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Fターム[3J102EA18]の内容

その他の軸受(磁気軸受、静圧軸受等) (9,013) | 静圧軸受の構造 (1,429) | 流体供給部又はその付近の構造 (388) | 多孔質材料を用いるもの (101)

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【課題】駆動源の負荷が小さく、真空チャンバの構成部品を高速回転することに適した支持装置を提供する。
【解決手段】本発明の支持装置は、回転軸3に所定の隙間を存して同心に外挿され、回転軸3の長手方向の端面が側壁に密着される筒状部材4を有している。回転軸3の筒状部材4から大気側に延出する部分には、回転軸3より大径のフランジ部5が一体的に形成され、このフランジ部5に所定の隙間を存して囲うカバー部材6が配置されている。カバー部材6の内周面には、回転軸3の長手方向に沿う環状の2つの第2の加圧溝61a,61bが凹設されている。給気通路62a,62bと給気管63a,63bとコンプレッサー48とが、第2の加圧溝61a,61bにベアリングガスを供給する第2のガス供給手段を構成する。 (もっと読む)


【課題】気体の運動エネルギーを高効率で回転駆動力に変換するスピンドル装置及び静電塗装装置を提供する。
【解決手段】スピンドル装置のタービン翼9は、回転方向の前方に向く前方面21と後方に向き気体を受ける後方面22とを備えている。後方面22は、曲率半径R1を有する凹状円柱面であり、前方面21は、R1よりも大きい曲率半径R2を有する凸状円柱面21aと平面21cとの間に、R1よりも小さい曲率半径R3を有する凸状円柱面21bを配して滑らかに連続させた面である。前方面21を構成する3面のうち凸状円柱面21aが凸状円柱面21bを挟んで流路の流入口側に配され、平面21cが流路の流出口側に配される。隣接するタービン翼9の対向する前方面21と後方面22とに挟まれた空間が、気体の流路を構成し、ノズル10から噴出された気体が流路の流入口31から流入し、凹状円柱面の円弧状湾曲に沿う方向に流れて流出口32から流出する。 (もっと読む)


【課題】シャフトの損傷を防止し、かつコスト低減が可能なエアロールユニットの構造を提供する。
【解決手段】エアロールユニット1は、ロール本体20に連結されたシャフト21と、シャフト21に装着されたカラー3と、カラー3を非接触で支持するエアベアリング4と、スラストプレート5を介してカラー3に取り付けられた回り止め板6と、を備えており、カラー3の内径r2がシャフト21の外径r1より大きく設定されている。回り止め板6には、内周面65と外周面66とを径方向に繋ぐスリット67が形成されるとともに、外周面66からスリット67を跨ぐように深座ぐり付き穴68が形成され、この深座ぐり付きネジ穴68にボルト83を挿入して、ボルト83を締めたり緩めたりすることで、回り止め板6のシャフト21への取付および取外しが可能である。 (もっと読む)


【課題】高速回転する部品を、簡易な構造で、より安定して非接触支持するコンパクトなエアベアリングユニットの構造を提供する。
【解決手段】多孔質焼結層102からラジアル軸受隙間60に流体tを供給してラジアル軸受隙間60内に流体膜を形成し、その流体tをラジアル軸受隙間60から、ラジアル軸受隙間60に繋がるスラスト軸受隙間61a、61bに排気させる。この排気t1を利用してスラスト軸受隙間61a、61b内に流体膜を形成する。ラジアル軸受隙間60から排気された流体tがスラスト軸受隙間61a、61bに供給されるため、ラジアル軸受隙間60からの流体tを排気するための溝や、スラスト軸受隙間61a、61bに流体tを噴出するスラスト軸受面を別途設ける必要がない。 (もっと読む)


