【課題】作動特性の向上に寄与することが可能な、セラミックヒータを提供することを目的とする。
【解決手段】セラミックヒータであって、第１セラミック基板と、前記第１セラミック基板上に設けられ、前記第１セラミック基板の熱伝導率よりも熱伝導率の大きな第２セラミック基板と、前記第１セラミック基板と前記第２セラミック基板の間に設けられる発熱抵抗体と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ウエハ載置面における均熱性に優れている上に急速昇温および急速冷却が可能であり、且つ高い剛性を備えた加熱冷却デバイスを提供する。
【解決手段】 ヒータ１０と可動式冷却モジュール２０とを備えた加熱冷却デバイス１であって、ヒータ１０は、ウエハ載置面１１ａを有し金属からなる第１均熱板１１と、第１均熱板１１を支持しセラミックスなどからなる第２均熱板１２と、これら均熱板１１、１２の間に設けられた抵抗発熱体１３とを有している。均熱板１１、１２の熱伝導率をＫ１、Ｋ２、ヤング率をＹ１、Ｙ２としたとき、Ｋ１＞Ｋ２、Ｙ２＞Ｙ１であり、均熱板１１、１２の厚みの合計は第１均熱板１１の直径の１／４０以下である。抵抗発熱体１３はポリイミドなどの耐熱性絶縁物１３ｂによって一体化されており、その厚みは０.５ｍｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】 ウエハの大口径化及び配線の微細化に伴って要望される高い均熱性及び信頼性を有するウエハ保持体を提供する。
【解決手段】 ウエハを載置して加熱する加熱体１１と、この加熱体１１をチャンバー内で支持する支持部材１５とからなる半導体製造装置用ウエハ保持体であって、加熱体１１は、そのウエハ載置面を複数の領域に分割して得られる各領域毎に、加熱体１１内に埋設されている発熱体１２ａ、１２ｂと、発熱体１２ａ、１２ｂに接続されている電極部１３ａ、１３ｂと、発熱体部１３ａ、１３ｂが埋設されている領域の温度を測定する温度測定素子部１４ａ、１４ｂとを有しており、支持部材１５は、電極部１３ａ、１３ｂと温度測定素子１４ａ、１４ｂとを全て内包し、且つウエハ載置面上に載置されるウエハを着脱するためのリフトピンを内包していない。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、熱効率、信頼性及び保守性に優れた面状発熱体を提供する。
【解決手段】発熱体１と、コーティング層３を介して該発熱体１を挟み込む加熱板２とを有する面状発熱体１０において、前記コーティング層３は、前記加熱板の厚み方向のうち前記発熱体に対向する該加熱板のそれぞれの面に、窒化珪素又はアルミナを含むセラミックス材料で形成され、かつ、該コーティング層３に、線状又は箔状の該発熱体１を収容するための溝部４が形成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】非通紙部に相当する温度上昇の抑制を図る。
【解決手段】長尺平板状のセラミック基板１１の長手方向に平行してＡｇとＰｄ合金を主成分とする発熱抵抗体１２，１３を形成する。発熱抵抗体１２，１３の一端には通電用の電極１４，１５を、他端には接続導体１６を接続し、発熱抵抗体１２，１３を直列的に接続する。発熱抵抗体１２，１３上にはオーバーコート層１７を形成する。オーバーコート層１７上にはオーバーコート層１７同材料で複数の凸状部１８を一体的に形成する。凸状部１８は、セラミック基板１１の長手方向の両端に向けて漸次高さを高くする。これにより、非通紙部となるヒータ端部ほど凸状部１８が高くすることで放熱性の向上させ、非通紙部における温度上昇の抑制に寄与することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 処理チャンバ内で使用される被加熱型の基板支持プレートを改良すること、特に熱特性を向上させることにある。
【解決手段】 本発明の基板支持プレート１３６は、加熱要素５４，５６を受け入れるための溝９０，１００を有している。加熱要素５４，５６は、外被２００と、ヒータコイル２０２と、熱伝導充填材料２０４とから構成されている。この加熱要素５４，５６は溝９０，１００内に配置された後、圧縮されて熱伝導充填材料がヒータコイルの回りで圧密化されるようになっている。 （もっと読む）

