【課題】被加熱物が載置されていない状態での加熱動作を防止する。
【解決手段】発振部２、電力増幅部３、被加熱物７を収納する加熱室６、加熱室６の壁面に配置されマイクロ波発生部の出力が伝送されそのマイクロ波を加熱室６内に放射供給する給電部５、給電部５から電力増幅部３に反射される電力を検出する電力検出部４を備え、被加熱物７なしのときの反射電力の周波数特性を制御部８が記憶しており、測定値と記憶値を比較することによって被加熱物７の有無を判定し、被加熱物７なしでの加熱動作を防止するので、マイクロ波処理装置の損傷を防止できる。 （もっと読む）