【課題】静電チャック装置の載置面に単に載置するだけで、製品となる半導体ウエハそのものを使用することなく、静電チャック装置の載置面の面内温度分布や昇温特性や降温時における冷却特性を容易に最適化することが可能な温度測定用板状体及びそれを備えた温度測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の温度測定用ウエハ（温度測定用板状体）１は、ウエハ２の表面２ａ全面に絶縁性接着剤３が貼着され、この絶縁性接着剤３上にヒーターエレメント４が設けられ、この絶縁性接着剤３の表面３ａ上のヒーターエレメント４を除く領域にウエハ２の表面２ａの温度を測定するための温度測定領域５が設けられ、これらヒーターエレメント４及び温度測定領域５は絶縁膜６により被覆されている。 （もっと読む）

【課題】線条層の見栄え及び導電性の悪化を防止する。
【解決手段】透光性を有し窓部１３を構成する板状パネル部７と、板状パネル部７の車内側の外周縁部に一体に形成された隠蔽層９とからなる板状パネル本体１１の車内側の面に、導電性材料の粉末を主成分としかつバインダーを含むペーストを直接塗布することにより、導電性の線条層１７ａを板状パネル部７及び隠蔽層９の境界１９と交差するように形成するとともに、一対の突起部２３を、これら突起部２３の互いに対向する内側面２３ａが境界１９で線条層１７ａを両側から挟むように突設する。 （もっと読む）

【課題】光源を白熱電球からＬＥＤ光源に変更した信号灯に、新たに氷雪付着の防止対策を行なうに際し、容易に設置することができ、確実に信号灯の視認性を確保することができる面状ヒータ及びそれを用いた氷雪付着防止方法を提供する。
【解決手段】所定のパターンに形成された金属線抵抗体が、シート状の可撓性透明基材の表面または内部に設けられた構成を有する面状ヒータとする。また、光源を白熱電球からＬＥＤ光源に変更した信号灯の窓の表面に、前記の面状ヒータを貼り付けて、該信号灯の窓の表面に氷または雪が付着する際に該金属線抵抗体に通電し、白熱電球からＬＥＤ光源への変更により生じた電球の発熱量不足を補足して氷または雪の付着を防止する。 （もっと読む）

【課題】発熱部の形状が複雑化しても、電極の形状を複雑化させることなく面状に一様な加熱を行えるようにする。
【解決手段】面状発熱体１は、向かい合うように配設された一対の電極２０と、両電極２０間に面状に配設されて電気的に接続され、両電極２０間に流される電流に応じてジュール熱を発生させる発熱部と、を備える。両電極２０の電極間距離は部分的に異なる。発熱部１０は、その電気抵抗を部分的に大きくする切欠部１１（抵抗増大構造）を備え、切欠部１１が各電極２０の配設に対応して不均一に配設されることにより、両電極２０間に流される電流による電力消費量の分布が一様とされる。 （もっと読む）

【課題】発熱ユニットの発熱体の熱が絶縁層を介して放熱体へ伝導する際の伝熱ロスを低減し、発熱体から放熱体への伝熱性を向上する。
【解決手段】加熱装置４５は、通電により発熱する発熱体５０の両面に絶縁フィルム５２が設けられた面状の発熱ユニット４６と、発熱ユニット４６の両面に設けられた放熱体４８とを備える。発熱ユニット４６の発熱体５０と放熱体４８との間に形成される絶縁フィルム５２が、発熱体５０を絶縁保護する機能と、発熱体５０と放熱体４８とを接着する機能との両機能を有する。 （もっと読む）

【課題】基板を格段に薄くして温度変更を高速化した場合でも、確実に接地しつつ、基板の撓みを生じ難くでき、かつ熱逃げの影響を小さくできる加熱装置を提供すること。
【解決手段】加熱装置は、導電性を有するベースプレート２と、ベースプレート２の上方に位置してウェハが載置されるフェイスプレート３と、ベースプレート２およびフェイスプレート３の間に配置されて互いを導通させるアース部材８とを備え、フェイスプレート３は、表面がアース部材８との導通部分を除いて電気的に絶縁されたアルミ基板と、アルミ基板に設けられてウェハを加熱するフィルムヒータとを備え、アルミ基板のアース部材８との導通部分は、当該アルミ基板の中央に設けられているとともに、アース部材８の長手方向の途中には、複数の折曲部８Ａ〜８Ｄが設けられている。 （もっと読む）

