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Fターム[3K034BB01]の内容

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【課題】静電チャック装置の載置面に単に載置するだけで、製品となる半導体ウエハそのものを使用することなく、静電チャック装置の載置面の面内温度分布や昇温特性や降温時における冷却特性を容易に最適化することが可能な温度測定用板状体及びそれを備えた温度測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の温度測定用ウエハ(温度測定用板状体)1は、ウエハ2の表面2a全面に絶縁性接着剤3が貼着され、この絶縁性接着剤3上にヒーターエレメント4が設けられ、この絶縁性接着剤3の表面3a上のヒーターエレメント4を除く領域にウエハ2の表面2aの温度を測定するための温度測定領域5が設けられ、これらヒーターエレメント4及び温度測定領域5は絶縁膜6により被覆されている。 (もっと読む)


【課題】アルミサッシ等の窓枠の下側の一部の面積のみを直接暖める事により、消費電力を著しく節約し、また充分に結露を防止し、窓周辺を濡らす汚れやカビ等が無くする。
【解決手段】絶縁体1上に発熱線2を張り、断熱材3で覆い矩形とし発熱線端に電源コード4を接続する構造の窓用結露防止ヒータを構築し、アルミサッシ等の窓枠の下部が組み込まれる建造物との接合部で室内側にアルミサッシが露出する部分に直接取り付け暖める事により結露を防止する。 (もっと読む)


【課題】着座者に効率的に熱を伝達することができ、且つ、耐久性を確保することのできるシートヒータを、シートの座り心地を損ねることなく構成できるようにする。
【解決手段】表皮材37と表皮材37の裏面側に積層されて固着されるカバーパッド39とを備える積層構造41と、表皮材37とカバーパッド39との間に配設されシートヒータに用いられる導電糸23と、を備える車両用シートカバー用積層複合体35であって、導電糸23は、表皮材37とカバーパッド39との固着作用を利用して表皮材37とカバーパッド39との間に保持されている。 (もっと読む)


【課題】 導電膜が矩形以外の形状であっても略均一な発熱分布になる透光性ヒーターを提供する。
【解決手段】 透光性ヒーター11は、正面視で矩形以外の形状である透光性基板12と、透光性基板12に形成された導電膜13と、導電膜13に導通された端子部14,15とを備えている。導電膜13は、互いに平行でない複数の第一のスリット13a1〜13anからなる第一のスリット群と、互いに平行な複数の第二のスリット13b1〜13bnからなる第二のスリット群と、を有する。第一のスリット13a1〜13anの一端は、端子部14,15の近傍に位置している。第一のスリット13a1〜13anの他端は、第二のスリット13b1〜13bnの一端の近傍に位置している。 (もっと読む)


【課題】面状発熱体の発熱による構成各部の変形を抑え付けてフローリング材の隆起や繋ぎ目部分のめくり上がりを防止する。
【解決手段】面状発熱体2の上面に上部板材、下面に断熱材層を介して下部板材をそれぞれ重ねられて一体化されたものである。面状発熱体2は、上下に重ねられかつ外周縁が接合された2枚の絶縁シート2a,2bより成る。一方の絶縁シート2aの内面には、発熱部20と電極部21とから成る複数の導電領域8A〜8Fが中間に第1の非導電領域80を介在させて形成されている。各導電領域8A〜8Fの領域内には、スポット状であって他方の絶縁シート2bに接合された第2の非導電領域81が形成されている。前記断熱材層には、面状発熱体2の第1、第2の各非導電領域80,81が対応する位置に、釘打ちが可能な木質部が設けられている。 (もっと読む)


細線状抵抗体30の各側にそれに沿って正電極10と負電極20を配置する。正電極10は、抵抗体30に沿って間隔を置いて配置された複数の枝部13、14によって接続点P2、P3で抵抗体30に接続される。負電極20は、抵抗体30に沿って間隔を置いて配置された枝部23、24によって接続点P1、P4で抵抗体30に接続された抵抗発熱体である。接続点P1〜P4は、抵抗体30に沿って互いにずれた位置にある。接続点P1とP2並びに接続点P3とP4の間にある抵抗体30の部分31と32は、抵抗体30の有効領域として機能する。
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