【課題】高効率に主軸を回転させることができる静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】タービン羽根２０を、タービン用ノズルから供給された高圧流体が流れる方向に向かって羽根高さが徐々に低くなるように形成し、タービン羽根に高さ方向から対向しているハウジングの内壁２１を、羽根高さが徐々に変化しているタービン羽根の頂部に近接して対向するように形成した。 （もっと読む）

【課題】駆動源の負荷が小さく、真空チャンバの構成部品を高速回転することに適した支持装置を提供する。
【解決手段】本発明の支持装置は、回転軸３に所定の隙間を存して同心に外挿され、回転軸３の長手方向の端面が側壁に密着される筒状部材４を有している。回転軸３の筒状部材４から大気側に延出する部分には、回転軸３より大径のフランジ部５が一体的に形成され、このフランジ部５に所定の隙間を存して囲うカバー部材６が配置されている。カバー部材６の内周面には、回転軸３の長手方向に沿う環状の２つの第２の加圧溝６１ａ，６１ｂが凹設されている。給気通路６２ａ，６２ｂと給気管６３ａ，６３ｂとコンプレッサー４８とが、第２の加圧溝６１ａ，６１ｂにベアリングガスを供給する第２のガス供給手段を構成する。 （もっと読む）

【課題】ハウジングの外径寸法を減少させることが可能であり、軽量化及び小型化が可能な静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】ハウジング２内へ静圧気体軸受６により回転可能に支持されている回転軸４の一端側へ取り付けられ、且つタービン羽根１２を有する円板状のタービン部１０と、ハウジング２に形成され、且つタービン羽根１２へ向けて気体を噴出するためのタービンエア噴出用ノズル部２２を備え、ハウジング２は、軸方向の両端面のうちタービンエア噴出用ノズル部２２に近い側の端面である第一ハウジング端面２ａ側に形成された凹状溝２４と、タービンエア噴出用ノズル部２２と凹状溝２４とを連通するタービンエア供給用連通路２８を有し、凹状溝２４は、回転軸４の径方向及び軸方向から見て、タービン部１０と重ならない位置に形成されている。 （もっと読む）

【課題】高精度な加工を安定して実現できる静圧空気軸受スピンドル装置およびこれを用いた工作機械を提供する
【解決手段】スピンドル１０と、このスピンドル１０を空気層を介して回転可能に支持したエアーベアリング機構と、増圧装置(５１，５２)および圧力レギュレータ５４を含み、圧力レギュレータ５４からの空気をエアーベアリング機構に供給するエアー供給手段５０と、スピンドルを回転させる回転駆動機構とを備えた静圧空気軸受スピンドル装置。増圧装置と圧力レギュレータとの間に、増圧装置からの空気の温度を制御して圧力レギュレータに供給する温度調整装置５３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】気体の運動エネルギーを高効率で回転駆動力に変換するスピンドル装置及び静電塗装装置を提供する。
【解決手段】スピンドル装置のタービン翼９は、回転方向の前方に向く前方面２１と後方に向き気体を受ける後方面２２とを備えている。後方面２２は、曲率半径Ｒ１を有する凹状円柱面であり、前方面２１は、Ｒ１よりも大きい曲率半径Ｒ２を有する凸状円柱面２１ａと平面２１ｃとの間に、Ｒ１よりも小さい曲率半径Ｒ３を有する凸状円柱面２１ｂを配して滑らかに連続させた面である。前方面２１を構成する３面のうち凸状円柱面２１ａが凸状円柱面２１ｂを挟んで流路の流入口側に配され、平面２１ｃが流路の流出口側に配される。隣接するタービン翼９の対向する前方面２１と後方面２２とに挟まれた空間が、気体の流路を構成し、ノズル１０から噴出された気体が流路の流入口３１から流入し、凹状円柱面の円弧状湾曲に沿う方向に流れて流出口３２から流出する。 （もっと読む）

【課題】シャフトの損傷を防止し、かつコスト低減が可能なエアロールユニットの構造を提供する。
【解決手段】エアロールユニット１は、ロール本体２０に連結されたシャフト２１と、シャフト２１に装着されたカラー３と、カラー３を非接触で支持するエアベアリング４と、スラストプレート５を介してカラー３に取り付けられた回り止め板６と、を備えており、カラー３の内径ｒ２がシャフト２１の外径ｒ１より大きく設定されている。回り止め板６には、内周面６５と外周面６６とを径方向に繋ぐスリット６７が形成されるとともに、外周面６６からスリット６７を跨ぐように深座ぐり付き穴６８が形成され、この深座ぐり付きネジ穴６８にボルト８３を挿入して、ボルト８３を締めたり緩めたりすることで、回り止め板６のシャフト２１への取付および取外しが可能である。 （もっと読む）