【課題】電気絶縁性に優れて薄い面状発熱体を提供する。
【解決手段】面状発熱体１０は、抵抗体１２に電気接続された電極１４の一部を露出させた状態で、電気絶縁フィルム１６ａ，１６ｂによって抵抗体１２が被覆された抵抗シートと、電極１４の露出部分に電気接続された電線２０と、電極１４と電線２０の電気接続部分２２を挟むように配置された一対の電気絶縁シート２６，２８と、電気接続部分２２および一対の電気絶縁シート２６，２８を封入する樹脂パッケージ２４とを有する。電気絶縁シート２８または抵抗シートの少なくとも一方に形成された切り欠き部または切り込み部を介して電気絶縁シート２８が抵抗シートに固定された状態で、電気接続部分２２および一対の電気絶縁シート２６，２８が樹脂パッケージ２４に封入されている。 （もっと読む）

【課題】高分子基材上の片側のみに成膜された導電膜のフィルムを使って、ヒーター面の温度不均一を防止する。
【解決手段】ｍを２以上の整数とし、導電膜フィルムヒーター上で温度制御すべき領域を２ｍ領域に分け、それぞれの領域に温度センサーを２ｍ個配置する。各領域の通電状態とオープン状態にした設定パターンを作り、その設定パターンを時間的に変化させることにより、２ｍ領域の局所温度の昇温・降温・保持を可能にする。すなわち、２ｍ個の領域の局所温度の制御を可能にする。 （もっと読む）

【課題】耐熱性に優れ、また、端子部の強度にも優れたフレキシブルヒーター及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ベース部材１０と、ベース部材１０の熱融着性ポリイミド表面層に形成された発熱体回路１２と、発熱体回路１２を覆う発熱体回路カバー部材１４と、発熱体回路１２の一対の接続端部１２ａ、１２ａに接続された一対のリード線１７、１７とを備えたフレキシブルヒーター２であって、発熱体回路カバー部材１４は、接続端部１２ａ、１２ａ及びその近傍を覆わないように開放部１４ａ、１４ａを有し、接続端部１２ａ、１２ａ及びその近傍、並びにリード線１７、１７のベース部材１０上に位置する部位は、耐熱性接着剤２０を介して、発熱回路カバー部材１４と別体に構成され、少なくとも一方の面に熱融着性ポリイミド表面層を有する多層ポリイミドフィルムからなる端部カバー部材２２によって覆われていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】リード線の断線、絶縁被覆破れによる感電、デッドショートの危険性がなく、安心して施工できる電気床暖房パネルが作れる面状発熱体を提供することを目的とする。
【解決手段】複数の電極３ａ〜ｅと、電極３ａ〜ｅにより給電される抵抗体２と、電極３ａ〜ｅ及び抵抗体２を上下から覆うＰＥＴフィルム４からなる電気絶縁性基材と、電極３ａ〜ｅと接続部７ａにて電気的に接続してなる給電用引き回しリード線６ａ、６ｂを備え、接続部７ａを抵抗体２に対して片側に集約するとともに、給電用引き回しリード線６ａ、６ｂを交差することなく接続部７ａに対して極性別に両側に配置してなる構成としている。 （もっと読む）

【課題】使用者が誤って水やジュース等の液体をこぼしても、中に液体が浸透せず、表面の液体汚れを拭き取れる面状採暖具を提供することを目的とする。
【解決手段】不織布２０２の上側表面に遮水樹脂２０１をラミネートした遮水表布２００と、金属シート４１１の上下両面に接着剤４１２をコーティングした均熱シート４１０と、その下面にヒータ線４２０が配設された面状のヒータユニット４００と、その下面側に設けられた断熱シート５００と、その下面側に設けられた裏面材７００を備え、均熱シート４１０は遮水表布２００の側から断熱シート５００の方向に開けられた複数の空気抜き孔４３０が設けられたものである。
これにより、使用者が誤って水やジュース等をこぼしても、中に液体が浸透せず、表面の液体汚れを拭き取ることができ、かつ、採暖効率の優れた面状採暖具を提供できる。 （もっと読む）

