【課題】静圧軸受を含む軸受構造、及び静圧軸受へのオイルの供給構造を簡略化することができて、装置全体を小型に構成することができる静圧軸受を用いた移動案内装置を提供する。
【解決手段】案内体１２上に静圧ポケット１４Ａ，１４Ｂを介して移動体１３を支持するとともに、駆動手段により移動体１３を移動させるように構成する。駆動手段としてリニアモータ１５を用いる。リニアモータ１５の固定子１５ａと移動子１５ｂとの間の吸引力あるいは反発力を静圧ポケット１４Ａの部分における案内体１２と移動体１３との接近方向への力として作用させる。 （もっと読む）

【課題】エアの消費が抑制されるとともに、供給されるエアの圧力が低下してもエアスピンドルユニットにカジリ現象が生じないエアスピンドルユニットを提供する。
【解決手段】スラストエアベアリング４２とラジアルエアベアリング４０ａ、４０ｂを画成するスピンドルハウジング３８と、スピンドル２６に連結されてスピンドル２６を回転するモータ４４と、を備えたエアスピンドルユニット３６であって、スラストエアベアリング４２及び第１及び第２のラジアルエアベアリング４０ａ、４０ｂに高圧エアを分配するエア分配弁５６を具備している。エア分配弁５６は、エア供給源５８から供給されるエア圧が所定圧以上の場合は、第２のラジアルエアベアリング４０ｂのみにエアを供給し、供給されるエア圧が該所定圧未満の場合は、第１及び第２のラジアルエアベアリング４０ａ、４０ｂにエアを供給する。 （もっと読む）

【課題】所望の精度を保持し、かつスラスト負荷容量を高める。
【解決手段】エアスピンドル１では、ハウジング２にスラスト方向エア噴出手段及びラジアル方向エア噴出手段としてのステータ３が固定される。このステータ３の上面、下面、内径面には上エア噴出し面３ａ、下エア噴出し面３ｂ、内径エア噴出し面３ｃが形成されている。上エア噴出し面３ａの外周周りには、外周側負荷容量生成手段としての複数、例えば６個のパッド型エアベアリング１１〜１６が均等に配置されて構成される。このパッド型エアベアリング１１〜１６は、スラスト板上６と同一平面を受けるように構成される。 （もっと読む）

【課題】初動時のジャッキアップを不要とし搬送時のバランスを良好に保つことにある。
【解決手段】搬送領域部１の上面にエアを吹き付け、搬送領域部の上面との間にエアの流れによる膜を形成することで、浮上力と吸着力を得るものであり、搬送領域部の上面に対向する下面が開口し上面が上部壁３ａにより閉塞されたシリンダ３と、下面が搬送領域部の上面に対向するようにシリンダ内部に上下スライド自在に収容され、シリンダの上部壁との間に内圧室１１を形成する加圧盤７と、内圧室に加圧エアを導入する加圧エア導入通路４と、加圧盤に形成され、内圧室に導入された加圧エアを搬送領域部の上面に向けて吹き出すことで、加圧盤の下面と搬送領域部の上面との間に前記エアの流れによる膜を形成する吹出孔８と、内圧室への加圧エアの導入前に、加圧盤を、搬送領域部の上面との間に所定の隙間を確保し得る上方位置に付勢する付勢手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 回転軸に対して片持ち梁状のロータの振れを防止する真空ポンプを提供する。
【解決手段】 軸受体１５には、ロータ２２の内周面２３ａと軸受体１５の外周面２４ｂとの間の隙間２６に対して、ガスパージ機構４０から取り込んだＮ_２ガスを噴出する上端部噴出孔３３ａ及び下端部噴出孔３３ｂが軸受体１５に形成されている。さらに上端部噴出孔３３ａ及び下端部噴出孔３３ｂの近傍には、それぞれの噴出孔３３ａ、３３ｂから噴出されたＮ_２ガスを回収する上端部回収孔３４ａ及び下端部回収孔３４ｂが形成されている。 （もっと読む）