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Fターム[3J102EA10]の内容

その他の軸受(磁気軸受、静圧軸受等) (9,013) | 静圧軸受の構造 (1,429) | 可動部材にポケットを設けたもの (47)

Fターム[3J102EA10]に分類される特許

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【課題】可動物体32の傾きを防止して、ポケット2aの圧力に対応する所定の絞り比に確実に設定可能な可変絞り形静圧軸受を提供する。
【解決手段】流体の流量を絞って静圧軸受ポケット2aに流入させる可変絞り3を、流体供給室3aと流体排出室3bの間を可動物体32で仕切る。流体排出室3bの端面の中央部にポケット2aに連通する流出口31bを備え、その外周に流体貯留溝31cと第1排出溝31dと第2排出溝31eを配置した構造とする。可動物体32の端面32eの第1排出溝31dと第2排出溝31eの間に対向する部位に窪み32a、32a、32aを備える。流体供給室3aと流体貯留溝31cの間を連通する流路32dと、流体供給室3aと窪み32a、32a、32aを連通し固定絞り32bを持つ流路32cを備える。 (もっと読む)


【課題】長尺であっても軸受が中央部に位置したときに、当該軸受と無端ベルトとの干渉が発生することを低減するアクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータは、駆動プーリ1と、従動プーリ2と、両プーリ1,2の間に掛け渡された無端ベルト3と、ガイドレール4と、無端ベルト3に接続されガイドレール4に沿って直線移動する軸受5とを備える。従動プーリ2の径は、駆動プーリ1の径よりも大きく設定される。 (もっと読む)


【課題】スライダの走行安定性が高強く、小型・軽量なエアスライド装置の構造を提供する。
【解決手段】エアスライド装置1は、スライダ案内面211、212が磁性体で形成されたレール2と、レール2の長手方向Xにレール2のスライダ案内面211、212上を非接触で移動するスライダ3と、を備えている。スライダ3は、L字型に組み合わされたスライドプレート31と、スライドプレート31およびレール2の間に介在するようにスライドプレート31に取り付けられた第一、第二のエアベアリング4A、4Bと、を備えている。第一、第二のエアベアリング4A、4Bは、磁力を発生する磁力発生部41と、磁力発生部41の周囲に配置され、圧縮空気を吐出する圧縮空気供給部42と、を備えている。圧縮空気供給部42の端面421は、磁力発生部41の端面411とともに、レール2のスライダ案内面211、212と非接触で対面する支持面40を構成している。 (もっと読む)


【課題】簡易な構成で動作の確実な2段絞りを構成できる板ばねを用いた可変絞り形静圧軸受を提供する。
【解決手段】流体の流量を絞ってポケットに流入させる可変絞りを、流体供給室31aと突起部31bを備えた流体貯留室31aの間を突起部31bと所定の隙間を隔てて正対する板ばね33で仕切り、突起部31bに開口31cを有しポケット2aに連通する流路を備える構造の可変絞り形静圧軸受において、板ばね33の突起部31bに対向しない部位に、流体供給室32aと流体貯留室31aの間を連結する固定絞り33aを備える。 (もっと読む)


【課題】ガイドレールに対してスライダを着座させる際の姿勢制御を有効に行える案内装置を提供する。
【解決手段】第1の支持面13aの凹部13dと第2の支持面13bの凹部13fとが、独立して流体の供給を中止可能な配管系即ち第1通路13h、第2通路13iを介して、圧縮空気源A,Bに接続されているので、例えばバルブV2を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第2の支持面13bと第2の案内面12bとの隙間を維持しつつ、第1の支持面13aが第1の案内面12aに着座することができ、或いはバルブV3を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第1の支持面13aと第1の案内面12aとの隙間を維持しつつ、第2の支持面13bが第2の案内面12bに着座することができ、これによりスライダ13を静止した際に、これに連結されたテーブル等に載置されたワークを精度良く位置決めすることができ、加工精度や検査精度を向上させることができる。 (もっと読む)


