接部によって互いに固定される非磁性体３６Ａで作られたパーツによって構成されている。 （もっと読む）

【課題】制御電流用コイルとバイアス電流用コイルとが別個に設けられた磁気軸受けにおいて、巻線工程を簡略化できるようにする。
【解決手段】円環状のバックヨーク（23）を設ける。バックヨーク（23）の内周沿いに、回転軸（13）と対向する複数のティース（24）を設ける。それぞれのティース（24）には第１コイル（Cd）（制御電流用コイル）を設ける。ティース（24）に波巻されて形成された第２コイル（Cb）（バイアス電流用コイル）を設ける。 （もっと読む）

【課題】回転体の磁気軸受装置において、その各電磁石の容量を自由に設計でき、負荷容量を過不足なく設定できる磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】回転体の磁気軸受において、回転体の並進運動を制御する並進運動制御回路２３と、該回転体の傾斜運動を制御する傾斜運動制御回路２４を具備する磁気軸受制御装置において、ラジアル電位センサ部の信号を入力として、ラジアル電磁石のｘ、ｙ方向の力に作用する不平衡消去回路３６を並列接続した。 （もっと読む）

【課題】耐久性を確保しつつ、軽い操作力での開閉を可能にすることができる回転ユニットを提供すること。
【解決手段】回転ユニット１０に、鉛直方向に延在する軸部１２を有する軸側部材１１と、軸部１２が入り込む中空部２３を有すると共に、中空部２３に軸部１２が入り込んだ状態で相対回転可能に軸部１２を支持する支持側部材２１と、軸側部材１１における鉛直方向で支持側部材２１に対向する面に配設される軸側磁石１６と、対向面同士の極性が同じ極性で軸側磁石１６に対向するように支持側部材２１に配設される支持側磁石２６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、溶融凝固バルク体を用いずに構成された新規な超電導軸受装置の提供を目的とする。また、本発明は、大型化した場合にも容易に製造可能な超電導軸受装置の提供を目的とする。
【解決手段】本発明の超電導軸受装置３０は、超電導部と磁石が動径方向に対向しているラジアル型の超電導軸受装置３０であって、軸２０と、この軸２０の周囲に配置される軸受１０を備え、軸２０の外周部２２Ａ、または、軸受１０を構成している超電導部が、テープ状の超電導線材の両端部を接合してリング状とされ、且つこのリング径方向に超電導体のｃ軸が放射状に向いている超電導リングよりなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
機能性を損なうことなくターボ機械の製造費用を削減する。
【解決手段】
機械ハウジング（１）と、少なくとも１つのインペラ（３）を支持するロータシャフト（２）と、少なくとも１つの能動型磁気軸受（５Ａ，５Ｂ）を備える軸受装置と、少なくとも１つのギャップセンサ（６Ａ，６Ｂ）と、このギャップセンサ（６Ａ，６Ｂ）に接続された、能動型磁気軸受（５Ａ，５Ｂ）を制御するための制御機器（８）とを有するターボ機械であって、ギャップセンサ（６Ａ，６Ｂ）によって位置決定をするために、ロータシャフト（２）に、ギャップセンサ（６Ａ，６Ｂ）と協働するターゲット面（７Ａ，７Ｂ）が配設されている形式のものにおいて、ターゲット面（７Ａ，７Ｂ）として、ロータシャフト（２）のベース材料上に形成された銅層を設ける。 （もっと読む）

【課題】石油及びガス環境下で、耐食性で使用可能な磁気ベアリングの提供。
【解決手段】回転マシン用の被覆されたアクティブ磁気ベアリングで、プロセスガスと接触するロータに取着された薄層磁気材料のベアリングアーマチュア３１と薄層磁気材料のヨーク４３に巻き付けられた電磁石巻線４２のベアリングステータ４１を有し、ベアリングステータは、第１の耐漏ハウジング４０を形成するために第１のハウジング部分と協働する磁気耐食材料のフェライト系ステンレス鋼の第１のジャケット３４で保護され、第１のハウジング部分は、フェライト系ステンレス鋼ででき、かつ電磁石巻線及びベアリングステータのヨークが適所に置かれる前に、溶接部３６Ａ、３６Ｂ；３７Ａ、３７Ｂで磁気耐食材料のハウジング端壁部分４４に接続された挿入部３８Ａ；３８Ｂを有して、ベアリングアーマチュア及び検出器アーマチュアの薄層磁気材料をフェライト系ステンレス鋼とする。 （もっと読む）

