説明

Fターム[3J102EA24]の内容

その他の軸受(磁気軸受、静圧軸受等) (9,013) | 静圧軸受の構造 (1,429) | シール手段を持つもの (31)

Fターム[3J102EA24]に分類される特許

1 - 20 / 31


【課題】駆動源の負荷が小さく、真空チャンバの構成部品を高速回転することに適した支持装置を提供する。
【解決手段】本発明の支持装置は、回転軸3に所定の隙間を存して同心に外挿され、回転軸3の長手方向の端面が側壁に密着される筒状部材4を有している。回転軸3の筒状部材4から大気側に延出する部分には、回転軸3より大径のフランジ部5が一体的に形成され、このフランジ部5に所定の隙間を存して囲うカバー部材6が配置されている。カバー部材6の内周面には、回転軸3の長手方向に沿う環状の2つの第2の加圧溝61a,61bが凹設されている。給気通路62a,62bと給気管63a,63bとコンプレッサー48とが、第2の加圧溝61a,61bにベアリングガスを供給する第2のガス供給手段を構成する。 (もっと読む)


【課題】軸受の交換を容易にできるようにする。
【解決手段】ハウジング2と、ハウジング2に収納され、スラストディスク3aを備えた主軸3と、主軸3のラジアル方向の支持を非接触で行うラジアル軸受部30A、及び、スラストディスク3aのスラスト方向の支持を非接触で行うスラスト軸受部30Bを一体的に備えたラジアル・スラスト軸受30と、スラスト軸受部30Bを主軸3の軸方向に貫通し、ラジアル・スラスト軸受30とハウジング2とを固定する固定ボルト50と、主軸3に設けられた回転子4a、及び、ハウジング2の内周側に回転子4aと対向して設けられた固定子4bを有するモータ4と、を有する。 (もっと読む)


【課題】真空槽の外部に動力源を配置して、直線移動力や回転移動力を真空槽内に導入するときに、オーリングの変形によってリークが発生することの無い真空装置を提供する。
【解決手段】真空槽21の開口22に筒状部材11を設け、筒状部材11と開口22に挿通した動力伝達軸12の先端を真空槽21内に挿入し、根本を真空槽21の外部に配置された動力源16に取り付ける。筒状部材11内周面の噴出装置17からベアリングガスを噴出し、筒状部材11と動力伝達軸12とを非接触にして動力源16を動作させて動力伝達軸12を直線移動と回転移動させる。噴出装置17と開口22との間に複数の排気溝を設け、真空槽21に近い排気溝を最も大きな排気コンダクタンスで、真空排気装置15に接続する。開口22に最近の排気溝内の圧力を低くすることができ、真空槽21内を高真空雰囲気にすることができる。 (もっと読む)


【課題】非接触式のシール機構を用いることにより、リークを起こすことなく真空槽外の動力源が生成する回転動力を真空槽内に導入する技術を提供する。
【解決手段】
真空槽21の開口22に筒状部材11を設け、筒状部材11と開口22に挿通した動力伝達軸12の一端を真空槽21内に挿入し、他端を真空槽21の外部に配置された動力源16に取り付ける。筒状部材11内周面の噴出装置17からベアリングガスを噴出し、筒状部材11と動力伝達軸12とを非接触にする。真空槽21内を大気圧より低い圧力にすると、動力伝達軸12に真空槽21内に引き込む力がかかり、第二の板状部材32が球状部材33を介して第一の板状部材31に押しつけられ、動力伝達軸12は一定の向きに維持される。動力源16を動作させて動力伝達軸12を回転移動させると、動力伝達軸12は一定の向きに維持されたまま筒状部材11と接触せずに回転移動する。 (もっと読む)


【課題】軸受本体を大型化する場合や、矩形板状以外の様々な形状の軸受本体を用いる場合であっても軸受本体を容易に加工することができる空気軸受の提供。
【解決手段】空気軸受2は、軸受本体3を備え、軸受本体3は、軸受面41を有する矩形板状に形成される板状部材4と、軸受面41の裏面42に取り付けられる矩形板状の蓋部材5とを備える。軸受面41には、空気を排気するための複数の排気孔が軸受面41の四辺に沿って形成される。軸受面41の裏面42には、溝部421が裏面42の四辺に沿って形成される。各排気孔は、溝部421に連通し、蓋部材5にて溝部421を覆うことで排気用流路を構成する。 (もっと読む)


