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Fターム[3J102EA07]の内容

その他の軸受(磁気軸受、静圧軸受等) (9,013) | 静圧軸受の構造 (1,429) | 流体の供給 (360) | 可動体へ供給 (105)

Fターム[3J102EA07]に分類される特許

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【課題】可動物体32の傾きを防止して、ポケット2aの圧力に対応する所定の絞り比に確実に設定可能な可変絞り形静圧軸受を提供する。
【解決手段】流体の流量を絞って静圧軸受ポケット2aに流入させる可変絞り3を、流体供給室3aと流体排出室3bの間を可動物体32で仕切る。流体排出室3bの端面の中央部にポケット2aに連通する流出口31bを備え、その外周に流体貯留溝31cと第1排出溝31dと第2排出溝31eを配置した構造とする。可動物体32の端面32eの第1排出溝31dと第2排出溝31eの間に対向する部位に窪み32a、32a、32aを備える。流体供給室3aと流体貯留溝31cの間を連通する流路32dと、流体供給室3aと窪み32a、32a、32aを連通し固定絞り32bを持つ流路32cを備える。 (もっと読む)


【課題】負荷変動に強く、かつ搭載装置の小型・軽量化を可能とする静圧気体軸受構造を提供する。
【解決手段】エアベアリング1は、相手部材を引き寄せる磁力を発生する磁力発生部11と、磁力発生部11の周囲に配置され、相手部材に向けて圧縮空気を吐出する圧縮空気供給部12と、磁力発生部11および圧縮空気供給部12が取り付けられるベースプレート13と、エアベアリング1の傾きを調整自在に保持するボールジョイント14と、を備えている。磁力発生部11は、円柱状に形成されたネオジム磁石等の永久磁石である。圧縮空気供給部12は、貫通孔123が中央に形成された円板状部材であり、この貫通孔123に磁力発生部11が嵌入されている。圧縮空気供給部12の一方の端面121は、貫通孔123に嵌入された磁力発生部11の一方の端面111とともに、相手部材の表面と非接触で対面する支持面10を構成している。 (もっと読む)


【課題】長尺であっても軸受が中央部に位置したときに、当該軸受と無端ベルトとの干渉が発生することを低減するアクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータは、駆動プーリ1と、従動プーリ2と、両プーリ1,2の間に掛け渡された無端ベルト3と、ガイドレール4と、無端ベルト3に接続されガイドレール4に沿って直線移動する軸受5とを備える。従動プーリ2の径は、駆動プーリ1の径よりも大きく設定される。 (もっと読む)


【課題】スライダの走行安定性が高強く、小型・軽量なエアスライド装置の構造を提供する。
【解決手段】エアスライド装置1は、スライダ案内面211、212が磁性体で形成されたレール2と、レール2の長手方向Xにレール2のスライダ案内面211、212上を非接触で移動するスライダ3と、を備えている。スライダ3は、L字型に組み合わされたスライドプレート31と、スライドプレート31およびレール2の間に介在するようにスライドプレート31に取り付けられた第一、第二のエアベアリング4A、4Bと、を備えている。第一、第二のエアベアリング4A、4Bは、磁力を発生する磁力発生部41と、磁力発生部41の周囲に配置され、圧縮空気を吐出する圧縮空気供給部42と、を備えている。圧縮空気供給部42の端面421は、磁力発生部41の端面411とともに、レール2のスライダ案内面211、212と非接触で対面する支持面40を構成している。 (もっと読む)


【課題】自励振動を起こすことなく、安価な静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置を提供することにある。
【解決手段】静圧気体軸受1は、熱可塑性合成樹脂、又はこの熱可塑性合成樹脂にガラス繊維、ガラス粉末、炭素繊維もしくは無機充填材を30〜50質量%含有した補強充填材含有熱可塑性合成樹脂、又はアルミニウム又はアルミニウム合金から形成されている軸受基体2と、軸受基体2に接着剤により接着一体化されている熱可塑性合成樹脂から形成されている合成樹脂製の軸受体3とを具備している。 (もっと読む)


