【課題】測定対象の気体をちりやほこりなどの不要物が適切に除去された状態でセンサに導くとともに、高流速域でもセンサ出力に脈動の生じない誘導路を提供する。
【解決手段】気体の流速を高めるための狭通路部３１〜３５と、気体中の不要物を堆積させるための中空直方体を成した堆積室２１〜２５とを備える。狭通路部３１〜３５の出口を堆積室２１〜２５の一側壁面の左右いずれかに片寄せて開口させ、堆積室２１〜２５からの気体の出口を、狭通路部３１〜３５の出口が開口している一側壁面と垂直な側壁面の中で狭通路部３１〜３５の出口から遠い方の側壁面に開口させるとともに、その開口位置を先の一側壁面と対面する側壁面から十分離した位置に設定する。これにより、堆積室２１〜２５に流入してから出るまでに気体が流れの向きを９０度以上変えて堆積室２１〜２５内を広範囲に通過するので、不要物の堆積場所が広がり、堆積室２１〜２５が有効利用される。 （もっと読む）