【課題】真空槽の外部に動力源を配置して、直線移動力や回転移動力を真空槽内に導入するときに、オーリングの変形によってリークが発生することの無い真空装置を提供する。
【解決手段】真空槽21の開口22に筒状部材11を設け、筒状部材11と開口22に挿通した動力伝達軸12の先端を真空槽21内に挿入し、根本を真空槽21の外部に配置された動力源16に取り付ける。筒状部材11内周面の噴出装置17からベアリングガスを噴出し、筒状部材11と動力伝達軸12とを非接触にして動力源16を動作させて動力伝達軸12を直線移動と回転移動させる。噴出装置17と開口22との間に複数の排気溝を設け、真空槽21に近い排気溝を最も大きな排気コンダクタンスで、真空排気装置15に接続する。開口22に最近の排気溝内の圧力を低くすることができ、真空槽21内を高真空雰囲気にすることができる。 (もっと読む)


【課題】ガイドレールに対してスライダを着座させる際の姿勢制御を有効に行える案内装置を提供する。
【解決手段】第1の支持面13aの凹部13dと第2の支持面13bの凹部13fとが、独立して流体の供給を中止可能な配管系即ち第1通路13h、第2通路13iを介して、圧縮空気源A,Bに接続されているので、例えばバルブV2を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第2の支持面13bと第2の案内面12bとの隙間を維持しつつ、第1の支持面13aが第1の案内面12aに着座することができ、或いはバルブV3を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第1の支持面13aと第1の案内面12aとの隙間を維持しつつ、第2の支持面13bが第2の案内面12bに着座することができ、これによりスライダ13を静止した際に、これに連結されたテーブル等に載置されたワークを精度良く位置決めすることができ、加工精度や検査精度を向上させることができる。 (もっと読む)


【課題】長尺な部材や横断面サイズが大きくなっても自重たわみを改善することができるガイド部材を備え、製造コストの低減化を図ることができる静圧空気軸受直線案内装置を提供する。
【解決手段】案内方向に延在するガイド部材4と、ガイド部材に沿って案内方向に移動する可動体5と、この可動体を気体によって支持・案内する空気軸受部13a〜13hと、を備えた静圧気体軸受直線案内装置である。ガイド部材は、長尺方向が案内方向に平行に延在する一対の側板ガイド部材4a,4aと、一対の側板ガイド部材の案内方向に直交する短尺方向の一端に結合し、案内方向に沿って延在する底板ガイド部材4bとを備えた横断面コ字状の部材である。


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【課題】可動体を浮上させる圧縮空気をガイドレールから噴出させることで、可動体をチューブレス構造とした静圧気体軸受直線案内装置の提供。
【解決手段】基台に固定されるガイドレール2、ガイドレール2の延出方向に沿って往復移動可能な可動体4(垂直方向受板42、水平方向受板44)、圧縮空気を噴出して可動体4をガイドレール2に対して浮上させて非接触に支持する静圧気体軸受部(多孔質部材)6、磁気吸引力により可動体4をガイドレール2に引き寄せる吸引部8(磁気吸引部材8a、永久磁石8b)を備え、静圧気体軸受部6からの圧縮空気による可動体4のガイドレール2に対する浮上力と、可動体4をガイドレール2へ引き寄せる吸引部8からの磁気吸引力とを調整してバランスを図り、可動体4をガイドレール2に対して浮上させつつ、往復移動させるべく、静圧気体軸受部6をガイドレール2に配し、可動体4へ向けて圧縮空気を噴出させる。 (もっと読む)


【課題】ガイドレールの軽量化、生産効率の向上、低コスト化を図ると共に、ガイドレールに沿って可動体を移動させて位置決めする際、負荷を非接触で安定してかつ効率良く支持することを可能にする。
【解決手段】一方向に沿って形成された凹部6gが同一向きに整列するようにレール構造体6S,6Tを相互に組み合わせたガイドレール2には、一方向に沿って延出した第1及び第2のガイド面6c,6bが直交配置され、可動体4は、第1のガイド面6cに対向する第1の軸受パッド4a、第2のガイド面6bに対向する第2の軸受パッド4bを備え、各軸受パッド4a、4bの気体噴出部8から加圧気体を噴射すると共に、各軸受パッド4a、4bの磁石部10とガイドレール2の磁性材Mとが互いに吸引し合って磁気吸引力を発生させることで、可動体4は、ガイドレール2に対して所定量浮上しつつ非接触で支持された状態で移動可能となる。 (もっと読む)


