【課題】スライダの走行安定性が高強く、小型・軽量なエアスライド装置の構造を提供する。
【解決手段】エアスライド装置１は、スライダ案内面２１１、２１２が磁性体で形成されたレール２と、レール２の長手方向Ｘにレール２のスライダ案内面２１１、２１２上を非接触で移動するスライダ３と、を備えている。スライダ３は、Ｌ字型に組み合わされたスライドプレート３１と、スライドプレート３１およびレール２の間に介在するようにスライドプレート３１に取り付けられた第一、第二のエアベアリング４Ａ、４Ｂと、を備えている。第一、第二のエアベアリング４Ａ、４Ｂは、磁力を発生する磁力発生部４１と、磁力発生部４１の周囲に配置され、圧縮空気を吐出する圧縮空気供給部４２と、を備えている。圧縮空気供給部４２の端面４２１は、磁力発生部４１の端面４１１とともに、レール２のスライダ案内面２１１、２１２と非接触で対面する支持面４０を構成している。 （もっと読む）

【課題】負荷変動に強く、かつ搭載装置の小型・軽量化を可能とする静圧気体軸受構造を提供する。
【解決手段】エアベアリング１は、相手部材を引き寄せる磁力を発生する磁力発生部１１と、磁力発生部１１の周囲に配置され、相手部材に向けて圧縮空気を吐出する圧縮空気供給部１２と、磁力発生部１１および圧縮空気供給部１２が取り付けられるベースプレート１３と、エアベアリング１の傾きを調整自在に保持するボールジョイント１４と、を備えている。磁力発生部１１は、円柱状に形成されたネオジム磁石等の永久磁石である。圧縮空気供給部１２は、貫通孔１２３が中央に形成された円板状部材であり、この貫通孔１２３に磁力発生部１１が嵌入されている。圧縮空気供給部１２の一方の端面１２１は、貫通孔１２３に嵌入された磁力発生部１１の一方の端面１１１とともに、相手部材の表面と非接触で対面する支持面１０を構成している。 （もっと読む）

【課題】ハウジングの外径寸法を減少させることが可能であり、軽量化及び小型化が可能な静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】ハウジング２内へ静圧気体軸受６により回転可能に支持されている回転軸４の一端側へ取り付けられ、且つタービン羽根１２を有する円板状のタービン部１０と、ハウジング２に形成され、且つタービン羽根１２へ向けて気体を噴出するためのタービンエア噴出用ノズル部２２を備え、ハウジング２は、軸方向の両端面のうちタービンエア噴出用ノズル部２２に近い側の端面である第一ハウジング端面２ａ側に形成された凹状溝２４と、タービンエア噴出用ノズル部２２と凹状溝２４とを連通するタービンエア供給用連通路２８を有し、凹状溝２４は、回転軸４の径方向及び軸方向から見て、タービン部１０と重ならない位置に形成されている。 （もっと読む）

【課題】自励振動を起こすことなく、安価な静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置を提供することにある。
【解決手段】静圧気体軸受１は、熱可塑性合成樹脂、又はこの熱可塑性合成樹脂にガラス繊維、ガラス粉末、炭素繊維もしくは無機充填材を３０〜５０質量％含有した補強充填材含有熱可塑性合成樹脂、又はアルミニウム又はアルミニウム合金から形成されている軸受基体２と、軸受基体２に接着剤により接着一体化されている熱可塑性合成樹脂から形成されている合成樹脂製の軸受体３とを具備している。 （もっと読む）