【課題】本発明はモータに関する。
【解決手段】本発明の一実施例によるモータは、第１マグネットが提供される回転部材と、上記回転部材を支持し、上記第１マグネットと磁気ベアリング部を構成する第２マグネットが提供される固定部材とを含み、上記第１マグネットと上記第２マグネット間のギャップは上記回転部材と上記固定部材の間に形成される接触防止ギャップ及びシャフトと上記シャフトを支持するスリーブ間の間隙のうち少なくとも１つより大きく形成されることができる。 （もっと読む）

【課題】高速回転状態での振れまわり測定を行うことなく、波形振幅値を用いて振れまわりを容易に推定することができる振れまわり推定方法の提供。
【解決手段】磁気浮上式真空ポンプの振れまわり推定方法は、ロータ３０を目標浮上位置に磁気浮上させる磁気浮上工程と、目標浮上位置に磁気浮上しているロータ３０を複数の回転位置に順に停止させ、各停止時における２対の電磁石の電流をそれぞれ計測する電流計測工程と、２対の電磁石の少なくとも一方の対に関して、対を成す電磁石の電流の差分を複数の回転位置の各々について算出する差分算出工程と、ロータ３０が一回転する間の差分の変化の振幅値を算出する振幅値算出工程と、予め得られている振れまわり量と振幅値との相関関係および振幅値算出工程で算出された振幅値に基づいて、ロータ３０の振れまわり量を推定する推定工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】コストアップを抑えつつ、回転体が過熱判定温度を超えたことを検知することができる磁気浮上式真空ポンプの提供。
【解決手段】磁気浮上式真空ポンプでは、ロータ３０とロータシャフト３３とが一体化された回転体はモータ３６により回転駆動され、その回転体はラジアル磁気軸受３７およびスラスト磁気軸受３８を備える磁気軸受装置によって所定位置に磁気浮上している。そして、真空ポンプは、回転体を構成するロータシャフト３３に熱的に接触するように設けられ、回転体を構成するロータ３０の過熱判定温度に対応したキュリー温度Ｔcを有する磁性体４１と、磁性体４１を吸引して回転体に対して軸方向の力を作用する永久磁石４０と、スラスト磁気軸受３８の励磁電流を検出する電流センサと、電流センサで検出される励磁電流Ｉの変化から、回転体を構成するロータ３０の温度が過熱判定温度を超えたか否かを判定する判定回路と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】線形性を向上させ、かつ製造コストを減少させた回転機械の回転シャフトの軸方向位置の検出装置を提供する。
【解決手段】回転シャフト１０の端部１１に設置された強磁性材料のターゲット１２と、エアギャップ６０を残しつつ回転機械の構造に固定され、ターゲットと対向配置された固定磁気回路３２に接続された誘導コイル３１と、誘導コイルに給電するための給電回路とを含む装置であり、給電回路が、誘導コイルの第１端部と基準電圧（０Ｖ）に位置する領域との間に接続されたＡＣ電源と、誘導コイルの第１端部と第２端部との間に接続された少なくとも１つのコンデンサと、第２端部と基準電圧に位置する領域との間に挿入された検出器デバイスとを、第２端部と基準電圧に位置する領域との間を流れる電流の大きさについての情報をライン上に供給するために有し、情報は、所定の公称値ｅ０を有するエアギャップの幅の変更値ｘを表す装置である。 （もっと読む）

【課題】小型化を図ることができるラジアル磁気軸受装置の提供。
【解決手段】ラジアル磁気軸受装置は、ロータに固定されたシャフト３を磁気的に非接触支持するラジアル電磁石と、変位センサと、ラジアル電磁石の電流を制御する磁気軸受駆動制御部と、を備えている。そして、ラジアル電磁石は、ロータのシャフト３を挟むように対向配置された一対のＮ極用凸部５２ｘｐ、５２ｘｍおよびシャフト３を挟むように対向配置された一対のＳ極用凸部５２ｙｐ、５２ｙｍが形成された環状のコア５０と、一対のＮ極用凸部５２ｘｐ、５２ｘｍおよび一対のＳ極用凸部５２ｙｐ、５２ｙｍの各々に巻き回された４つの電磁石コイル５３と、を有している。磁気軸受駆動制御部は、変位センサの検出値に基づいて、一対のＮ極用凸部５２ｘｐ、５２ｘｍから出た磁束線が一対のＳ極用凸部５２ｙｐ、５２ｙｍへと入るように４つの電磁石コイル５３に流れる電流を制御する。 （もっと読む）