【課題】板ばねを用いた可変絞りの構成部材の加工精度が低くても、剛性のばらつきが小さく所望の剛性を容易に得られる可変絞り形静圧軸受を提供する。
【解決手段】流体供給室３２ａと、中央部に突起部３１ｂを備えた流体貯留室３１ａと、流体供給室３２ａと流体貯留室３１ａの間を仕切る板ばね３３により構成される可変絞り３により、静圧軸受のポケット２ａに供給される流体の流量を絞る。ポケット２ａから流体を排出する経路として、ポケット２ａとベース１０の間隔ｔ_１以外に、ポケット２ａの側面から流体を排出するための固定絞り２ｃを備える。 （もっと読む）

【課題】高速回転する部品を、簡易な構造で、より安定して非接触支持するコンパクトなエアベアリングユニットの構造を提供する。
【解決手段】多孔質焼結層１０２からラジアル軸受隙間６０に流体ｔを供給してラジアル軸受隙間６０内に流体膜を形成し、その流体ｔをラジアル軸受隙間６０から、ラジアル軸受隙間６０に繋がるスラスト軸受隙間６１ａ、６１ｂに排気させる。この排気ｔ１を利用してスラスト軸受隙間６１ａ、６１ｂ内に流体膜を形成する。ラジアル軸受隙間６０から排気された流体ｔがスラスト軸受隙間６１ａ、６１ｂに供給されるため、ラジアル軸受隙間６０からの流体ｔを排気するための溝や、スラスト軸受隙間６１ａ、６１ｂに流体ｔを噴出するスラスト軸受面を別途設ける必要がない。 （もっと読む）

【課題】自励振動を起こすことがなく、大量生産が可能で安価な静圧気体軸受及びその製造方法を提供すること
【解決手段】基部４、該基部４の一方の面５から一体的に突設されている環状突出部６、一端７では該環状突出部６の突出端面８で開口している一方、他端９では基部４の外周面１０で開口すると共に環状突出部６及び基部４に設けられた給気通路１１を備えた合成樹脂製の軸受基体２と、基部４の一方の面５に対面している一方の面４１に形成されていると共に軸受基体２の環状突出部６を受容した環状凹所４２、他方の面４３で開口した環状凹溝４４及び一端４５では環状凹溝４４に連通していると共に他端４６では環状凹所４２に開口した自成絞りとしての複数個の空気吹出孔４７を有した合成樹脂製の軸受体３とを具備している。 （もっと読む）

【課題】回転軸と軸受パッドとの接触面積が減少した場合においても、ポンプの許容油圧範囲内で回転軸を浮上させる。
【解決手段】回転軸の外周面に接触して回転軸との間で所定の接触範囲Ｅを形成する支持面を有する軸受パッド４と、軸受パット４と軸受ハウジングとの間に介在され、軸受パットを搖動可能に支持するピボットとを備えるジャーナル軸受において、支持面５の接触範囲Ｅの内側に、接触範囲Ｅの外縁に沿う環状の溝部８が形成され、この溝部に対して軸受パッド４内に穿設された給油孔９を介して高圧油を供給する高圧油供給手段をさらに備えるジャーナル軸受を提供する。 （もっと読む）

【課題】軸受の交換を容易にできるようにする。
【解決手段】ハウジング２と、ハウジング２に収納され、スラストディスク３ａを備えた主軸３と、主軸３のラジアル方向の支持を非接触で行うラジアル軸受部３０Ａ、及び、スラストディスク３ａのスラスト方向の支持を非接触で行うスラスト軸受部３０Ｂを一体的に備えたラジアル・スラスト軸受３０と、スラスト軸受部３０Ｂを主軸３の軸方向に貫通し、ラジアル・スラスト軸受３０とハウジング２とを固定する固定ボルト５０と、主軸３に設けられた回転子４ａ、及び、ハウジング２の内周側に回転子４ａと対向して設けられた固定子４ｂを有するモータ４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造でエアスピンドルの回転体を冷却できるようにする。
【解決手段】回転体であるハウジング２の内周面の、固定軸１の突出部１ａと対向する位置に凹部２１を形成する。突出部１ａの両側に静圧気体軸受３を配置する。突出部１ａの軸方向中央位置に、凹部２１と排気路１３を連通する連通路１４を設ける。凹部２１と静圧気体軸受３との間に気体導入隙間５を形成する。ラジアル軸受面３１を通った気体は、積極的に気体導入隙間５から凹部２１に入り、凹部２１に溜まった気体で回転するハウジング２が冷却される。 （もっと読む）