【課題】発泡押圧成形金型を使用しないで面状採暖具の生産を可能とし、しかもクッション性および耐久強度に優れた面状採暖具を提供することを目的とする。
【解決手段】表面材２００と、金属シート４１１の上下両面に樹脂を含む接着剤４１２をコーティングした均熱シート４１０の下面にヒータ線４２０が配設された面状のヒータユニット４００の下面側に設けられた断熱シート５００の下面側に設けられた裏面材６００を備え、断熱シート５００は発泡シート５０１の上下両面に不織布５０２，５０３が接着されたものである。
これにより、発泡押圧成形金型を使用しないで面状採暖具の生産を可能とし、しかもクッション性および耐久強度に優れた面状採暖具を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、フレキシブル性と伸縮性を保持しつつ、導電性材料からなる電極部および抵抗体材料からなる発熱部が基材から剥離することなく、電極部の異常発熱がなく、かつ発熱部が均一な発熱を確保できる面状発熱体を提供することを目的とする。
【解決手段】フレキシブル性と伸縮性を有する基材２と、基材２の表面に導電性材料５からなる一対の電極部３ａ、３ｂと、一対の電極部３ａ、３ｂと電気的に接続された自己温度制御機能を有する抵抗体材料６からなる発熱部４とを備え、発熱部４は抵抗体材料６を基材２に塗布し加圧して厚み方向において基材２に一部埋設した構成としている。 （もっと読む）

【課題】高温にまで加熱することが可能で、かつ、電圧印加時の加熱や冷却の応答性に優れた面状発熱体を提供する。
【解決手段】面状発熱体１１は、厚みが２００μｍ以下のガラス板１７と、ガラス板１７の上に形成されている透明導電膜１２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】効率的に最適な温度に暖めながらも省電力を達成するシートヒータ及びシートヒータ付き座席を提供する。
【解決手段】シートヒータ４は、下地シート５と、下地シート５上に配置された、長辺が９ｃｍ以下かつ短辺が５ｃｍ以下の長方形からなる複数の面状発熱体６と、各々の面状発熱体６に接続された２つの面状電極７とを有する。各々の面状電極７が、各々の面状発熱体６上に、実質的に面状発熱体６の２つの短辺の全体に沿って配置されている。 （もっと読む）

【課題】発熱特性のばらつきが小さい定着用ヒータの製造方法、定着用ヒータ、定着装置および画像形成装置を提供する。
【解決手段】セラミック粒子３２および有機バインダ３３を含む固着用セラミックシート３１を基板上２１に設置し、抵抗発熱体を前記固着用セラミックシート３１の上に設置し、前記固着用セラミックシートを焼成して、前記有機バインダを熱分解し、それによって、前記抵抗発熱体を前記基板上に固着させる固着用セラミック層を形成することを特徴とする定着用ヒータの製造方法。 （もっと読む）

【課題】安価で、絶縁基板をプリンティングした後にも均一で、完成後に熱伝導に問題点がない面像発熱体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】絶縁基板２に積層されたアルミニウムホイル３を所定のパターンでエッチングし、カーボンペーストをプリンティングした後、電流入力端子５を並列に連結する面状発熱体１の製造方法において、該カーボンペーストが、低抵抗カーボンペーストと高抵抗カーボンペーストとの混合物であることを特徴とする面状発熱体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】抵抗体とこれを覆う絶縁被覆層とをスクリーン印刷によって形成した場合において、抵抗体の抵抗値が上昇する問題を解消した面状発熱体を提供する。
【解決手段】導電性粒子を含んだインクを用いて、スクリーン印刷によって基材１上に形成された抵抗体３と、耐熱性の樹脂を含んだインクを用いて、スクリーン印刷によって抵抗体を覆うように形成された絶縁被覆層４とを有した面状発熱体であって、前記抵抗体は、少なくとも、絶縁被覆層と接し、かつ、厚み方向の表層部が、カーボン粒子を含んだインクによって形成されていることを特徴とする面状発熱体である。 （もっと読む）

【課題】液晶ディスプレィを持つ機器、恒温下で化学反応を観察する機器等の温度制御のために使用されるヒーター部品として、良好な透明性と広い観察面積および構造的なフレキシビリティが維持され、温度分布の均一性が高くかつコストの安い透明導電膜フィルムヒーターを提供する。
【解決手段】透明導電膜上に設けられた金属ペーストを用いた印刷手段で製造された一対の平行な電極において、その一対の電極の片方について絶縁体を介して上下二層とし、電力が供給される電源接続端子から最も遠い端部付近に上下二層電極の電気的な接続点を設けた構造とする。 （もっと読む）

【課題】回折像の広がり、断線、配線視認性の問題を解消することができる導電性フイルムを提供する。
【解決手段】複数の導電部１４と複数の開口部１６とを有する導電性フイルム１０において、導電部１４は、第１方向に沿って形成された複数の波線路２０が、第１方向と直交する第２方向に配列されてなる主線路パターン２２と、隣接する波線路２０間を電気的に接続する複数の副線路２４とを有し、波線路２０と副線路２４とで区画された部分が開口部１６を構成し、主線路パターン２２は、各波線路を構成する波線の少なくとも周期が不規則である。 （もっと読む）