【課題】非接触式のシール機構を用いることにより、リークを起こすことなく真空槽外の動力源が生成する回転動力を真空槽内に導入する技術を提供する。
【解決手段】
真空槽21の開口22に筒状部材11を設け、筒状部材11と開口22に挿通した動力伝達軸12の一端を真空槽21内に挿入し、他端を真空槽21の外部に配置された動力源16に取り付ける。筒状部材11内周面の噴出装置17からベアリングガスを噴出し、筒状部材11と動力伝達軸12とを非接触にする。真空槽21内を大気圧より低い圧力にすると、動力伝達軸12に真空槽21内に引き込む力がかかり、第二の板状部材32が球状部材33を介して第一の板状部材31に押しつけられ、動力伝達軸12は一定の向きに維持される。動力源16を動作させて動力伝達軸12を回転移動させると、動力伝達軸12は一定の向きに維持されたまま筒状部材11と接触せずに回転移動する。 (もっと読む)


【課題】ガイドレールの軽量化、生産効率の向上、低コスト化を図ると共に、当該ガイドレールに沿って可動体を移動させて位置決めする際において、負荷を非接触で安定してかつ効率良く支持することを可能にする静圧気体軸受直線案内装置を提供する。
【解決手段】一方向に沿って形成された凹部6gが同一向きに整列するようにレール構造体6S,6Tを相互に組み合わせたガイドレール2には、一方向に沿って延出した第1及び第2のガイド面6c,6bが直交配置され、可動体4は、第1のガイド面6cに対向する第1の軸受パッド4aと、第2のガイド面6bに対向する第2の軸受パッド4bとを備え、各軸受パッド4a、4bに設けられた気体噴出部8から可動体4とガイドレール2との間に加圧気体を噴射して導入することで、可動体4は、ガイドレール2に沿って非接触で移動可能となる。 (もっと読む)


【課題】高い回転精度を有し、低コストで製造することのできる静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】矢印方向に回転する回転体を気体膜を介して回転支持する多孔質体2は、回転体の回転方向に交互に配設された複数の有効通気部3と線状の非有効通気部4とを有する。複数の有効通気部3は、それぞれ非有効通気部4によって分離され、通気流量を個別に制御される。線状の非通気有効部4を、回転方向に垂直な軸に対して回転方向に傾斜させることで、通気流量の回転方向の分布を低減し、均一な気体膜を形成する。 (もっと読む)


【課題】装置の低廉化、エア消費量の削減を図り得ると共に、部品点数を削減し得、組み立て工数を減少し得、しかも、ラジアル方向の磁気による吸着力が不均一となってラジアル方向の負荷容量が低下する虞をなくし得るロール装置を提供すること。
【解決手段】ロール装置1は、中空のロール体2と、ロール体2の中空部に隙間3をもって挿通されている軸体4と、ラジアル方向に関してロール体2を静圧気体によって支持すべくロール体2と軸体4との間に介在されている静圧気体軸受手段7及び8と、スラスト方向に関してロール体2を磁力によって支持する磁性軸受手段9及び10とを具備している。 (もっと読む)


【課題】装置の低廉化、エア消費量の削減を図り得るカムフォロアを提供すること。
【解決手段】カムフォロア1は、中空の転動体2と、転動体2の中空部に隙間3をもって挿通されている軸体4と、ラジアル方向に関して転動体2を静圧気体によって支持すべく転動体2と軸体4との間に介在されている静圧気体軸受手段7と、スラスト方向に関して転動体2を磁力によって支持する磁性軸受手段9及び10とを具備している。 (もっと読む)


