【課題】シャフトの損傷を防止し、かつコスト低減が可能なエアロールユニットの構造を提供する。
【解決手段】エアロールユニット１は、ロール本体２０に連結されたシャフト２１と、シャフト２１に装着されたカラー３と、カラー３を非接触で支持するエアベアリング４と、スラストプレート５を介してカラー３に取り付けられた回り止め板６と、を備えており、カラー３の内径ｒ２がシャフト２１の外径ｒ１より大きく設定されている。回り止め板６には、内周面６５と外周面６６とを径方向に繋ぐスリット６７が形成されるとともに、外周面６６からスリット６７を跨ぐように深座ぐり付き穴６８が形成され、この深座ぐり付きネジ穴６８にボルト８３を挿入して、ボルト８３を締めたり緩めたりすることで、回り止め板６のシャフト２１への取付および取外しが可能である。 （もっと読む）

【課題】装置の低廉化、エア消費量の削減を図り得るカムフォロアを提供すること。
【解決手段】カムフォロア１は、中空の転動体２と、転動体２の中空部に隙間３をもって挿通されている軸体４と、ラジアル方向に関して転動体２を静圧気体によって支持すべく転動体２と軸体４との間に介在されている静圧気体軸受手段７と、スラスト方向に関して転動体２を磁力によって支持する磁性軸受手段９及び１０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】装置の低廉化、エア消費量の削減を図り得るロール装置を提供すること。
【解決手段】ロール装置１は、中空のロール体２と、ロール体２の中空部に隙間３をもって挿通されている軸体４と、ラジアル方向に関してロール体２を静圧気体によって支持すべくロール体２の両端部５及び６に夫々配されていると共にロール体２と軸体４との間に夫々介在されている一対の静圧気体軸受７及び８と、スラスト方向に関してロール体２を磁力によって支持する磁性軸受９とを具備している。 （もっと読む）

【課題】超高速回転でも長寿命と安全性を確保することができるスキャナモーターを提供する。
【解決手段】回転可能な軸支用回転軸１４０、及び回転軸１４０を回転可能に支持するために、上部に流体動圧軸系１３１が備えられ、下部に含油焼結軸系１３２が備えられた中空の円筒状ベアリング１３０を含む。また含油焼結軸系１３２と回転軸１４０の間の接触面が曲面であり、流体動圧軸系１３１の長さは含油焼結軸系１３２の長さより長いスキャナモーター。 （もっと読む）

【課題】支持板の表面から噴出する気体によるワークの支持力を柔軟に調節することのできる非接触支持装置を提供する。
【解決手段】非接触支持装置は、エアを供給するエア通路と、エア通路から供給されるエアを透過させて表面から噴出させるフィルム５０と、フィルム５０の表面から噴出される気体を透過させて表面から噴出させる多孔質板６０とを備える。フィルム５０及び多孔質板６０は、リベット７１によって本体３０に固定されている。フィルム５０は内部に多数の空孔を有する多孔質フィルムであり、フィルム５０の通気抵抗は多孔質板６０の通気抵抗よりも大きく設定されている。 （もっと読む）

【課題】揺動自在とされた本体がその自重によって不用意に傾倒してワークを傷つけるおそれを大幅に低減すること。
【解決手段】支持体３０の球体部３５は本体２０の球面軸受け部２８ａに収容され、これにより本体２０は揺動自在となって支持体３０に支持されている。本体２０内には球体部３５と当接するＯリング２９と、そのＯリング２９によってシールされる閉空間Ｋ１とが設けられている。そして、その閉空間Ｋ１に加圧ポート４１及び内圧調節用通路４２を通じて加圧エアが供給されるようにした。支持体３０が固定された状態であれば、加圧エアの供給によって閉空間Ｋ１の圧力を高めるとその内圧の高まりによって本体２０が支持体３０に対して押し上げられる。これにより、Ａ部分での摩擦抵抗が高まって本体２０の自重による傾倒が抑制される。 （もっと読む）

