【課題】静電チャック装置の載置面に単に載置するだけで、製品となる半導体ウエハそのものを使用することなく、静電チャック装置の載置面の面内温度分布や昇温特性や降温時における冷却特性を容易に最適化することが可能な温度測定用板状体及びそれを備えた温度測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の温度測定用ウエハ（温度測定用板状体）１は、ウエハ２の表面２ａ全面に絶縁性接着剤３が貼着され、この絶縁性接着剤３上にヒーターエレメント４が設けられ、この絶縁性接着剤３の表面３ａ上のヒーターエレメント４を除く領域にウエハ２の表面２ａの温度を測定するための温度測定領域５が設けられ、これらヒーターエレメント４及び温度測定領域５は絶縁膜６により被覆されている。 （もっと読む）

【課題】 加熱時間を短縮することができ、耐久性も向上したセラミックヒータを提供する。
【解決手段】 セラミックヒータ１は、セラミック基体２と、セラミック基体２内に埋設され、通電によって発熱する発熱抵抗体３とからなり、セラミック基体２は、外表面が、表面粗さが大きい表面粗領域４ａと、表面粗さが表面粗領域４ａよりも小さい表面平滑領域４ｂとを含む。これにより、セラミックヒータ１と被加熱物である流体との接触領域において、流体の流れを乱すことができ、セラミック基体２の外表面おける熱交換効率が向上して加熱時間を短縮することができる。さらに、流体の流れを乱すことにより、核沸騰、膜沸騰などによる局所的な温度上昇を抑制し、セラミック基体２の割れなどを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 絶縁基板上に、発熱体層、導電体層、発熱体及び導電体を保護するためのガラス保護層が厚膜印刷・焼成により多層構成で形成されるヒータがある。そのヒータにおいて、ガラス保護層を焼成する際に、発熱体層に熱応力が生じて、抵抗分布が、印刷時に設定した分布と変わってしまい、仕様どおりの発熱分布にならなくなるという課題がある。
【解決手段】 絶縁基板上の発熱体層を覆うように前記絶縁基板上に形成された第―のガラス保護層と、前記第一のガラス保護層に積層して形成された第二のガラス保護層と、を有するヒータにおいて、第一のガラス保護層の軟化点を、前記第二のガラス保護層の軟化点、及び、前記発熱体層の軟化点よりも低くする。 （もっと読む）

【課題】
均熱性に優れ、かつ、小型化に対応可能なセラミックヒータを提供する。
【解決手段】
セラミック基材と、セラミック基材２上に形成された抵抗発熱体３と、その上に抵抗発熱体３を覆うように形成されたセラミック被覆層１４からなるセラミックヒータにおいて、セラミック被覆層１４には、同一材料からなる高密度層１４ａと高密度層１４ａに対してセラミック基材２から遠い側に位置する低密度層１４ｂとが少なくとも一組設けられている。 （もっと読む）

【課題】高温にまで加熱することが可能で、かつ、電圧印加時の加熱や冷却の応答性に優れた面状発熱体を提供する。
【解決手段】面状発熱体１１は、厚みが２００μｍ以下のガラス板１７と、ガラス板１７の上に形成されている透明導電膜１２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】製造が容易であり、５００〜１０００℃の温度範囲において、安定した電気抵抗値と、優れた耐久性を発揮する面状発熱体を提供する。
【解決手段】面状発熱体１０は、窒化アルミニウム製の基材１１の表面１１ａに電熱被膜１２がパターン模様に融着され、電熱被膜１２が、珪素及び二珪化コバルトを含有する複数の発熱層で一体的に形成されている。電熱被膜１２の両端部１２ａ，１２ｂは、四角板状の基材１１の隣り合う角隅部に位置し、それぞれの端部１２ａ，１２ｂに給電用のターミナル１３ａ，１３ｂが導通状態で固着されている。基材１１は窒化アルミニウムで形成され、電熱被膜１２は、基材１１の表面１１ａに珪素及び二珪化コバルトを含有する基礎発熱層を融着し、この基礎発熱層の表面に、珪素及び二珪化コバルトを含有する３層の発熱層を順次融着することによって形成されている。 （もっと読む）

【課題】発熱効率、視認性、熱線反射能、耐久性、コストパフォーマンスに優れた透明面状発熱積層体を提供する。
【解決手段】透明基材上に、金属と非金属バインダーを含む透明面状発熱層を積層した透明面状発熱積層体。該透明面状発熱層の表面抵抗値は０．１Ω／□以上、１００Ω／□以下であることが好ましく、該透明面状発熱層は多孔的金属膜であることが好ましい。高い熱線反射能を有すると共に、発熱を伴う通電による耐久性が高く、コストパフォーマンスに優れた透明面状発熱部材が提供される。透明面状発熱層の形成を湿式製膜法により行うことで、大型曲面を有する透明基材に対しても、面状発熱能及び熱線反射能を付与することができる。 （もっと読む）