【課題】高精度な加工を安定して実現できる静圧空気軸受スピンドル装置およびこれを用いた工作機械を提供する
【解決手段】スピンドル１０と、このスピンドル１０を空気層を介して回転可能に支持したエアーベアリング機構と、増圧装置(５１，５２)および圧力レギュレータ５４を含み、圧力レギュレータ５４からの空気をエアーベアリング機構に供給するエアー供給手段５０と、スピンドルを回転させる回転駆動機構とを備えた静圧空気軸受スピンドル装置。増圧装置と圧力レギュレータとの間に、増圧装置からの空気の温度を制御して圧力レギュレータに供給する温度調整装置５３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】静圧気体軸受の軸受案内面の精度が不十分であったとしても、移動テーブルの変形が生じにくく移動テーブルを安定姿勢で移動させることができる移動テーブル装置及び露光装置並びにエアパッドを提供する。
【解決手段】ＸＹテーブル装置は、軸受案内面２ａを有するベース２と、ベース２上を直線移動する移動テーブル１と、気体を噴出する噴出口１０ｂが形成された気体軸受面１０ａを備え軸受案内面２ａと気体軸受面１０ａとの間に静圧気体軸受を構成可能なエアパッド６と、を備える。エアパッド６は、気体軸受面１０ａを備える軸受部１０と、気体軸受面１０ａの垂直方向に進退可能に軸受部１０を保持するハウジング部１１と、を備える。さらにエアパッド６は、軸受部１０を気体軸受面１０ａの垂直方向に進退させて、移動テーブル１とベース２との間の垂直方向距離を一定に保つコイルバネ２０を備える。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で動作の確実な２段絞りを構成できる板ばねを用いた可変絞り形静圧軸受を提供する。
【解決手段】流体の流量を絞ってポケットに流入させる可変絞りを、流体供給室３１ａと突起部３１ｂを備えた流体貯留室３１ａの間を突起部３１ｂと所定の隙間を隔てて正対する板ばね３３で仕切り、突起部３１ｂに開口３１ｃを有しポケット２ａに連通する流路を備える構造の可変絞り形静圧軸受において、板ばね３３の突起部３１ｂに対向しない部位に、流体供給室３２ａと流体貯留室３１ａの間を連結する固定絞り３３ａを備える。 （もっと読む）

【課題】大量生産が可能で安価な静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置を提供すること。
【解決手段】静圧気体軸受１は、好ましくは、ポリアセタール樹脂（ＰＯＭ）、ポリアミド樹脂（ＰＡ）、ポリフェニレンサルファイド樹脂（ＰＰＳ）などの熱可塑性合成樹脂、又はこれらの熱可塑性合成樹脂にガラス繊維、ガラス粉末、炭素繊維もしくは無機充填材を３０〜５０質量％含有した補強充填材含有熱可塑性合成樹脂、あるいはアルミニウム又はアルミニウム合金から形成されている軸受基体２と、軸受基体２に環状シール部材３を介して締結部材４により締結一体化されていると共に好ましくはポリアセタール樹脂、ポリアミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂などの熱可塑性合成樹脂から形成されている合成樹脂製の軸受体５とを具備している。 （もっと読む）

【課題】高速回転する部品を、簡易な構造で、より安定して非接触支持するコンパクトなエアベアリングユニットの構造を提供する。
【解決手段】多孔質焼結層１０２からラジアル軸受隙間６０に流体ｔを供給してラジアル軸受隙間６０内に流体膜を形成し、その流体ｔをラジアル軸受隙間６０から、ラジアル軸受隙間６０に繋がるスラスト軸受隙間６１ａ、６１ｂに排気させる。この排気ｔ１を利用してスラスト軸受隙間６１ａ、６１ｂ内に流体膜を形成する。ラジアル軸受隙間６０から排気された流体ｔがスラスト軸受隙間６１ａ、６１ｂに供給されるため、ラジアル軸受隙間６０からの流体ｔを排気するための溝や、スラスト軸受隙間６１ａ、６１ｂに流体ｔを噴出するスラスト軸受面を別途設ける必要がない。 （もっと読む）

【課題】自励振動を起こすことがなく、大量生産が可能で安価な静圧気体軸受及びその製造方法を提供すること
【解決手段】基部４、該基部４の一方の面５から一体的に突設されている環状突出部６、一端７では該環状突出部６の突出端面８で開口している一方、他端９では基部４の外周面１０で開口すると共に環状突出部６及び基部４に設けられた給気通路１１を備えた合成樹脂製の軸受基体２と、基部４の一方の面５に対面している一方の面４１に形成されていると共に軸受基体２の環状突出部６を受容した環状凹所４２、他方の面４３で開口した環状凹溝４４及び一端４５では環状凹溝４４に連通していると共に他端４６では環状凹所４２に開口した自成絞りとしての複数個の空気吹出孔４７を有した合成樹脂製の軸受体３とを具備している。 （もっと読む）

