【課題】気体の運動エネルギーを高効率で回転駆動力に変換するスピンドル装置及び静電塗装装置を提供する。
【解決手段】スピンドル装置のタービン翼９は、回転方向の前方に向く前方面２１と後方に向き気体を受ける後方面２２とを備えている。後方面２２は、曲率半径Ｒ１を有する凹状円柱面であり、前方面２１は、Ｒ１よりも大きい曲率半径Ｒ２を有する凸状円柱面２１ａと平面２１ｃとの間に、Ｒ１よりも小さい曲率半径Ｒ３を有する凸状円柱面２１ｂを配して滑らかに連続させた面である。前方面２１を構成する３面のうち凸状円柱面２１ａが凸状円柱面２１ｂを挟んで流路の流入口側に配され、平面２１ｃが流路の流出口側に配される。隣接するタービン翼９の対向する前方面２１と後方面２２とに挟まれた空間が、気体の流路を構成し、ノズル１０から噴出された気体が流路の流入口３１から流入し、凹状円柱面の円弧状湾曲に沿う方向に流れて流出口３２から流出する。 （もっと読む）

【課題】高速回転状態での振れまわり測定を行うことなく、波形振幅値を用いて振れまわりを容易に推定することができる振れまわり推定方法の提供。
【解決手段】磁気浮上式真空ポンプの振れまわり推定方法は、ロータ３０を目標浮上位置に磁気浮上させる磁気浮上工程と、目標浮上位置に磁気浮上しているロータ３０を複数の回転位置に順に停止させ、各停止時における２対の電磁石の電流をそれぞれ計測する電流計測工程と、２対の電磁石の少なくとも一方の対に関して、対を成す電磁石の電流の差分を複数の回転位置の各々について算出する差分算出工程と、ロータ３０が一回転する間の差分の変化の振幅値を算出する振幅値算出工程と、予め得られている振れまわり量と振幅値との相関関係および振幅値算出工程で算出された振幅値に基づいて、ロータ３０の振れまわり量を推定する推定工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】コストアップを抑えつつ、回転体が過熱判定温度を超えたことを検知することができる磁気浮上式真空ポンプの提供。
【解決手段】磁気浮上式真空ポンプでは、ロータ３０とロータシャフト３３とが一体化された回転体はモータ３６により回転駆動され、その回転体はラジアル磁気軸受３７およびスラスト磁気軸受３８を備える磁気軸受装置によって所定位置に磁気浮上している。そして、真空ポンプは、回転体を構成するロータシャフト３３に熱的に接触するように設けられ、回転体を構成するロータ３０の過熱判定温度に対応したキュリー温度Ｔcを有する磁性体４１と、磁性体４１を吸引して回転体に対して軸方向の力を作用する永久磁石４０と、スラスト磁気軸受３８の励磁電流を検出する電流センサと、電流センサで検出される励磁電流Ｉの変化から、回転体を構成するロータ３０の温度が過熱判定温度を超えたか否かを判定する判定回路と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】電磁石の浮上制御電流には主にセンシングキャリア周波数より低い周波数の成分が含まれているので、電磁石電流からセンシングキャリア成分のみを抽出して増幅したとしても、位置検出用信号のＳＮ比を上げることは困難であった。
【解決手段】電磁石ＭＧの駆動信号中に混入されているセンシングキャリア成分を検出することにより被支持体１２と電磁石ＭＧとの距離ｘを検出するに際し、電磁石駆動回路６の電源端子間に接続されているバイパスコンデンサＣに流れるセンシングキャリア成分を検出する。このことにより、位置検出信号のＳＮ比を上げることができる。これは、高い周波数を持つセンシングキャリア成分は主にバイパスコンデンサＣから供給されるという点に着目したものである。 （もっと読む）

【課題】腐食環境下でも良好な磁気軸受を提供する。
【解決手段】本発明は、封入磁石アセンブリを提供し、このアセンブリは、少なくとも１つの壁１６４を含み且つ少なくとも１つのアパーチャを画定するハウジング内に設けられた磁石１５８と、ハウジングカバーとを含む。ハウジングカバーは、磁性材料からなる第１部分１５４と非磁性材料からなる第２部分１５２を含み且つアパーチャを密閉するように構成されており、第１部分が第２部分に固定して取り付けられ、ここで取り付け部分が熱処理されている。ハウジングの壁１６４は、非磁性材料で形成され、ハウジングカバーの第２部分に固定して取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】質量の大きな物体の非接触支持が可能な磁気浮上制御装置を提供する。
【解決手段】浮上体３０に対向する磁極から浮上体を磁気浮上させる磁束を発生する支持力発生用永久磁石２１と、支持力発生用永久磁石２１の浮上体３０に対向する側で、前記磁極と同一の磁極が互いに向き合い、反対の磁極が向き合わないように配置された複数の磁力制御用永久磁石１３、１４と、磁力制御用永久磁石１３、１４の向き合う磁極の間隔を、浮上体に作用する磁力を強めるときには狭くし、弱めるときには拡げるように磁力制御用永久磁石を動かすアクチュエータ１５、１６とを備える。磁力制御用永久磁石の間隔を狭くすると、浮上体に達する支持力発生用永久磁石の磁束が集中し、浮上体に作用する磁力が強くなる。逆に、磁力制御用永久磁石の間隔を広くすると、磁束の集中が緩和され、浮上体に作用する磁力が弱くなる。 （もっと読む）