【課題】大量生産が可能で安価な静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置を提供すること。
【解決手段】静圧気体軸受1は、好ましくは、ポリアセタール樹脂(POM)、ポリアミド樹脂(PA)、ポリフェニレンサルファイド樹脂(PPS)などの熱可塑性合成樹脂、又はこれらの熱可塑性合成樹脂にガラス繊維、ガラス粉末、炭素繊維もしくは無機充填材を30〜50質量%含有した補強充填材含有熱可塑性合成樹脂、あるいはアルミニウム又はアルミニウム合金から形成されている軸受基体2と、軸受基体2に環状シール部材3を介して締結部材4により締結一体化されていると共に好ましくはポリアセタール樹脂、ポリアミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂などの熱可塑性合成樹脂から形成されている合成樹脂製の軸受体5とを具備している。 (もっと読む)


【課題】静圧気体軸受の軸受案内面の精度が不十分であったとしても、移動テーブルの変形が生じにくく移動テーブルを安定姿勢で移動させることができる移動テーブル装置及び露光装置並びにエアパッドを提供する。
【解決手段】XYテーブル装置は、軸受案内面2aを有するベース2と、ベース2上を直線移動する移動テーブル1と、気体を噴出する噴出口10bが形成された気体軸受面10aを備え軸受案内面2aと気体軸受面10aとの間に静圧気体軸受を構成可能なエアパッド6と、を備える。エアパッド6は、気体軸受面10aを備える軸受部10と、気体軸受面10aの垂直方向に進退可能に軸受部10を保持するハウジング部11と、を備える。さらにエアパッド6は、軸受部10を気体軸受面10aの垂直方向に進退させて、移動テーブル1とベース2との間の垂直方向距離を一定に保つコイルバネ20を備える。 (もっと読む)


【課題】簡易な構成で動作の確実な2段絞りを構成できる板ばねを用いた可変絞り形静圧軸受を提供する。
【解決手段】流体の流量を絞ってポケットに流入させる可変絞りを、流体供給室31aと突起部31bを備えた流体貯留室31aの間を突起部31bと所定の隙間を隔てて正対する板ばね33で仕切り、突起部31bに開口31cを有しポケット2aに連通する流路を備える構造の可変絞り形静圧軸受において、板ばね33の突起部31bに対向しない部位に、流体供給室32aと流体貯留室31aの間を連結する固定絞り33aを備える。 (もっと読む)


【課題】ガイドレールに対してスライダを着座させる際の姿勢制御を有効に行える案内装置を提供する。
【解決手段】第1の支持面13aの凹部13dと第2の支持面13bの凹部13fとが、独立して流体の供給を中止可能な配管系即ち第1通路13h、第2通路13iを介して、圧縮空気源A,Bに接続されているので、例えばバルブV2を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第2の支持面13bと第2の案内面12bとの隙間を維持しつつ、第1の支持面13aが第1の案内面12aに着座することができ、或いはバルブV3を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第1の支持面13aと第1の案内面12aとの隙間を維持しつつ、第2の支持面13bが第2の案内面12bに着座することができ、これによりスライダ13を静止した際に、これに連結されたテーブル等に載置されたワークを精度良く位置決めすることができ、加工精度や検査精度を向上させることができる。 (もっと読む)


【課題】長尺な部材や横断面サイズが大きくなっても自重たわみを改善することができるガイド部材を備え、製造コストの低減化を図ることができる静圧空気軸受直線案内装置を提供する。
【解決手段】案内方向に延在するガイド部材4と、ガイド部材に沿って案内方向に移動する可動体5と、この可動体を気体によって支持・案内する空気軸受部13a〜13hと、を備えた静圧気体軸受直線案内装置である。ガイド部材は、長尺方向が案内方向に平行に延在する一対の側板ガイド部材4a,4aと、一対の側板ガイド部材の案内方向に直交する短尺方向の一端に結合し、案内方向に沿って延在する底板ガイド部材4bとを備えた横断面コ字状の部材である。