【課題】積層方向の耐荷重性能を確保しつつ、良好な昇温性能を確保する積層型ヒーターユニットを提供することを目的とする。
【解決手段】通電することで発熱する板状のヒーター部材２６と、ヒーター部材２６の一方の面に密着して設けられ、非導電性及びヒーター部材２６の０．３〜０．７倍の熱伝導率を有する第１中間部材３０と、第１中間部材３０の反ヒーター部材側の面に密着して設けられ、ウェハＷと接する接触面３６及び第１中間部材３０よりも高い熱伝導率を有する伝熱部材３２と、ヒーター部材２６の他方の面側に設けられたベース部材１２と、ベース部材１２とヒーター部材２６との間に密着して設けられ、非導電性及びベース部材１２よりも低い熱伝導率を有する第２中間部材１８と、をヒーターユニット１０が備えることで、積層方向の耐荷重性能が確保され、良好な昇温性能が確保される。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で電極部の温度上昇を防止することが可能な加熱用窒化アルミニウム基板、加熱装置および加熱用窒化アルミニウム基板の製造方法を提供する。
【解決手段】加熱用窒化アルミニウム基板１００は、相対的に高い熱伝導率を有する高熱伝導部分１１０と、相対的に低い熱伝導率を有する低熱伝導部分１２０とを備える。高熱伝導部分１１０は、少なくとも発熱体の一部が形成されるべき平面領域に配置されている。低熱伝導部分１２０は、少なくとも電極の一部が形成されるべき平面領域に配置されている。セラミックヒーター１は、加熱用窒化アルミニウム基板１０と、高熱伝導部分１１に形成された発熱層２０と、低熱伝導部分１２に形成された電極層３０とを備える。酸化雰囲気中で窒化アルミニウム基板を部分的に酸化して、酸化アルミニウムを含む部分を窒化アルミニウム基板内に形成することによって低熱伝導部分１２０を形成する。 （もっと読む）

【課題】 窒化アルミニウム焼結体の粒界強度の低下を極力防ぐことにより、パーティクルの発生の少ないサセプタを提供する。
【解決手段】 本発明の窒化アルミニウム焼結体は、含有するカドミウムとリンの量を一定値以下に制御する。すなわち、窒化アルミニウムを主成分とする窒化アルミニウム焼結体において、窒化アルミニウム焼結体中のカドミウムの含有量が１５０ｐｐｍ以下であり、かつリンの含有量が１００ｐｐｍ以下であることを特徴とする。前記窒化アルミニウム焼結体に、抵抗発熱体が形成されていることが好ましく、半導体加熱用部品として使用されることが好ましい。 （もっと読む）

【目的】 比較的簡単な構成でありながら効率よく水を加熱して瞬時に温水や熱水を作ることができる電気湯沸器に適した発熱体の実現を目的とする。
【構成】 内面に液体が通過する溝部３を有し、外面に導電性被膜面４とこの導電性被膜面４に通電を可能にする一対の電極２とを有する２枚の平面ガラス板１を内面側を対向して貼り合わせて構成され、溝部３を流れる液体を加熱することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 発熱抵抗体を覆うオーバーコート層の表面を、より平滑化させたセラミックヒータを実現する。
【解決手段】 基板１１に貼着された発熱抵抗体１２１〜１２４が形成された発熱抵抗体上と発熱抵抗体１２１〜１２４が形成されていない基板１１上でオーバーコート層１８に発生する気泡の大きさの関係を、（発熱抵抗体上）＜（基板上）とし、基板１１上のオーバーコート層１８に位置する部分を盛り上げ、オーバーコート層１８表面にできる凸凹を小さくすることができる。 （もっと読む）

【解決手段】改良されたインライン点滴流体の加温装置。一の態様において、装置は抵抗フィルムヒータを含み、それはそこを通じて延長する屈曲流体パスを有する本体に熱結合している。フィルムヒータは、第１の層を介して本体に結合され、それは電気的に絶縁性で熱伝導性であり、そして第２の層は熱伝導性である。他の態様において第１、第２の抵抗フィルムヒータは、商用またはバッテリー駆動のどちらも使用される。 （もっと読む）

【課題】建物の屋上やベランダ、あるいは風呂場等の床面に適用することが可能な化粧舗装材のような表面を有するブロック状パネルを提供することを目的とする。
【解決手段】熱硬化性樹脂から成る枠体１０の上面の偏平な凹部１１にシート状発熱体１２を配し、その上にアクリル樹脂によって結合固化された天然石から成る粒状物１３を収納するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】セラミックスからなる板状体の一方の主面に発熱抵抗体を有するとともに、該発熱抵抗体と電気的に接続される給電部を具備してなるセラミックヒーターにおいて、板状体の厚みを薄くすると、発熱抵抗体で発生した温度分布が十分緩和されず、載置したウエハの温度がなかなか均一にならないという課題があった。
【解決手段】上記発熱抵抗体の少なくとも一部を、周囲のパターンの抵抗値に対し３倍以内の抵抗値にトリミングした抵抗調整部を形成する。 （もっと読む）