【課題】曲げ振動モードの固有周波数を安定化できる磁気軸受装置と、このスラスト磁気軸受を備えた回転機械を提供する。
【解決手段】シャフト５と一体に回転するスラストディスク２７と、磁力によりスラストディスク２７のスラスト力を支持するスラスト磁気軸受２５と、スラストディスク２７の傾きを検出する第１ラジアルセンサ２３ａおよび第２ラジアルセンサ２３ｂ（傾斜検出手段）と、第１ラジアルセンサ２３ａおよび第２ラジアルセンサ２３ｂに検出された傾きに起因する所定周期の振動によって、スラスト磁気軸受２５の磁力を制御するコントローラ２１（制御部）と、から構成され、スラスト磁気軸受２５は、周方向に複数に分割された第１電磁石２６ａおよび第２電磁石２６ｂ（磁力発生部）を有し、コントローラ２１は、第１電磁石２６ａおよび第２電磁石２６ｂを各々制御することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】反発力と吸引力で、電磁石を用いて強磁性体の磁気浮上を可能とする。
【解決手段】２個以上の電磁石３を、サークル状に極を同じに揃えて配置し、位置センサー２と各電磁石の磁力を制御装置４でコントロールする事で、強磁性体１の磁気浮上を可能とした。 （もっと読む）

【課題】 ゼロパワー制御により電磁石への励磁電流を常にゼロに収束させる方式において、定常的な外力に起因する浮上体の位置変動を抑制することができ、且つ動的な外力が作用した場合でも良好な追従性を得る。
【解決手段】 浮上体１０と、浮上体１０に永久磁石及び電磁石による磁気回路を形成する磁石ユニット２３と、磁石ユニット２３を固定する可動枠２２と、可動枠２２を支持する固定枠２１と、固定枠２１に対して可動枠２２を支持すると共に固定枠２１と可動枠２２との距離を調整可能な可動枠支持機構２７と、浮上体１０と磁石ユニット２３との相対変位を測定する第１のセンサ２４と、固定枠２１と可動枠２２との相対変位を測定する第２のセンサ２５と、第１及び第２のセンサ２４，２５の各出力に応じて電磁石の電流を制御することにより浮上体１０を安定的に非接触支持する制御部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】装置の低廉化、エア消費量の削減を図り得ると共に、部品点数を削減し得、組み立て工数を減少し得、しかも、ラジアル方向の磁気による吸着力が不均一となってラジアル方向の負荷容量が低下する虞をなくし得るロール装置を提供すること。
【解決手段】ロール装置１は、中空のロール体２と、ロール体２の中空部に隙間３をもって挿通されている軸体４と、ラジアル方向に関してロール体２を静圧気体によって支持すべくロール体２と軸体４との間に介在されている静圧気体軸受手段７及び８と、スラスト方向に関してロール体２を磁力によって支持する磁性軸受手段９及び１０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】装置の低廉化、エア消費量の削減を図り得るカムフォロアを提供すること。
【解決手段】カムフォロア１は、中空の転動体２と、転動体２の中空部に隙間３をもって挿通されている軸体４と、ラジアル方向に関して転動体２を静圧気体によって支持すべく転動体２と軸体４との間に介在されている静圧気体軸受手段７と、スラスト方向に関して転動体２を磁力によって支持する磁性軸受手段９及び１０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】磁性流体シールを使用する必要がない磁気浮上型を採用し、しかも装置としてのアキシャル方向の長さを極力短くすることができるようにする。
【解決手段】回転動力を出力する回転子１２を備え、回転子１２は、回転子１２のラジアル方向に配置されて該回転子１２のラジアル方向変位を非接触で制御する２組以上のラジアル磁気軸受４０と、回転子１２の周囲に３組以上に分割配置されて該回転子１２のアキシャル方向変位を非接触で制御するアキシャル磁気軸受５０によって、所定の位置に非接触で回転支承され、ラジアル磁気軸受４０のラジアル電磁石４４とアキシャル磁気軸受５０のアキシャル電磁石５４は、略同一平面上に配置されてケーシング部１４に固定されている。 （もっと読む）

【課題】磁気ベアリングは、取り付けの間に、多大な注意を要し、特に、磁気ベアリングの種々の構成部品を、構造体に対して非常に精度良く配置することが、しばしば必要である。
【解決手段】環状の本体２０は、クランプ手段に関連して設けられている少なくとも１つの径方向のスロットを有し、且つステータ構造体１０に面している面にセットバック部分２１を有する。前記ステータ構造体１０に面している前記環状の本体２０の面は、シース１３の表面部分１４と共動する摺動面２３を有しており、前記環状の本体２０の前記セットバック部分２１は、前記本体２０に面している前記シース１３の面に形成されている環状の溝１５に係合される調整リング３０のねじ部分３２と共動するねじ部分２２を形成している。前記調整リング２０は、前記環状の溝１５に軸方向に移動しないように防がれる。 （もっと読む）