【課題】剛性自動補償静圧平面軸受装置とその方法の提供。
【解決手段】本剛性自動補償静圧平面軸受装置は、スロットル、第1チャンバ及び第2チャンバを包含し、スロットルは載置台に設置され、且つスロットルの一端よりフレキシブルで変形可能な支持手段が延伸され、第1チャンバは該支持手段のスロットルと反対の一端に形成され、且つスロットルを貫通する給液管路と連通し、第2チャンバは支持手段と載置台の間に形成され、並びに第2チャンバは支持手段上の連通孔を介して第1チャンバと連通する。負荷が変化する時、第1チャンバの圧力がそれにより変化し、並びに連通孔を介して第2チャンバに伝導され、第2チャンバの圧力変化により支持手段が微量変形し、これにより第1チャンバの容積が変化してその平均圧力が変化することで軸受の剛性自動補償が行われる。 (もっと読む)


【課題】平行運動学などの駆動装置の運動学が従来技術と異なり、正確な位置決めが可能になる真空適用のためのテーブル装置を提供する。
【解決手段】真空適用のためのテーブル装置は空気静力学的軸受ユニットによりガイドされた移動テーブルとベースプレートを有する。軸受ユニット(10)が、軸受ユニットの作動に必要なガスを供給及び排出する供給ライン及び吸い込みラインに連結し、各場合に少なくとも1つの段を有する、吸い込みチャネルと真空に対してシールするシーリングギャップとを有するシーリング装置を具備する。テーブル装置の特徴として、軸受ユニットが少なくとも部分的に回り継手として構成され、移動テーブルを横にガイドするドライブ(5)によって作動されるプッシュロッド(4)が、それぞれの回り継手の回転部品(21)に連結し、プッシュロッドが中空であり、作動ガスを排出するための吸い込みラインの構成部品を構成する。 (もっと読む)


【課題】エネルギーの利用効率を高めることができると共に、搬送部品の汚染を防止し、外側移動体の取り付け位置の調整作業を簡素化する。
【解決手段】本発明は、シリンダ11の内部に給排される駆動用エアにより往復動する内側移動体14と、内側移動体14との間で作用する磁石32,37a,37bの吸引力により内側移動体14と共に往復動する外側移動体16と、外側移動体16の両端部においてシリンダ11の外周面に覆設される蛇腹18と、シリンダ11の外周面と外側移動体16との間の隙間15に浮上用エアを供給する浮上用エア供給設備19と、浮上用エア供給設備19によって隙間15に供給された浮上用エアをシリンダ11の外周面と蛇腹18との間のエア流路17を介してタンク20に戻す浮上用エア回収設備21とを備えていることを特徴とする。 (もっと読む)


軸受機能およびシール機能を有し、動力損失を低減することができる静圧アキシャルすべり軸受を使用する装置および方法を提供する。該装置の静圧アキシャルすべり軸受は、アキシャルすべり軸受表面によって形成され、流体膜によって分けられ、該装置が稼動している間に相対回転を可能に構成されている。該装置は、第1および第2の構成要素を有し、それらは第1および第2のアキシャルすべり軸受表面(28,30,36,38,40,42)を形成している。これらを組み合わせて、第1および第2のアキシャルすべり軸受表面は、静圧アキシャルすべり軸受に対して軸受表面およびシール表面として機能する。該装置は、第1および第2のアキシャルすべり軸受表面が、第1の運動方向において相対回転することを可能に構成されており、少なくとも第2のアキシャルすべり軸受表面は、第1の運動方向において振動波形を備える表面形状(44)を有する。
(もっと読む)