【課題】軸受の交換を容易にできるようにする。
【解決手段】ハウジング２と、ハウジング２に収納され、スラストディスク３ａを備えた主軸３と、主軸３のラジアル方向の支持を非接触で行うラジアル軸受部３０Ａ、及び、スラストディスク３ａのスラスト方向の支持を非接触で行うスラスト軸受部３０Ｂを一体的に備えたラジアル・スラスト軸受３０と、スラスト軸受部３０Ｂを主軸３の軸方向に貫通し、ラジアル・スラスト軸受３０とハウジング２とを固定する固定ボルト５０と、主軸３に設けられた回転子４ａ、及び、ハウジング２の内周側に回転子４ａと対向して設けられた固定子４ｂを有するモータ４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ジャーナル軸受としての性能を低下させることなくＪＯＰ機構を備えたジャーナル軸受。
【解決手段】回転軸Ｒの外周側に周方向に間隔をあけて複数が設置され、回転軸を外周側から支持する軸受パッド４と、互いに周方向に隣り合う軸受パッド４の間にそれぞれ設けられ、回転軸の外周面に対して潤滑油を供給する給油ノズル６，７とを備えるジャーナル軸受１において、複数の給油ノズルのうち回転軸Ｒの下方に位置する少なくとも一の給油ノズル６に、回転軸の停止時に回転軸の外周面に接触する接触面８が設けられ、給油ノズル６の内側に穿設された高圧油供給孔を介して潤滑油よりも圧力の大きい高圧油を接触面に供給する高圧油供給手段１１を備えるジャーナル軸受を提供する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造でエアスピンドルの回転体を冷却できるようにする。
【解決手段】回転体であるハウジング２の内周面の、固定軸１の突出部１ａと対向する位置に凹部２１を形成する。突出部１ａの両側に静圧気体軸受３を配置する。突出部１ａの軸方向中央位置に、凹部２１と排気路１３を連通する連通路１４を設ける。凹部２１と静圧気体軸受３との間に気体導入隙間５を形成する。ラジアル軸受面３１を通った気体は、積極的に気体導入隙間５から凹部２１に入り、凹部２１に溜まった気体で回転するハウジング２が冷却される。 （もっと読む）

【課題】膨張タービンの回転軸を静圧気体軸受で支持するにあたり、軸受にガスを供給するラインに専用圧縮機を設けずに回転軸の支持に必要な圧力のガスを軸受に安定供給可能にする。
【解決手段】液化システム１００は、液化原料ガスの圧力が所定部分３ｂ，３ｃで所定圧Ｐ０以上に保たれるように液化原料供給源１からの液化原料ガスを送るフィードライン３と、冷媒を循環させるための冷媒循環ライン５と、所定圧Ｐ０以上のガスの供給を受けて膨張タービン１４Ｈ，１４Ｌの回転軸を回転可能に支持する静圧気体軸受ＧＢと、静圧気体軸受ＧＢにガスを供給するために、フィードライン３の所定部分３ｂ，３ｃと静圧気体軸受ＧＢのガス入口４９とを接続する軸受供給ライン７と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】自動補償静圧ジャーナル軸受の提供。
【解決手段】この自動補償静圧ジャーナル軸受は、軸を取り付ける座体を有し、座体に軸を取り付ける孔が穿たれて円周面が形成され、軸と円周面の間に液圧液体を流通させる間隙があり、座体に少なくとも二つの注油孔が設けられ、円周面上に相互に対向するように設けられた少なくとも二つの第１チェンバ一がそれぞれ一つの注油孔に連通し、且つ各第１チェンバ一に隣接するようにそれぞれ第２チェンバ一が設けられ、座体に少なくとも二つのチャンネルが設けられ、各チャンネルの第２端はそれぞれ第１端と対向する第２チェンバ一に２連通する。これにより、軸受力が偏る時、その偏り方向とその対向の間隙を変更して、液圧液体に各通路をとおり、対向する第１チェンバ一と第２チェンバ一間で流量自動補償作用を発生させる。 （もっと読む）

