【課題】回転体のナノメートルオーダーの回転精度を向上させる。
【解決手段】本発明の静圧気体軸受は、回転体２４が回転軸２０の径方向へ鍔状に突出するスラスト部１９を有している。スラスト部１９の一方の面および他方の面が回転軸２０と垂直に交わる仮想平面２１と平行である。ハウジング１２には、スラスト部１９の一方の面および他方の面に対向する部位にそれぞれ一方の多孔質体１３および他方の多孔質体１４が配置されている。各多孔質体１３、１４表面の前記仮想平面からの距離の不均一を補償するように各多孔質体１３、１４からの気体の流出量を表面の孔の開口量によって変化させる。 （もっと読む）

【課題】回転軸の回転精度を向上させる。
【解決手段】軸受部２の内面を測定して得られた内径形状８に対して内外接する２つの同心円９、１０の中心を基準中心点１１として基準円５を設定する。基準円５の半径と軸受部２の内径との差分に基づいて、多孔質体である軸受部２から噴出される気体の流量を調整し、気体膜の圧力分布を均一にする。流量調整は、多孔質材表面の目止め量を周方向のそれぞれの領域において調整することによって行う。軸受部２に供給する気体の供給圧力を調整することによって、同様の流量調整を行ってもよい。 （もっと読む）