【課題】ホールセンサ等のロータ回転位置検出機能を備えることなく、ロータ回転始動時における逆転を防止することができる磁気浮上式真空ポンプの提供。
【解決手段】ラジアル磁気軸受３７，３８およびアキシャル磁気軸受３９により磁気浮上されたロータ３０を、モータ３６により高速回転して気体の排気を行う磁気浮上式真空ポンプにおいて、モータ駆動開始の前に、ラジアル方向の吸引力がラジアル磁気軸受３７，３８の中心軸に対して回転する回転磁界であって、ロータ３０をモータ回転方向Ｒと逆方向Ｒ２に公転運動させ、かつ、該公転運動に対して進み角を有する回転磁界をラジアル磁気軸受３７，３８により形成させるようにした。 （もっと読む）

【課題】電磁石ターゲットを挟むように電磁石および永久磁石を設けた構成において、支持する浮上体の重量が変化した場合にも、所望の磁気軸受特性を維持することが可能な磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】このスラスト磁気軸受装置１００（磁気軸受装置）は、浮上体１１０に取り付けられ、磁性材からなる電磁石ターゲット１と、上側磁極部２１と励磁コイル２２とを含み、電磁石ターゲット１に対向するように配置され、電磁石ターゲット１を磁気吸引力により支持するスラスト電磁石２と、電磁石ターゲット１のスラスト電磁石２とは反対側の部分に対向するように配置され、電磁石ターゲット１を磁気吸引力により吸引する永久磁石３１を含むスラスト磁極３とを備え、電磁石ターゲット１とスラスト磁極３との距離を調整可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】回転摩擦を低減させると共に回転速度を向上させることができ、しかも、使用期間の長期化を図り得ると共にランニングコストをも低減させ得るカムフォロアを提供すること。
【解決手段】カムフォロア１は、中空の転動体２と、転動体２の中空部に隙間３をもって挿通されていると共に一端部２１が転動体２から突出している軸体４と、ラジアル方向に関して転動体２を静圧気体によって支持すべく転動体２と軸体４との間に介在されている静圧気体軸受７と、スラスト方向に関して転動体２を磁力によって支持する磁性軸受９とを具備している。 （もっと読む）

【課題】 磁気浮上装置において、磁石ユニットと浮上体間の空隙長を大きく設定でき、電力消費量を低減するとともに、様々な方向の外乱に対して浮上体の位置変動の抑制が図れる磁気浮上装置を提供することにある。
【解決手段】 電磁石と永久磁石で構成される磁石ユニット２２を対向配置するように磁石取付け部２８に取付け、当該磁石取付け部２８をサスペンション３０を介して一軸に対して可動とするとともに、制御装置４６により磁石ユニット２２から鉄製円環４８にゼロパワー制御に基づく電磁力を作用させて、この電磁力で浮上体１１を磁気浮上させることにより、外力に対する浮上体１１の位置変動と非接触支持に必要な電力消費量の増加を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】生産性の低下や露光処理等への悪影響を抑制する。
【解決手段】一対の接続部材ＡＭ１１、ＡＭ１２を所定の軸周りに回転自在に接続する関節部ＪＴ１２を有する。関節部は、一対の接続部材を非接触で、所定の軸周り方向に相対的に回転自在、且つ所定の軸と直交する方向への相対移動を拘束するベアリング装置ＢＲ１２を有する。 （もっと読む）

ラジアル・アキシアル複合磁気軸受の内部のコアは、それぞれが半径方向の切れ目を少なくとも１つ備えた複数の被膜された層から成るスタックである。これらの切れ目は、スタックの中心孔を通る変動する軸方向制御磁束によって引き起こされる循環電流の誘起を防止する。各層をその前の層に対して特定の角度だけ旋回させることによって、磁気対称性が維持される。この配置は、軸受における損失を減らすだけでなく、軸方向チャネルの性能も向上させる。 （もっと読む）

【課題】血液のようなデリケートな動作流体を操作し得る、液圧的に効率よくかつ動力の効率のよいポンプを提供する。
【解決手段】血液ポンプであって、入口ポート１１４および出口ポート１１６を有するポンプチャンバー１１２を規定する、ポンプハウジング１１０；ポンプハウジング内に配置されたローター１２０；ならびにポンプチャンバー内に配置され、ローターを少なくとも部分的に支持する軸方向磁気軸受を備え、軸方向磁気軸受は第一のスピンドル内に配置されたスピンドル磁石アセンブリ１６０とローターによって保有されるローター磁石アセンブリ１８０との間での相互作用によって形成される。設定ねじ１３４は、スピンドルの長軸に沿ってスピンドル磁石アセンブリを動かすことによって、軸方向磁気軸受の軸部分の長軸方向への調節を可能にする。 （もっと読む）