【課題】セラミック基板厚を薄くした場合でも、セラミック基板の反りを抑制する。
【解決手段】長尺平板状の熱伝導率の高いＳｉ_３Ｎ_４製のセラミック基板１１の長手方向に平行してＡｇとＰｄ合金を主成分とする発熱抵抗体１２，１３を形成する。発熱抵抗体１２，１３の一端には通電用の電極１４，１５を、他端には接続導体１６を接続し、発熱抵抗体１２，１３を直列的に接続する。発熱抵抗体１２，１３それに接続導体１６上を、熱膨張の異なる少なくとも２種のフィラーが添加されているＳｉＯ_２-ＺｎＯ系ガラスの第１のオーバーコート層１７で覆い、この第１のオーバーコート層１７上をＳｉＯ_２−Ｂ_２Ｏ_３系の低熱膨張ガラスの第２のオーバーコート層１８を積層する。これにより、セラミック基板１１の厚みを薄くした場合でも反りを抑制でき、ヒータの立ち上がり時の昇温速度を早くでき、セラミックヒータ１００のオン／オフ制御時間が短縮できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は発熱フィルム及びそれを含む発熱製品を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、基材シート；前記基材シート上に形成され、線状にパターン化されている一つ以上の発熱部を持つ発熱層；及び前記発熱層上に形成され、前記線状の発熱部に垂直な方向の線状にパターン化され、前記基材シートの両末端にそれぞれ形成された第１及び第２主電極と前記第１及び第２主電極から前記発熱部に平行な方向に伸びた一つ以上の補助電極を持つ電極層を含む発熱フィルムを提供する。他の手段として、本発明による発熱フィルム；及び前記発熱フィルムの電極層に電圧を印加することができる電圧印加装置を含む発熱製品を提供する。 （もっと読む）

細いワイヤー等の電気加熱エレメントをバスバーに接続した加熱可能な窓ガラスを開示する。バスバーの抵抗は、装置の供給電圧で、バスバーを配置した窓ガラス部分の加熱をバスバー自身が提供できるように選択される。
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【課題】限られたスペースにおいて発熱体の抵抗調整が可能であるとともに、各種サイズに対応可能な発熱体ユニット及び加熱装置を提供する。
【解決手段】本発明は、フィルムシート状の発熱体素材（２Ａ）に対して、面方向に複数の切り込み（Ｃ１，Ｃ２）を設ける切り込み処理と、厚み方向に加圧する加圧処理と、拡張処理とを実行して、発熱体の抵抗調整を行うとともに、発熱体に可撓性、柔軟性、及び弾力性を持たせて発熱体を伸長することにより、任意の配熱構成と各種仕様に対応可能な発熱体ユニット及び加熱装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】小型で狭い室内にも設置でき、設備費や運転コストも安く、携帯も容易で、体の必要な部位を効率よく温めることができる焼結セラミックス及び健康ヒータを提供する。
【解決手段】健康ヒータ１は、セラミックス粉末を布生地に担持させてなる布生地層２と面状発熱体４間にＳｉ：９５％〜９６％、Ｎｉ：３．０％〜３．２％、Ｆｅ及びＣｒを総量で１．０％〜１．１％（質量％、以下同じ）以上を含有し、残部不可避的不純物からなる焼結セラミックス３を敷き詰めてなり、セラミックス３を加熱して微量放射線若しくは遠赤外線を放射する。 （もっと読む）

【課題】使用時の快適性を損なうことなく、熱伝達性能の優れた高分子発熱体を提供することを目的とする。
【解決手段】ベース側電気絶縁性基材２とカバー側電気絶縁性基材５とで挟持された一対の電極３と、前記一対の電極間に配設されたＰＴＣ特性を有する高分子抵抗体４とを具備し、前記ベース側電気絶縁性基材２及び前記カバー側電気絶縁性基材５の少なくとも一方を高通気性素材で構成した。したがって、伝熱ロスを小さくすることが可能となり、省エネ性に優れ環境にも配慮した高分子発熱体を提供できる。 （もっと読む）