【課題】可動体を浮上させる圧縮空気をガイドレールから噴出させることで、可動体をチューブレス構造とした静圧気体軸受直線案内装置の提供。
【解決手段】基台に固定されるガイドレール2、ガイドレール2の延出方向に沿って往復移動可能な可動体4(垂直方向受板42、水平方向受板44)、圧縮空気を噴出して可動体4をガイドレール2に対して浮上させて非接触に支持する静圧気体軸受部(多孔質部材)6、磁気吸引力により可動体4をガイドレール2に引き寄せる吸引部8(磁気吸引部材8a、永久磁石8b)を備え、静圧気体軸受部6からの圧縮空気による可動体4のガイドレール2に対する浮上力と、可動体4をガイドレール2へ引き寄せる吸引部8からの磁気吸引力とを調整してバランスを図り、可動体4をガイドレール2に対して浮上させつつ、往復移動させるべく、静圧気体軸受部6をガイドレール2に配し、可動体4へ向けて圧縮空気を噴出させる。 (もっと読む)


【課題】静圧軸受に加わる外乱負荷に対し、軸受剛性の維持に必要な厚さの流体膜が形成されるようにし、安定した軸受剛性を得ることができる静圧流体軸受装置を提供する。
【解決手段】静圧ポケットと、静圧ポケットに加圧流体を供給する流体供給手段と、流体供給手段から静圧ポケットに至る流体流路13と、流体流路13の途中に設けられ、ダイアフラム43と、弁座45と、ダイアフラム43と弁座45に囲われ、加圧流体が充填される絞り空間部44bを有し、ダイアフラム43の変形により、ダイアフラム43と弁座45との間の絞りの開度Dと、絞り空間部44bの体積が変動する可変絞り40と、静圧ポケットの圧力検出手段と、ダイアフラム43を変形させるダイアフラム変形手段50と、検知された圧力に応じて、ダイアフラム変形を作動させることにより、絞りの開度Dと絞り空間部44bの体積の変動を制御する制御手段を備えた。 (もっと読む)


【課題】静圧軸受に加わる外乱負荷に対し、静圧ポケットの圧力低下を抑制することで、軸受剛性の維持に必要な厚さの流体膜が形成されるようにし、安定した軸受剛性を得ることができる静圧流体軸受装置を提供する。
【解決手段】軸受面に設けられた静圧ポケット11と、静圧ポケット11に加圧流体を供給する流体供給手段Pと、流体供給手段Pから静圧ポケット11に至る流体の通路を形成する流体供給流路13と、流体供給流路13の途中に設けられた供給側絞り手段40と、静圧ポケット11からドレン23に至る流体の通路を形成する流体排出流路15と、流体排出流路15の途中に設けられた排出側絞り手段60と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】 流体供給部や排気溝等を高い位置精度で設けることができ、可動体をより安定して移動させることができる案内装置を提供する。
【解決手段】 案内装置は、第1表面を有する固定体と、第1表面に対向する第2表面を有する可動体とを備える。可動体は、第1表面および第2表面の間に形成される隙間に供給された流体を介して第1表面に沿って第1方向に移動可能である。第1表面および第2表面の一方は、可動体の移動方向に平行な中心軸の周りに外向きに設けられた外向き面であるとともに、隙間に前記流体を供給する流体供給部と該流体供給部を環状に取り囲んで前記流体を回収する回収溝とが設けられている。第1表面および第2表面の他方は、移動可能な範囲で流体供給部および回収溝を覆う内向き面である。 (もっと読む)


【課題】高精度で円滑に移動することを向上させた静圧案内装置を提供することにある。
【解決手段】直線状に延在するガイドレール12a,12bを備えるベッド11と、ベッド11のガイドレール12a,12bに沿って移動可能なコラムベッド13とを具備し、ベッド11のガイドレール12a,12bと対向するコラムベッド13の摺動部13c,13dに当該コラムベッド13の移動方向に沿って複数の静圧ポケット25〜28,31〜36を設け、複数の静圧ポケット25〜28,31〜36の内のコラムベッド13の移動方向にて両端部以外の静圧ポケット31〜36を両端部の静圧ポケット25〜28よりも小さくした。 (もっと読む)


