【課題】産業上多くの分野への応用が期待される真空紫外光を実際の産業に利用するために必要とされる、高輝度で、発光効率が高く、必要に応じてパルス幅が１００ナノ秒以下となるような幅の狭い真空紫外光または紫外光を発生することができる紫外光源装置を得る。
【解決手段】高エネルギーの電子線８を発生する電子線発生部１と、希ガスを含む放電ガス１９を封入した光発生部１５と、前記電子線発生部１と光発生部１５とを隔離してそれぞれの気密を保つとともに、前記電子線発生部１で発生した電子線８を前記光発生部１５内に透過させる電子線透過窓１３と、前記光発生部１５で発生した紫外光２０を外に取り出す光透過窓１８とから成り、電子線発生部１で発生させた高エネルギーの電子線８を放電ガス１９中に入射することにより光発生部１５でエキシマを生成し、真空紫外光または紫外光２０を発生させる。 （もっと読む）