【課題】装置コストの増大を抑制しながらシール性能を高めた差動排気シール機構を有する静圧気体軸受スピンドルの提供。
【解決手段】静圧気体軸受スピンドルは、回転軸1と、軸受スリーブと、シールカバー10と、吸引ポンプ29、30とを備える。軸受スリーブは、回転軸1の外周面の一部を取り囲み、回転軸1の外周面と間隙を介して対向するとともに間隙に気体を供給することでジャーナル軸受を構成する。シールカバー10と回転軸1の外周面とが対向する領域では、シールカバー10の表面と回転軸1の外周面との少なくともいずれか一方に、回転軸1の外周面を周回する環状溝17が複数形成される。吸引ポンプ29、30は、環状溝17に管路としての配管31、32を介して接続される。管路は、複数の環状溝17と吸引ポンプ29、30とを接続するように途中で分岐点40を有している。 (もっと読む)


【課題】回転軸の回転精度を良好に保つことが可能な気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】気体軸受スピンドルは、回転軸1と、スリーブ3、4と、ハウジング2とを備える。スリーブ3は、回転軸1の側面の少なくとも一部と隙間を介して対向するように配置される。ハウジング2は、開口部を有し、当該開口部の内部にスリーブ3、4および回転軸1を保持する。回転軸1では、ハウジング2の開口部側の端部に形成された開口に連通する空洞部としての空洞1bが形成される。回転軸1の側面に、回転軸1の側面を周回する円周溝1aが形成されている。回転軸1では、円周溝1aと空洞1bとを繋ぐ連通孔1cが形成されている。スリーブ3、4およびハウジング2には、円周溝1aに液体や気体などの冷却媒体を供給する供給路2bが形成されている。 (もっと読む)


【課題】少ない流体流量で十分なシャフト浮上能力を有する流体軸受付きのシャフトモータを提供する。
【解決手段】筒状をなすコイル1aの中心軸上に設けられたシャフト1bを軸方向移動可能に支持する流体軸受2を備え、流体軸受2はシャフト1b表面に対しラジアル方向に流体を噴射する複数の噴射ノズル3を備えたシャフトモータにおいて、噴射ノズル3のノズル口3eに流体によるシャフト浮上力を増大させる圧力ポケット4を設けた構成とする。 (もっと読む)


第2の部品(22)に対して回転可能な第1の部品(24)を備える回転式の気体軸受(20)が記述される。第1の部品(24)は、サポート部材(26)およびサポート部材(26)に取り付けられた第1の部分(30)および第2の部分(32)を備える。第1の部分(30)は、第1の軸受表面(34)を備え、第2の部分(32)は、第2の軸受表面(36)を備える。第1の部分(30)および第2の部分(32)は、ねじ込み接続によりサポート部材(26)に取り付けられる。第2の部品(22)は、相補的な軸受表面(38、40)を備える。第1および/または第2の部分(30、32)をサポート部材(26)に固定するために、エポキシ樹脂を使用可能である。また、軸受を通る気体流を測定することにより軸受作動ギャップを決定する方法が記述される 。
(もっと読む)


【課題】
大気環境等で使用した場合や、異常事態が生じた場合でも、動作が阻害されることが抑制される直線案内を提供する。
【解決手段】
ガイドレール3の上面に異物が落下したような場合、ケース15aの下面に侵入しようとする異物を排気溝15cで回収し、排気配管15eを介して外部へと排出することができる。又、万が一排気溝15cで異物が回収されなかった場合でも、供給溝15bから吐出された空気によりエアカーテンを形成し、それ以上内部へと異物が侵入することを抑制できる。加えて、供給溝15bから供給された気体の殆どは、排気溝15cを介して吸引されるので、異物を外部に排出するのに都合が良く、更に供給溝15bから供給された気体は、ケース15aから外部へと漏れ出ることが抑制され、例えば特殊ガスの環境下で用いられるような場合にも、かかる環境の破壊を抑制することができる。 (もっと読む)


【課題】 運転が終了した後においても静圧気体軸受への加工液などの異物の侵入を防止可能な静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】 静圧気体軸受スピンドル1は、静圧気体ジャーナル軸受31および静圧気体スラスト軸受32と静圧気体軸受スピンドル1の外部とを連通する連通路70と、静圧気体ジャーナル軸受31および静圧気体スラスト軸受32への異物の流入を防止するために連通路70にシール用気体を供給するためのシール用気体供給部50と、連通路70とシール用気体供給部50とを繋ぐシール用気体流路51とを含んでいる。連通路70には、シール用気体流路51との連結部である第1の連結部と連通路70における静圧気体軸受スピンドル1の外部への開口である連通路開口との間に液溜め部が形成されている。 (もっと読む)