【課題】 柔軟性を有し、アウトガスの発生が少ないマイカヒーターを得る。
【解決手段】 マイカヒーターの電気発熱体が設けられる絶縁板として、マイカ原料を抄造した原紙板に、フッ素化ポリエーテル骨格とその末端を修飾し且つケイ素を含む架橋反応基とを有する高分子材料を架橋反応させてなる液状のフッ素エラストマーからなる接着剤を含浸させた後、加熱圧縮して得られる集成マイカ板を用いる。 （もっと読む）

【課題】 ウエハの大口径化及び配線の微細化に伴って要望される高い均熱性及び信頼性を有するウエハ保持体を提供する。
【解決手段】 ウエハを載置して加熱する加熱体１１と、この加熱体１１をチャンバー内で支持する支持部材１５とからなる半導体製造装置用ウエハ保持体であって、加熱体１１は、そのウエハ載置面を複数の領域に分割して得られる各領域毎に、加熱体１１内に埋設されている発熱体１２ａ、１２ｂと、発熱体１２ａ、１２ｂに接続されている電極部１３ａ、１３ｂと、発熱体部１３ａ、１３ｂが埋設されている領域の温度を測定する温度測定素子部１４ａ、１４ｂとを有しており、支持部材１５は、電極部１３ａ、１３ｂと温度測定素子１４ａ、１４ｂとを全て内包し、且つウエハ載置面上に載置されるウエハを着脱するためのリフトピンを内包していない。 （もっと読む）

【課題】発熱抵抗体とコネクタとの距離を離さない場合においてもコネクタとの接触不良の発生を抑えるようにする。
【解決手段】長尺平板状のセラミック基板１１の長手方向に平行してＡｇとＰｄ合金を主成分とする発熱抵抗体１２，１３を形成する。発熱抵抗体１２の一端には接続パターン１６を介して通電用の電極１４を、発熱抵抗体１３の一端には接続パターン１７を介して通電用の電極１５を他端には接続パターン１８を接続し、発熱抵抗体１２，１３を直列的に接続する。発熱抵抗体１２，１３上にはオーバーコート層１９を形成する。電極１４，１５は接続パターン１６，１７より厚くし、コネクタが嵌合される側には摺動部２０，２１が形成される。 （もっと読む）

【課題】アルミニウム製の支持板を使用したものであっても、高温時の剛性を確保し、高温の下で反りや曲がりが無く、しかもアルミニウム製の支持板としての諸特性（耐食性の優れた絶縁皮膜いわゆるアルマイト処理）を満足することが出来る基板加熱プレートヒータを得る。
【解決手段】基板加熱プレートヒータは、金属製の板体からなる支持板１と、この支持板１の中に埋設されたヒータ線３とを有する。支持板１にヒータ線３に沿って同支持板１より剛性の高い補強部材４が埋め込まれ、この補強部材４が支持板１と同じ材質の蓋体７により覆われている。 （もっと読む）

【課題】発熱抵抗体が基板から剥離しにくいヒータを提供すること。
【解決手段】長矩形状の基板１と、基板１上に設けられ、基板１の長手方向に沿って延びる発熱抵抗体２と、発熱抵抗体２を覆っている保護膜３と、を備えているヒータＡであって、保護膜３は、基板１の長手方向に沿って延び、かつ、発熱抵抗体２に対して短手方向ｙに並列されているとともに、基板１と接している層３１と、発熱抵抗体２および層３１を覆う層３２と、を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】高い加熱効率による被加熱物の均一な加熱が可能なセラミックヒーターおよびヒーター装置を提供する。
【解決手段】セラミック材料を平板状に成形してなり、熱盤２８に加熱されて赤外線ＩＲを放射するセラミックヒーター４０であって、一方側の主面（接合面４６）が平坦に形成されるとともに、他方側の主面（放射面４８）の一部または全部に凹凸パターン（凹部４４）が形成されている。かかる構成により、放射面４８が平坦である場合に比して放射面積が拡大し、凹部４４からそれぞれ放射される赤外線ＩＲは、互いにオーバーラップして被加熱物に照射されることから、被加熱物の均一な加熱が可能になる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、熱効率、信頼性及び保守性に優れた面状発熱体を提供する。
【解決手段】発熱体１と、コーティング層３を介して該発熱体１を挟み込む加熱板２とを有する面状発熱体１０において、前記コーティング層３は、前記加熱板の厚み方向のうち前記発熱体に対向する該加熱板のそれぞれの面に、窒化珪素又はアルミナを含むセラミックス材料で形成され、かつ、該コーティング層３に、線状又は箔状の該発熱体１を収容するための溝部４が形成されることを特徴とする。 （もっと読む）