【課題】ジャーナル軸受としての性能を低下させることなくＪＯＰ機構を備えたジャーナル軸受。
【解決手段】回転軸Ｒの外周側に周方向に間隔をあけて複数が設置され、回転軸を外周側から支持する軸受パッド４と、互いに周方向に隣り合う軸受パッド４の間にそれぞれ設けられ、回転軸の外周面に対して潤滑油を供給する給油ノズル６，７とを備えるジャーナル軸受１において、複数の給油ノズルのうち回転軸Ｒの下方に位置する少なくとも一の給油ノズル６に、回転軸の停止時に回転軸の外周面に接触する接触面８が設けられ、給油ノズル６の内側に穿設された高圧油供給孔を介して潤滑油よりも圧力の大きい高圧油を接触面に供給する高圧油供給手段１１を備えるジャーナル軸受を提供する。 （もっと読む）

【課題】静圧軸受を含む軸受構造、及び静圧軸受へのオイルの供給構造を簡略化することができて、装置全体を小型に構成することができる静圧軸受を用いた移動案内装置を提供する。
【解決手段】案内体１２上に静圧ポケット１４Ａ，１４Ｂを介して移動体１３を支持するとともに、駆動手段により移動体１３を移動させるように構成する。駆動手段としてリニアモータ１５を用いる。リニアモータ１５の固定子１５ａと移動子１５ｂとの間の吸引力あるいは反発力を静圧ポケット１４Ａの部分における案内体１２と移動体１３との接近方向への力として作用させる。 （もっと読む）

【課題】温度上昇に伴って回転体が膨張して軸方向に伸びた場合でも、静圧気体軸受による良好な軸受性能が発揮できるエアスピンドルを提供する。
【解決手段】固定軸１はラジアル方向への突出部１ａと、突出部１ａを挟んだ両側の軸受部１ｂを有する。１対の静圧気体軸受３を、軸受部１ｂに外嵌し、Ｏリング５により軸方向で移動可能に取り付ける。これにより、静圧気体軸受３は、ハウジング２の内周面と対向するラジアル軸受面３１と、端部材４および突出部１ａの端面と対向するアキシアル軸受面３２を有する。 （もっと読む）

【課題】真空槽の外部に動力源を配置して、直線移動力や回転移動力を真空槽内に導入するときに、オーリングの変形によってリークが発生することの無い真空装置を提供する。
【解決手段】真空槽２１の開口２２に筒状部材１１を設け、筒状部材１１と開口２２に挿通した動力伝達軸１２の先端を真空槽２１内に挿入し、根本を真空槽２１の外部に配置された動力源１６に取り付ける。筒状部材１１内周面の噴出装置１７からベアリングガスを噴出し、筒状部材１１と動力伝達軸１２とを非接触にして動力源１６を動作させて動力伝達軸１２を直線移動と回転移動させる。噴出装置１７と開口２２との間に複数の排気溝を設け、真空槽２１に近い排気溝を最も大きな排気コンダクタンスで、真空排気装置１５に接続する。開口２２に最近の排気溝内の圧力を低くすることができ、真空槽２１内を高真空雰囲気にすることができる。 （もっと読む）

【課題】膨張タービンの回転軸を静圧気体軸受で支持するにあたり、軸受にガスを供給するラインに専用圧縮機を設けずに回転軸の支持に必要な圧力のガスを軸受に安定供給可能にする。
【解決手段】液化システム１００は、液化原料ガスの圧力が所定部分３ｂ，３ｃで所定圧Ｐ０以上に保たれるように液化原料供給源１からの液化原料ガスを送るフィードライン３と、冷媒を循環させるための冷媒循環ライン５と、所定圧Ｐ０以上のガスの供給を受けて膨張タービン１４Ｈ，１４Ｌの回転軸を回転可能に支持する静圧気体軸受ＧＢと、静圧気体軸受ＧＢにガスを供給するために、フィードライン３の所定部分３ｂ，３ｃと静圧気体軸受ＧＢのガス入口４９とを接続する軸受供給ライン７と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 テーブル移動時のピッチングが極めて小さい静圧水軸受直動案内装置の提供。
【解決手段】 テーブル３１底面の前後側の少なくとも一方にガイドウエイ２に設けたコイル２４に対向して磁気バランサー３００を非磁性体支持板を介して付属させた静圧水軸受直動案内装置１。 （もっと読む）

【課題】エアの消費が抑制されるとともに、供給されるエアの圧力が低下してもエアスピンドルユニットにカジリ現象が生じないエアスピンドルユニットを提供する。
【解決手段】スラストエアベアリング４２とラジアルエアベアリング４０ａ、４０ｂを画成するスピンドルハウジング３８と、スピンドル２６に連結されてスピンドル２６を回転するモータ４４と、を備えたエアスピンドルユニット３６であって、スラストエアベアリング４２及び第１及び第２のラジアルエアベアリング４０ａ、４０ｂに高圧エアを分配するエア分配弁５６を具備している。エア分配弁５６は、エア供給源５８から供給されるエア圧が所定圧以上の場合は、第２のラジアルエアベアリング４０ｂのみにエアを供給し、供給されるエア圧が該所定圧未満の場合は、第１及び第２のラジアルエアベアリング４０ａ、４０ｂにエアを供給する。 （もっと読む）