【課題】可変絞り手段を有する静圧流体軸受装置において、絞り開度を増減させた際に発生する流体の流出層の厚さ(2部材の間隔)の変動を適切に抑制し、加工精度をより向上させることができる静圧流体軸受装置を提供する。
【解決手段】軸受ポケットと、流体を圧送する流体供給手段と、流体流路と、絞り量を変更可能な可変絞り手段と、を備え、絞り量を直接的または間接的に検出可能な絞り量検出手段と、可変絞り手段56Vから軸受ポケット56Pまでの経路における、可変絞り手段56Vまたは流体流路56Hまたは軸受ポケット56Pの少なくとも一部に設けられて流体が充填されている部分の体積を増減可能な体積可変手段56Eと、絞り量検出手段にて検出した絞り量に応じた体積変化量を算出するとともに、算出した体積変化量を相殺するように体積可変手段56Eの体積を増減させる制御手段と、を備えている。 (もっと読む)


【課題】 ロボットや多自由度ステージ等に用いられる球面軸受に要求される、広い揺動角度と高い軸受剛性とを有し、回転揺動方向の平滑な動作と微小な角度の位置決めとを可能にし、且つ、長期間にわたって高精度を維持できる高い耐久性の全てを満足する球面軸受を提供する。
【解決手段】 軸部と球体部とを有する回転揺動体と、この回転揺動体の球体部に外嵌する凹面部を有する軸受体とから構成される球面軸受において、前記軸受体の凹面部を半球若しくはそれより浅い球面状に形成し、且つ、前記回転揺動体の球体部と前記軸受体の半球状の凹面部との少なくとも一方を磁石として、この磁石の吸引力によって前記揺動回転体と前記軸受体とを一体に保持すると共に、前記回転揺動体の球体部と前記軸受体の半球状の凹面部との少なくとも一方に静圧ポケットを刻設して、該静圧ポケットに圧油を供給して静圧軸受とすることを特徴とする球面軸受によって達成される。 (もっと読む)


【課題】剛性自動補償静圧平面軸受装置とその方法の提供。
【解決手段】本剛性自動補償静圧平面軸受装置は、スロットル、第1チャンバ及び第2チャンバを包含し、スロットルは載置台に設置され、且つスロットルの一端よりフレキシブルで変形可能な支持手段が延伸され、第1チャンバは該支持手段のスロットルと反対の一端に形成され、且つスロットルを貫通する給液管路と連通し、第2チャンバは支持手段と載置台の間に形成され、並びに第2チャンバは支持手段上の連通孔を介して第1チャンバと連通する。負荷が変化する時、第1チャンバの圧力がそれにより変化し、並びに連通孔を介して第2チャンバに伝導され、第2チャンバの圧力変化により支持手段が微量変形し、これにより第1チャンバの容積が変化してその平均圧力が変化することで軸受の剛性自動補償が行われる。 (もっと読む)


【課題】高い応答性を有する可変自成絞りにより、広い周波数領域にわたり高剛性化を実現した静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】軸受面の一部に、可撓性を持つ可撓部材7による可撓性軸受面1を有し、前記可撓部材に、自成絞りを形成する給気孔3を設け、可変自成絞りとして作用させる。軸受隙間Cr内の気体の圧力変化を、ダイレクトに可撓性軸受面1に伝えることができ、また、可動物体を持たないために、高い応答性を有する可変自成絞りを実現できる。これにより、広い周波数領域にわたり高剛性化を実現した静圧気体軸受を提供できる。 (もっと読む)