【課題】摺動抵抗が小さく且つ耐久性の高い開閉弁を提供すること。
【解決手段】高圧の作動流体が流れる高圧作動流体流路2と当該作動流体が導入される作動流体動作室3とを連通又は遮断させる筒状の弁体5と、この弁体5の周壁部5bとの間に微小隙間gを形成し且つ当該弁体5を軸線方向に案内する筒状のガイド部6aとを備え、弁体5の内方に高圧作動流体流路2よりも相対的に低圧となる蓄圧室10を設け且つ弁体5に蓄圧室10と作動流体動作室3との連通路13を設け、周壁部5bをガイド部6aの外周面側に配置した場合、前記高圧の作動流体を微小隙間gへと供給する高圧作動流体供給通路9を周壁部5bに設け且つ微小隙間gの高圧の作動流体を蓄圧室10へと流入させる圧抜き通路11をガイド部6aに設け、周壁部5bをガイド部6aの内周面側に配置した場合、高圧作動流体供給通路9をガイド部6aに設け且つ圧抜き通路11を周壁部5bに設けること。 (もっと読む)


【課題】
部品精度を必要以上に高めることなく、製造コストを抑えながらも、部品の干渉等を回避できる回転軸支持装置を提供する。
【解決手段】
スリーブ21が、本体11に対して半径方向に位置調整可能に取り付けられているので、組み付け時に、回転軸3が本体11に支持された状態で、周溝21fの軸線方向両側に設けられた第1オリフィス部21dと第2オリフィス部21eと回転軸3の表面との間の微小スキマが最適になるように、スリーブ21を半径方向に調整でき、それにより部品精度に関わらず、回転軸3とスリーブ21との干渉を回避することができる。 (もっと読む)


【課題】ピストンの往復運動を回転運動に変換する熱機関において、内部摩擦を低減すること。
【解決手段】このピストン装置1は、クランク軸30の内部に設けたクランク側中空部31から、クランク軸30とクランクケース9に設けられる軸受部9Bとの間、及びクランク軸30の偏芯部30cとコンロッド20の大端部201との間に気体を流出させ、空気軸受を形成する。また、ピストンピン40の内部に設けたピン側中空部43からピストンピン40とコンロッド20の小端部202との間に気体を流出させ、空気軸受を形成する。 (もっと読む)


【課題】 垂直軸上で直線駆動される可動部の重量負荷を補償するバランス構造の簡素化とコスト低減。
【解決手段】 枡形形状等の可動部50は開口部を下方に向け、同開口部に固定部40を挿入した状態で、固定部40と可動部50の間の隙間43を利用した空気軸受で上下方向に移動可能に支持される。可動部50の内部には加圧された空気を保持するエアバランス室41が形成される。圧力調整された加圧空気は外部から固定部40の内部の配管を経て吹き出し口から隙間43に供給された後、エアバランス室41へ流れ込む。この流れにより、エアバランス室41の加圧空気はシールされる。加圧空気の排気は、排気穴41aから配管42、61、流量調整装置60を経て外部に排気される。 (もっと読む)


【課題】軸方向の推力を得るロッドを静圧気体軸受構造を用いて支持してなるエアベアリングシリンダであって、静圧気体軸受構造を構成する軸受部材と軸受装着部との間のシールを確保しつつ、軸受部材の着脱を容易な構造とする。
【解決手段】マニホールドシリンダ10は軸方向の推力を得るロッド11を非接触で支持する静圧気体軸受構造を用いて構成されており、その静圧気体軸受構造を構成する軸受部材26に一対のOリング27a,27bが周方向に環状に装着される。Oリング27a,27bは、軸受部材26の軸方向において該軸受部材26に加圧エアを供給するための供給通路20を挟んだ各位置にそれぞれ配置されると共に、軸受部材26とロッド挿入孔15の大径孔部15aの内周面との間に介在されその相互間で押圧変形されることで、軸受部材26が該大径孔部15aの内周面に対して弾性保持される。 (もっと読む)


1 - 20 / 31