【課題】静圧軸受に加わる外乱負荷に対し、軸受剛性の維持に必要な厚さの流体膜が形成されるようにし、安定した軸受剛性を得ることができる静圧流体軸受装置を提供する。
【解決手段】静圧ポケットと、静圧ポケットに加圧流体を供給する流体供給手段と、流体供給手段から静圧ポケットに至る流体流路１３と、流体流路１３の途中に設けられ、ダイアフラム４３と、弁座４５と、ダイアフラム４３と弁座４５に囲われ、加圧流体が充填される絞り空間部４４ｂを有し、ダイアフラム４３の変形により、ダイアフラム４３と弁座４５との間の絞りの開度Ｄと、絞り空間部４４ｂの体積が変動する可変絞り４０と、静圧ポケットの圧力検出手段と、ダイアフラム４３を変形させるダイアフラム変形手段５０と、検知された圧力に応じて、ダイアフラム変形を作動させることにより、絞りの開度Ｄと絞り空間部４４ｂの体積の変動を制御する制御手段を備えた。 （もっと読む）

【課題】静圧軸受に加わる外乱負荷に対し、静圧ポケットの圧力低下を抑制することで、軸受剛性の維持に必要な厚さの流体膜が形成されるようにし、安定した軸受剛性を得ることができる静圧流体軸受装置を提供する。
【解決手段】軸受面に設けられた静圧ポケット１１と、静圧ポケット１１に加圧流体を供給する流体供給手段Ｐと、流体供給手段Ｐから静圧ポケット１１に至る流体の通路を形成する流体供給流路１３と、流体供給流路１３の途中に設けられた供給側絞り手段４０と、静圧ポケット１１からドレン２３に至る流体の通路を形成する流体排出流路１５と、流体排出流路１５の途中に設けられた排出側絞り手段６０と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】 スピンドルの駆動モータやスピンドル軸受部等から発生した熱を効率よく冷却し、外部の真空環境に対しアウトガス等の発生を抑えて真空環境を所望の清浄度に保つと共に、シール部材の劣化を防止し得る冷却構造を備えた静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】 静圧気体軸受スピンドルは、回転軸２と、回転軸２を支持しこの軸心回りに回転自在に支持する静圧気体軸受３と、モータ４とを備える。ハウジング本体１Ａ，１Ｂの表面と、同ハウジング本体の表面に重ねられる閉塞部材３２，３４との間に冷却液が循環する流路３３，３５を設け、両者の重なり面に介在して流路３３，３５を密封するシール部材４２ａ，４２ｂ、５０ａ，５０ｂを流路３３，３５に対して内外に並ぶ２重構造に設ける。２つのシール部材４２ａ，４２ｂ、５０ａ，５０ｂを互いに材質の異なるものとする。 （もっと読む）

【課題】スラスト給気孔から供給する加圧空気で形成されるスラスト空気軸受のスラスト力を高めて、回転軸の自重をスラスト空気軸受のみで支持することができ、かつスラスト空気軸受及びラジアル空気軸受に供給する加圧空気の圧力を独立に制御してそれぞれの剛性を独立に制御することができる縦型バランス計測装置を提供する。
【解決手段】羽根車１ａがシール円板１ｂより大きい外径の円形端面１ｅをシール円板側に有しており、縦型バランス計測装置が、回転軸１をその軸心を鉛直に保持して支持する軸受マウント１０を備える。軸受マウント１０は、羽根車の円形端面１ｅの下面に加圧空気を供給するスラスト給気孔１２と、ラジアル支持用の円筒部１ｃに加圧空気を供給するラジアル給気孔１４と、スラスト給気孔１２とラジアル給気孔１４の間に位置しその間から加圧空気を排気するスラスト側排気孔１６とを有する。 （もっと読む）