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【課題】可動体を浮上させる圧縮空気をガイドレールから噴出させることで、可動体をチューブレス構造とした静圧気体軸受直線案内装置の提供。
【解決手段】基台に固定されるガイドレール2、ガイドレール2の延出方向に沿って往復移動可能な可動体4(垂直方向受板42、水平方向受板44)、圧縮空気を噴出して可動体4をガイドレール2に対して浮上させて非接触に支持する静圧気体軸受部(多孔質部材)6、磁気吸引力により可動体4をガイドレール2に引き寄せる吸引部8(磁気吸引部材8a、永久磁石8b)を備え、静圧気体軸受部6からの圧縮空気による可動体4のガイドレール2に対する浮上力と、可動体4をガイドレール2へ引き寄せる吸引部8からの磁気吸引力とを調整してバランスを図り、可動体4をガイドレール2に対して浮上させつつ、往復移動させるべく、静圧気体軸受部6をガイドレール2に配し、可動体4へ向けて圧縮空気を噴出させる。 (もっと読む)


【課題】 可動体の位置補正機能をより向上させた静圧スライダを提供する。
【解決手段】
静圧スライダ(1)は、固定体(2)と可動体(3)とを備え、可動体(3)は、該可動体(3)と固定体(2)との間の隙間(4)に供給される流体を介して固定体(2)に沿って相対移動可能である。固定体(2)および可動体(3)の一方は、隙間(4)に供給される流体が通過する貫通孔(5)を有する。貫通孔(5)の少なくとも一部は、隙間(4)における流体の圧力に応じて径が変化する。 (もっと読む)


【課題】ガイドレールの軽量化、生産効率の向上、低コスト化を図ると共に、ガイドレールに沿って可動体を移動させて位置決めする際、負荷を非接触で安定してかつ効率良く支持することを可能にする。
【解決手段】一方向に沿って形成された凹部6gが同一向きに整列するようにレール構造体6S,6Tを相互に組み合わせたガイドレール2には、一方向に沿って延出した第1及び第2のガイド面6c,6bが直交配置され、可動体4は、第1のガイド面6cに対向する第1の軸受パッド4a、第2のガイド面6bに対向する第2の軸受パッド4bを備え、各軸受パッド4a、4bの気体噴出部8から加圧気体を噴射すると共に、各軸受パッド4a、4bの磁石部10とガイドレール2の磁性材Mとが互いに吸引し合って磁気吸引力を発生させることで、可動体4は、ガイドレール2に対して所定量浮上しつつ非接触で支持された状態で移動可能となる。 (もっと読む)


【課題】静圧軸受に加わる外乱負荷に対し、軸受剛性の維持に必要な厚さの流体膜が形成されるようにし、安定した軸受剛性を得ることができる静圧流体軸受装置を提供する。
【解決手段】静圧ポケットと、静圧ポケットに加圧流体を供給する流体供給手段と、流体供給手段から静圧ポケットに至る流体流路13と、流体流路13の途中に設けられ、ダイアフラム43と、弁座45と、ダイアフラム43と弁座45に囲われ、加圧流体が充填される絞り空間部44bを有し、ダイアフラム43の変形により、ダイアフラム43と弁座45との間の絞りの開度Dと、絞り空間部44bの体積が変動する可変絞り40と、静圧ポケットの圧力検出手段と、ダイアフラム43を変形させるダイアフラム変形手段50と、検知された圧力に応じて、ダイアフラム変形を作動させることにより、絞りの開度Dと絞り空間部44bの体積の変動を制御する制御手段を備えた。 (もっと読む)