【課題】電磁石の浮上制御電流には主にセンシングキャリア周波数より低い周波数の成分が含まれているので、電磁石電流からセンシングキャリア成分のみを抽出して増幅したとしても、位置検出用信号のＳＮ比を上げることは困難であった。
【解決手段】電磁石ＭＧの駆動信号中に混入されているセンシングキャリア成分を検出することにより被支持体１２と電磁石ＭＧとの距離ｘを検出するに際し、電磁石駆動回路６の電源端子間に接続されているバイパスコンデンサＣに流れるセンシングキャリア成分を検出する。このことにより、位置検出信号のＳＮ比を上げることができる。これは、高い周波数を持つセンシングキャリア成分は主にバイパスコンデンサＣから供給されるという点に着目したものである。 （もっと読む）

【課題】腐食環境下でも良好な磁気軸受を提供する。
【解決手段】本発明は、封入磁石アセンブリを提供し、このアセンブリは、少なくとも１つの壁１６４を含み且つ少なくとも１つのアパーチャを画定するハウジング内に設けられた磁石１５８と、ハウジングカバーとを含む。ハウジングカバーは、磁性材料からなる第１部分１５４と非磁性材料からなる第２部分１５２を含み且つアパーチャを密閉するように構成されており、第１部分が第２部分に固定して取り付けられ、ここで取り付け部分が熱処理されている。ハウジングの壁１６４は、非磁性材料で形成され、ハウジングカバーの第２部分に固定して取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】流体膜軸受と組み合わせた磁気軸受を用いて流体膜軸受の不安定性を制御する方法の提供。
【解決手段】流体膜軸受１８が主耐荷軸受として作用し、磁気軸受アッセンブリ１２がこの流体膜軸受の不安定性を制御する。この効果的な組み合わせによって、安定性の問題も信頼性の問題もなく高速で使用できる軸受が提供される。流体膜軸受の不安定性を制御する代替の方法は、軸方向におけるフローを妨害することである。例えば、スリーブ（ジャーナル）軸受は、軸受軸をシャフト軸に対して傾けて製造することができ、あるいは、可変ジオメトリの軸受は、軸受の角度ミスアラインメントを作るように製造することができる。 （もっと読む）

【課題】曲げ振動モードの固有周波数を安定化できる磁気軸受装置と、このスラスト磁気軸受を備えた回転機械を提供する。
【解決手段】シャフト５と一体に回転するスラストディスク２７と、磁力によりスラストディスク２７のスラスト力を支持するスラスト磁気軸受２５と、スラストディスク２７の傾きを検出する第１ラジアルセンサ２３ａおよび第２ラジアルセンサ２３ｂ（傾斜検出手段）と、第１ラジアルセンサ２３ａおよび第２ラジアルセンサ２３ｂに検出された傾きに起因する所定周期の振動によって、スラスト磁気軸受２５の磁力を制御するコントローラ２１（制御部）と、から構成され、スラスト磁気軸受２５は、周方向に複数に分割された第１電磁石２６ａおよび第２電磁石２６ｂ（磁力発生部）を有し、コントローラ２１は、第１電磁石２６ａおよび第２電磁石２６ｂを各々制御することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】制御遅延や電流応答遅延が発生しても遠心力低減効果が低下せず、適切な軸位置指令値を求めるのに大きな負担を必要としないモータ制御装置を提供する。
【解決手段】振れ回り抑制制御部３０において、ローパスフィルタＬＰＦによって軸変位検出値ｄｑから軸の回転周波数に同期した直流成分の信号のみを抽出し、周期外乱オブザーバ５０によって前記直流成分の信号に基づいて外乱を推定し、前記推定した外乱を抑制する軸変位指令値α^*，β^*を演算する。そして、前記振れ回り抑制制御部３０で演算された軸変位指令値α^*，β^*を軸支持制御部２０に入力する。 （もっと読む）

【課題】 ゼロパワー制御により電磁石への励磁電流を常にゼロに収束させる方式において、定常的な外力に起因する浮上体の位置変動を抑制することができ、且つ動的な外力が作用した場合でも良好な追従性を得る。
【解決手段】 浮上体１０と、浮上体１０に永久磁石及び電磁石による磁気回路を形成する磁石ユニット２３と、磁石ユニット２３を固定する可動枠２２と、可動枠２２を支持する固定枠２１と、固定枠２１に対して可動枠２２を支持すると共に固定枠２１と可動枠２２との距離を調整可能な可動枠支持機構２７と、浮上体１０と磁石ユニット２３との相対変位を測定する第１のセンサ２４と、固定枠２１と可動枠２２との相対変位を測定する第２のセンサ２５と、第１及び第２のセンサ２４，２５の各出力に応じて電磁石の電流を制御することにより浮上体１０を安定的に非接触支持する制御部と、を備えた。 （もっと読む）