【課題】 焼付きを生じ得る程度の被軸受部材と静圧気体軸受との接触を未然に防止することのできる静圧気体軸受装置及びこれに用いられる限界荷重検知装置を提供すること。
【解決手段】 静圧気体軸受装置１は、回転軸２の被軸受面３と協働して軸受隙間４を形成する軸受面５から被軸受面３に向かって噴出する高圧気体に基づく軸受隙間４における気体圧力により回転軸２を支える導電性の多孔質静圧気体軸受７と、回転軸２及び多孔質静圧気体軸受７に電気的に接続されると共に、軸受隙間４における回転軸２と多孔質静圧気体軸受７との電気的接触に基づいて回転軸２から多孔質静圧気体軸受７に加えられる負荷荷重が限界に至った旨を検知する限界荷重検知装置８と、回転軸２を回転駆動させる駆動手段９と、限界荷重検知装置８による検知に基づいて駆動手段９による回転軸２の回転駆動を制御する駆動制御手段１０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】多孔質焼結金属層とステンレス鋼からなる裏金との間に剥離等を生じることなく強固な接合一体化を行わしめることができると共に多孔質焼結金属層の気孔率を高めて当該多孔質焼結金属層を流通する圧縮気体による浮上量を高めることができる多孔質静圧気体軸受用の軸受素材及びこれを用いた多孔質静圧気体軸受を提供すること。
【解決手段】ステンレス鋼からなる裏金２と、この裏金２の一方の面に接合層３を介して一体にされた多孔質焼結金属層４とを具備しており、多孔質焼結金属層４の粒界に無機物質粒子が分散含有されており、無機物質粒子を含有する多孔質焼結金属層４は、４重量％以上１０重量％以下の錫と、１０重量％以上４０重量％以下のニッケルと、０．１重量％以上０．５重量％未満の燐と、残部が銅からなる軸受素材。 （もっと読む）

【課題】回転軸が高速回転をした場合においても安定して動作する気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】気体軸受スピンドル１は、回転軸１０と、軸受スリーブ３０とを備える。軸受スリーブ３０は、回転軸１０の側面の少なくとも一部に対向するように配置される。軸受スリーブ３０は、カーボンと、カーボンと線膨張係数の異なる材料との混合体を含む。 （もっと読む）

【課題】密度が銅又は鋼の約１／３であり、粒子径は約０．１ｍｍ程度であるアルミニウム粉又はアルミニウムを主成分とする合金粉末を出発原料とし、通気性が高く、接着剤などの使用によりバックメタルへの接合が可能である軽量エアベアリング用多孔質焼結体を安価に製造できる方法を提供する。
【解決手段】平均直径が０．０５〜０．７ｍｍであり、９９．５％以上の純度を持つアルミニウム粉末又はシリコンを１〜１５質量％含有するアルミニウムシリコン合金粉末に、同径の水素化チタン粉末をアルミニウム１に対して０．０５〜０．２（質量比）となるように添加及び混合し、この混合粉末を黒鉛型に充填して加圧力２．５〜５ＭＰａで加圧成形し、さらにこれを真空中、焼結温度５００〜６５０°Ｃで焼結することを特徴とするアルミニウム又はアルミニウムシリコン合金を主成分とするエアベアリング２用多孔質焼結体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】パーティクルが装置周辺に飛散することを防止することができる静圧軸受を提供する。
【解決手段】滑走面２ａ上を浮上するために噴出面１１ａから滑走面２ａに対して空気Ａ１を噴出し、ステージ２の表面に形成されている微細な孔部に入り込んだパーティクルＰ又はステージ表面上に付着したパーティクルＰに空気Ａ１が吹き付けられた場合であっても、吹き付けられた空気Ａ１の一部である空気Ａ２を、噴出部１１の外周側に配置された吸引面１２ａで、パーティクルPごと吸引して回収する。また、吸引面１２ａを、噴出面１１ａの下端より後退して配置して、パーティクルＰの吸引と空気の噴出とをバランスさせ易く、これによって、静圧軸受１０を滑走面２ａ上で浮上させ非接触で滑走させながら、ステージ装置１周辺へ飛散するパーティクルＰを確実に捕捉する。 （もっと読む）