【課題】装置の低廉化、エア消費量の削減を図り得るロール装置を提供すること。
【解決手段】ロール装置1は、中空のロール体2と、ロール体2の中空部に隙間3をもって挿通されている軸体4と、ラジアル方向に関してロール体2を静圧気体によって支持すべくロール体2の両端部5及び6に夫々配されていると共にロール体2と軸体4との間に夫々介在されている一対の静圧気体軸受7及び8と、スラスト方向に関してロール体2を磁力によって支持する磁性軸受9とを具備している。 (もっと読む)


【課題】回転摩擦を低減させると共に回転速度を向上させることができ、しかも、使用期間の長期化を図り得ると共にランニングコストをも低減させ得るカムフォロアを提供すること。
【解決手段】カムフォロア1は、中空の転動体2と、転動体2の中空部に隙間3をもって挿通されていると共に一端部21が転動体2から突出している軸体4と、ラジアル方向に関して転動体2を静圧気体によって支持すべく転動体2と軸体4との間に介在されている静圧気体軸受7と、スラスト方向に関して転動体2を磁力によって支持する磁性軸受9とを具備している。 (もっと読む)


【課題】回転モータの停止時にハンチング現象が生じないロータリエンコーダ制御式エアスピンドルを提供する。
【解決手段】回転軸3に固定されたディスク13にパッド18、19が当接するため、回転モータ9の停止時における回転軸3の回転方向での振動が防止され、ハンチング現象が生じない。パッド18はディスク13の外縁部13bに小さいな力で当接し且つ外縁部13bが回転軸3の軸方向で変形可能なため、ディスク13とパッド18との当接が回転軸の本来の回転に影響を与えることはない。 (もっと読む)


【課題】自動調心機能を持つ、組立て部品化した静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】静圧気体軸受1を軸の外周面に対向配置される内筒筐体2と、ハウジングHの内周面に対向配置される外筒筐体3とから成し、内筒筐体又は外筒筐体の互いに対向する面にラジアル軸受面3a及びスラスト軸受面3bを設け、軸受面を静圧気体軸受の内部に設ける。ラジアル軸受隙間に対して裏側の面にOリング4を設け、スラスト軸受隙間に対して裏側の面であって、Oリングが備えられた筐体にバネ5を設け、Oリングとバネに軸とハウジングとの不均一な隙間量を吸収させるとともに、外筒筐体を軸とハウジングとの角度変化に追従して連続的に首を振るように動かす。 (もっと読む)


【課題】被案内可動体を案内軌道に沿って移動させる際、被案内可動体の移動速度に係わらず、被案内可動体を任意の目標停止位置に停止可能な磁気ダンパーを備えたエアスライド装置を提供する。
【解決手段】被案内可動体12を案内軌道面に対して非接触形態で支持する静圧気体軸受と、該案内軌道に沿って走行中の被案内可動体に対して制動力を負荷する磁気ダンパー20とを有するエアスライド装置10であって、前記磁気ダンパー20は、一対の磁石ユニット26の各々が、該導電性ダンパープレート24の対応する側面に対して間隔を隔てて配置され、それにより、前記被案内可動体12が前記案内軌道に沿って走行中に、該導電性ダンパープレート24が前記磁石ユニット26を横切ることにより、前記導電性ダンパープレート24に生じる渦電流に基づいて、前記被案内可動体12に対して制動力を負荷することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】支持板の表面から噴出する気体によるワークの支持力を柔軟に調節することのできる非接触支持装置を提供する。
【解決手段】非接触支持装置は、エアを供給するエア通路と、エア通路から供給されるエアを透過させて表面から噴出させるフィルム50と、フィルム50の表面から噴出される気体を透過させて表面から噴出させる多孔質板60とを備える。フィルム50及び多孔質板60は、リベット71によって本体30に固定されている。フィルム50は内部に多数の空孔を有する多孔質フィルムであり、フィルム50の通気抵抗は多孔質板60の通気抵抗よりも大きく設定されている。 (もっと読む)


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