【課題】静圧軸受に加わる外乱負荷に対し、静圧ポケットの圧力低下を抑制することで、軸受剛性の維持に必要な厚さの流体膜が形成されるようにし、安定した軸受剛性を得ることができる静圧流体軸受装置を提供する。
【解決手段】軸受面に設けられた静圧ポケット11と、静圧ポケット11に加圧流体を供給する流体供給手段Pと、流体供給手段Pから静圧ポケット11に至る流体の通路を形成する流体供給流路13と、流体供給流路13の途中に設けられた供給側絞り手段40と、静圧ポケット11からドレン23に至る流体の通路を形成する流体排出流路15と、流体排出流路15の途中に設けられた排出側絞り手段60と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】 流体供給部や排気溝等を高い位置精度で設けることができ、可動体をより安定して移動させることができる案内装置を提供する。
【解決手段】 案内装置は、第1表面を有する固定体と、第1表面に対向する第2表面を有する可動体とを備える。可動体は、第1表面および第2表面の間に形成される隙間に供給された流体を介して第1表面に沿って第1方向に移動可能である。第1表面および第2表面の一方は、可動体の移動方向に平行な中心軸の周りに外向きに設けられた外向き面であるとともに、隙間に前記流体を供給する流体供給部と該流体供給部を環状に取り囲んで前記流体を回収する回収溝とが設けられている。第1表面および第2表面の他方は、移動可能な範囲で流体供給部および回収溝を覆う内向き面である。 (もっと読む)


【課題】高速移動可能、かつ移動ストロークの広い静圧気体軸受直線案内装置に適する気体配管の構造を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明の静圧気体軸受直線案内装置は、駆動源と直動案内部と気体により直動案内部に浮上して移動可能な移動体とを有する直動案内アクチュエータと、一端が移動体に回転自在に固定され、他端が直動案内アクチュエータ外に回転自在に固定される、マジックハンド構造の支持機構と、支持機構に屈曲可能に固定され、移動体に気体を供給するチューブと、を備えることが特徴とするものである。これにより、気体供給チューブは移動体の直線運動に合わせて回転・伸縮運動をすることができ、高速移動による配管の破損や撓みなどを防止できる。 (もっと読む)


【課題】高精度で円滑に移動することを向上させた静圧案内装置を提供することにある。
【解決手段】直線状に延在するガイドレール12a,12bを備えるベッド11と、ベッド11のガイドレール12a,12bに沿って移動可能なコラムベッド13とを具備し、ベッド11のガイドレール12a,12bと対向するコラムベッド13の摺動部13c,13dに当該コラムベッド13の移動方向に沿って複数の静圧ポケット25〜28,31〜36を設け、複数の静圧ポケット25〜28,31〜36の内のコラムベッド13の移動方向にて両端部以外の静圧ポケット31〜36を両端部の静圧ポケット25〜28よりも小さくした。 (もっと読む)


【課題】軸受本体を大型化する場合や、矩形板状以外の様々な形状の軸受本体を用いる場合であっても軸受本体を容易に加工することができる空気軸受の提供。
【解決手段】空気軸受2は、軸受本体3を備え、軸受本体3は、軸受面41を有する矩形板状に形成される板状部材4と、軸受面41の裏面42に取り付けられる矩形板状の蓋部材5とを備える。軸受面41には、空気を排気するための複数の排気孔が軸受面41の四辺に沿って形成される。軸受面41の裏面42には、溝部421が裏面42の四辺に沿って形成される。各排気孔は、溝部421に連通し、蓋部材5にて溝部421を覆うことで排気用流路を構成する。 (もっと読む)


【課題】可変絞り手段を有する静圧流体軸受装置において、絞り開度を増減させた際に発生する流体の流出層の厚さ(2部材の間隔)の変動を適切に抑制し、加工精度をより向上させることができる静圧流体軸受装置を提供する。
【解決手段】軸受ポケットと、流体を圧送する流体供給手段と、流体流路と、絞り量を変更可能な可変絞り手段と、を備え、絞り量を直接的または間接的に検出可能な絞り量検出手段と、可変絞り手段56Vから軸受ポケット56Pまでの経路における、可変絞り手段56Vまたは流体流路56Hまたは軸受ポケット56Pの少なくとも一部に設けられて流体が充填されている部分の体積を増減可能な体積可変手段56Eと、絞り量検出手段にて検出した絞り量に応じた体積変化量を算出するとともに、算出した体積変化量を相殺するように体積可変手段56Eの体積を増減させる制御手段と、を備えている。 (もっと読む)


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