【解決手段】 基板処理方法および装置が開示される。該装置は、表面にガス流を供給するように構成される、一つあるいはそれ以上のガス流開口を備えた表面を有するチャックを含む。前記表面は、表面に亘って分散された一つあるいはそれ以上の真空チャンネルを含む。真空チャンネルは、それを通って真空を引くことを可能にする。本方法では、基板は、基板の裏面でチャック表面の近傍に、チャック表面に充分に接近して支持されるので、ガス流と真空が基板の裏面とチャック表面とを隔置された関係に維持することができる。ガス流は、ガス流開口を通して供給され、真空は、一つあるいはそれ以上の真空チャンネルを通して引かれる。基板は、基板表面に実質的に垂直な方向に沿って移動される。 （もっと読む）

【課題】機械加工を施した後も良好に多孔質静圧気体軸受として使用することができる通気性を保持し得る軸受素材を提供すること。
【解決手段】軸受素材は、裏金１と、裏金１の面に焼成された多孔質焼結金属層２とを具備しており、多孔質焼結金属層２の粒界には無機物質粒子が含有されている。多孔質焼結金属層は、錫、ニッケル、燐及び銅を含んでおり、無機物質粒子は、黒鉛、窒化ホウ素、フッカ黒鉛、フッカカルシウム、酸化アルミニウム、酸化ケイ素及び炭化ケイ素のうちの少なくとも一つからなる。 （もっと読む）

【課題】軸受剛性及び負荷容量が大きく、自励振動の発生を効果的に抑制することのできる多孔質静圧気体軸受を提供すること。
【解決手段】多孔質静圧気体軸受２０は、円盤状の裏金本体部２１と、裏金本体部２１の一方の円形の面２２の外周縁に立設された円形の環状立壁部２３と、環状立壁部２３と同心状であって環状立壁部２３に囲まれて裏金本体部２１の一方の面２２に立設された円形の環状突出部２４とを一体的に備えたステンレス鋼からなる裏金２５を具備しており、環状立壁部２３の環状内壁面２６に囲まれた円形の凹部２７は、環状立壁部２３の環状内壁面２６及び環状突出部２４の環状外壁面２８に囲まれた円環状の外側凹部２９と環状突出部２４の環状内壁面３０に囲まれた円形の内側凹部３１とに二分されて当該外側凹部２９と内側凹部３１とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】精密な押圧制御を行うと共に、微少な位置を高精度に検出することができるエアベアリングユニットを提供すること。
【解決手段】ロッド４に対して加圧エアを噴出することにより、シリンダブロック２に非接触状態でロッド４を支える。そして、真空吸着用治具６とシリンダブロック２の間に測定用エアを出力すると共に、真空吸着用治具６とシリンダブロック２の間に出力される測定用エアの流量を計測することにより、真空吸着用治具６とシリンダブロック２の間の距離を計測する。 （もっと読む）