【課題】軸受溝の深さのばらつきのない流体軸受およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】主ガイド部材33には流体を流体軸受面34に供給するための孔に、両端が開口している筒状部材32が挿入されている。流体噴出口30から加圧流体が流体軸受面に流出する。流体噴出口30を含む近傍領域は軸受溝31が形成されている。主ガイド部材33と筒状部材32は異種材料が用いられる。主ガイド部材33と筒状部材32の表面は陽極酸化処理がなされて薄膜が形成された構造となっている。主ガイド部材33と筒状部材32とが異種材料であることから、陽極酸化処理を行った場合、表面に形成される薄膜の膜厚が異なって形成される。陽極酸化処理により膜成長が速い材料をガイド部材11に選択し、ガイド部材11より遅い材料を筒状部材32に選択する。 (もっと読む)


【課題】支持する被支持体の質量の変化に応じて静圧を制御することにより、被支持体の質量に関わらず安定に支持する静圧軸受パッドを提供する。
【解決手段】静圧軸受パッド110において、第1の給気溝51および第2の給気溝52とは互いに独立しており、互いに不連続となっている。軸受面21に供給するための加圧気体は、第1の給気溝51については加圧気体供給部としての第1の給気管41から、そして第2の給気溝52については加圧気体供給部としての第2の給気管42から、互いに独立に供給される。 (もっと読む)


【課題】ガイドレールに対してスライダを着座させる際の姿勢制御を有効に行える案内装置を提供する。
【解決手段】第1の支持面13aの凹部13dと第2の支持面13bの凹部13fとが、独立して流体の供給を中止可能な配管系即ち第1通路13h、第2通路13iを介して、圧縮空気源A,Bに接続されているので、例えばバルブV2を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第2の支持面13bと第2の案内面12bとの隙間を維持しつつ、第1の支持面13aが第1の案内面12aに着座することができ、或いはバルブV3を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第1の支持面13aと第1の案内面12aとの隙間を維持しつつ、第2の支持面13bが第2の案内面12bに着座することができ、これによりスライダ13を静止した際に、これに連結されたテーブル等に載置されたワークを精度良く位置決めすることができ、加工精度や検査精度を向上させることができる。 (もっと読む)


【課題】被支持体の急速な動きに対しても、被支持体の位置または姿勢を修正可能な静圧軸受装置および静圧軸受装置による被支持体の支持方法の提供。
【解決手段】静圧軸受装置の制御装置は、位置センサ5a〜5cによる検出結果に基づき、スライドテーブル2の基台1に対する変位速度が所定値Gよりも大きい場合には、容積変更装置4のピエゾアクチュエータを作動させて、ポケット部27a、27eの容積を増減させポケット部27a、27e内の圧力を変更することにより、スライドテーブル2の基台1に対する位置または姿勢を修正する。また、スライドテーブル2の基台1に対する変位速度が所定値G以下の場合には、油圧装置によってポケット部27a〜27f内に供給する油圧の圧力または量のうちの少なくともいずれかを変化させて、スライドテーブル2の基台1に対する位置または姿勢を修正する。 (もっと読む)


【課題】中空構造を形成するのに中空域成形のための型に頼らないで、より簡単な手順で中空域を形成する静圧空気軸受式直線案内用ガイドの製造方法およびガイドを提供する。
【解決手段】本発明の製造方法は泥漿を型内に流し込み、相手の一面に相対する空域と、空域を間に分離した2つの接合面とを有する第1成形体および第2成形体を成形する工程、第1および第2成形体を焼成して第1焼結ピース15および第2焼結ピース16を焼結する工程(図2(a))、第1焼結ピース15および第2焼結ピース16の接合面14を平坦に仕上げる工程(図2(b))、第1焼結ピース15および第2焼結ピース16の接合面を突き合わせて一体のレール材17に組み立てる工程(図2(c))、レール材17を加工して決められた寸法を有するガイドレールに仕上げる工程(図2(d)(e))を含む。 (もっと読む)


【課題】安定性の低下を抑制し、不測の挙動を抑制できる流体軸受を提供する。
【解決手段】流体軸受は、第1部材の第1面に形成された第1凹部と、第1凹部の内側に形成された第2凹部と、第2凹部の内側に配置された流体吹出口とを備える。 (もっと読む)


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