【課題】比較的高い剛性と優れた高速安定性とを得ることができる浮動ブッシュの特長を利用でき、しかも、より高い１次共振速度とすることができて、安定限界速度を更に向上させることができると共に簡単な構造とし得る静圧気体軸受機構並びにこれを用いた軸回転装置及びスピンドルモータを提供すること。
【解決手段】静圧気体軸受機構２は、中空体１１と、中空体１１に対して隙間１３をもって当該中空体１１の内部１４に配されている浮動ブッシュ１５と、中空体１１及び浮動ブッシュ１５に対して隙間１６をもって中空体１１の内部１４に配されていると共に中空体１１に対して回転自在であるスピンドル１７と、中空体１１の外部１８から中空体１１の内部１４への高圧空気の給気のための給気通路１９と、中空体１１の内部１４から中空体１１の外部１８への高圧空気の排気のための排気通路２０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】剛性や負荷容量を大きく且つニューマチックハンマの不安定振動を発生しにくくすることができ、剛性と安定性との両立を可能とする。
【解決手段】多孔質部材１の軸受面中央部の座ぐり５と貫通孔６とを設けて、そこにねじ部材７を挿通し、当該ねじ部材７のねじ部を本体２のねじ孔８に螺合し締め付けて多孔質部材１を本体２に取り付けると共に、本体２と多孔質部材１との間には円環状の給気キャビティ３を設けて、給気孔４から給気キャビティ３に給気された気体が多孔質部材１の軸受面から噴出するように構成した静圧軸受パッドにおいて、多孔質部材１の軸受面外径ｄ_０と座ぐり径ｄ_１との比ｄ_１／ｄ_０を０．２以上０．６以下とすることで、動剛性と減衰係数を高くすると共に負荷容量を大きくする。 （もっと読む）

【課題】回転軸の振れ回り振動を効率的に減衰させることが可能で、かつ製造が容易な気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】気体軸受スピンドル１は、回転軸１０と、回転軸１０の外周面１１Ａの一部を取り囲む円筒状スリーブ貫通穴３３を有するスリーブ３０と、スリーブ３０を取り囲み、ゴム製のＯリング４１、４２を介してスリーブ３０を保持するハウジング２０とを備えている。スリーブ３０は、スリーブ貫通穴３３を有し、外周面の一部がスリーブ３０の外周面を成し、スリーブ貫通穴３３の内周面が回転軸１０の外周面に対向するように構成された非金属焼結体からなる軸受部３１と、スリーブ貫通穴３３の延びる方向における軸受部３１の両側の端部のそれぞれに嵌め込まれ、Ｏリング４１、４２を介してスリーブ３０をハウジング２０に対して保持する金属製の保持リング３２とを含んでいる。 （もっと読む）

【要約書】
【課題】 密度が銅又は鋼の約１／３であり、粒子径は約０．１ｍｍ程度であるアルミニウム粉又はアルミニウムを主成分とする合金粉末を出発原料とし、通気性が高く、焼結と同時にバックメタルへの接合が可能である軽量エアベアリングを安価に製造できる方法を得る。
【解決手段】 平均直径０．２ｍｍ未満の原料アルミニウム粉末又はアルミニウム合金粉末を、アルゴンガス雰囲気中でメカニカルミリングを行って平均直径０．３〜０．７ｍｍの焼結用アルミニウム粉末又はアルミニウム合金粉末とした後、この粉末をアルミニウム合金製バックメタルの上に充填し、さらにこれを真空中で、焼結温度４５０〜４７５°Ｃ、加圧力２．４〜５ＭＰａで加圧焼結するとともに、バックメタルに接合することを特徴とするエアベアリングの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 可動台の上下方向の自励振動を効果的に抑えることができると共に可動台の走行方向の振動を低減できて短時間で可動台の位置決め停止を行い得、しかも、静圧気体軸受の利点を生かし得るエアスライド装置を提供すること。
【解決手段】 エアスライド装置１は、可動台２と、可動台２の走行を案内する案内基台３と、案内基台３と可動台２との間に空気層４を形成して案内基台３に対して可動台２を空気層４を介して可動に支持する静圧気体軸受５と、案内基台３により案内されて走行する可動台２を制動する制動手段６とを具備しており、制動手段６は、可動台２に設けられた磁界発生手段３１と、磁界発生手段３１により発生された磁界により渦電流を生じるように案内基台３に設けられた導体手段３２とを具備している。 （もっと読む）