【課題】静電チャック装置の載置面に単に載置するだけで、製品となる半導体ウエハそのものを使用することなく、静電チャック装置の載置面の面内温度分布や昇温特性や降温時における冷却特性を容易に最適化することが可能な温度測定用板状体及びそれを備えた温度測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の温度測定用ウエハ（温度測定用板状体）１は、ウエハ２の表面２ａ全面に絶縁性接着剤３が貼着され、この絶縁性接着剤３上にヒーターエレメント４が設けられ、この絶縁性接着剤３の表面３ａ上のヒーターエレメント４を除く領域にウエハ２の表面２ａの温度を測定するための温度測定領域５が設けられ、これらヒーターエレメント４及び温度測定領域５は絶縁膜６により被覆されている。 （もっと読む）

【課題】サイズが小さな場合であっても、潤滑系流体を過度に加熱することなく潤滑系流体の温度を速やかに上げることが可能なヒーターを提供する。
【解決手段】セラミックスを主成分として通電により発熱する隔壁７と隔壁７に区画形成されて一方の端部９ａから他方の端部９ｂまで貫通して潤滑系流体の流路となる複数のセル５とを有するハニカム構造部６と、ハニカム構造部６に接触してハニカム構造部６の隔壁７を通電させるための陽極４ａおよび陰極４ｂとなる一対の電極４と、セル５の延びる方向に直交する断面において、一方の電極４ａから他方の電極４ｂに向かう方向に直交する集電層８と、を備えるヒーター１。 （もっと読む）

【課題】ヒータ巻き線作業時の作業性、使用時の安定性を従来並みに維持しつつ、従来以上の寿命をもったヒータ管を提供する。
【解決手段】外周に螺旋状に形成されたガイド溝を有する絶縁体と、前記ガイド溝に沿って巻きつけられた電熱線と、前記絶縁体と電熱線を覆って形成されるコーティング剤からなるヒータ管において、前記ガイド溝は前記電熱線の断面が前記ガイド溝に一点で接するように形成されている。 （もっと読む）

小さいエリアに熱を与えるための技法と、小さいエリアに熱を与えることが可能な装置とが提供される。例示的な実施形態では、非限定的な例として、加熱素子は、一連の連続的に接続された上面が画定されるように、少なくとも１つの壁が一部から延びる基板と、導電性材料を含みかつ上面に実質的に配置された導電層とを含み、少なくとも１つの壁の最外部分は、その表面にエッチングされた部分を有する。前述の概要は単なる例示であり、いかなる方法によっても限定することを意味するものではない。上述の例示的な態様、実施形態、および特徴に加え、その他の態様、実施形態、および特徴が、図面および以下の詳細な記述を参照することによって明らかにされよう。
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低電圧で非絶縁発熱素子によって流体を加熱するための改善された方法が、開示される。 （もっと読む）

【課題】薄くて軽量であるにも拘わらず、発熱効率が高く、しなやかで耐屈曲疲労性にも優れる面状発熱体を提供することにある。
【解決手段】導電性繊維を含む編織物で形成された発熱部と、この発熱部を通電するための電極部とで構成された面状発熱体において、前記導電性繊維を、有機繊維とこの有機繊維の表面を被覆するカーボンナノチューブとで構成する。前記導電性繊維は、有機繊維に振動を与えながら、カーボンナノチューブを含む分散液中に有機繊維を浸漬して、導電層を有機繊維の表面に付着させた繊維であってもよい。 （もっと読む）

【課題】シートの上にニクロム線を蛇行配線した面状発熱体は、熱効率が悪く屈曲性に乏しいという欠点があった。また、指向性のない導電性カーボンチョップドファイバーを構造部材に練り込んだ面状発熱体では、一の面状発熱体で種々の抵抗値を設定することができなかった。また、一様に加熱するためには複数の種類の導電性カーボンチョップドファイバーを多量に混入させる必要があり、結果として必要な消費電力が高くなっていた。
【解決手段】以上の課題を解決するため、本発明は、長手方向の目をそろえた導電性カーボンチョップドファイバーを面内に均質に含有する面状発熱体を提案するものである。 （もっと読む）

【課題】加熱面を横断して比較的に一様な加熱特性を有するＰＴＣ（正の温度係数）特性を有するヒータを付与する。
【解決手段】基板層１２と、バス層２８であって、バス層２８の一側部に隣接して形成される第一電極及び第二電極と、第一電極からコネクタ部への電気的連通を付与するためのバスとを有し、コネクタ部は、第一電極と第二電極との間の距離よりも大きな、第二電極からの距離でバス層上に形成される、バス層２８と、選択的な伝導層４４であって、第一伝導ストリップと連通する第三電極と、第二伝導ストリップと連通する第四電極とを有し、第三電極は、第二電極と電気的連通し、第四電極はコネクタ部と電気的連通している、選択的な伝導層４４と、第一伝導ストリップと第二伝導ストリップとの間で電気的連通を付与するサーミスタ層５２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、中空熱源の製造方法に関する。
【解決手段】本発明の中空熱源の製造方法は、中空の三次元構造のカーボンナノチューブ構造体を提供し、加熱素子とするステップであって、該中空の三次元構造のカーボンナノチューブ構造体が複数のカーボンナノチューブを含むところのステップと、少なくとも、二つの電極を提供し、該二つの電極を間隔を置いて設置し、前記加熱素子に電気的に接続させるステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】発熱線の基本である温度分布が均一であり、温度上昇の早い、小電力で高温発熱する炭素繊維ヒーター線の製造方法、炭素繊維ヒーター線及び融雪用ヒーターを提供することを目的とする。
【解決手段】炭素繊維束６をボビン２１から引き出す工程と、前記引き出された炭素繊維束の表面に、エポキシオイル１４を塗布する工程と、前記エポキシオイルが塗布された炭素繊維束に、皮膜を形成する工程と、前記皮膜が形成された炭素繊維束を冷却する工程からなることを特徴とする炭素繊維ヒーター線の製造方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、線熱源に関する。
【解決手段】本発明の線熱源は、線状の支持体と、前記線状の支持体に設置された加熱素子と、前記加熱素子と電気的に接続された二つの電極とを含む。前記加熱素子が少なくとも一本のカーボンナノチューブ線状構造を含み、該カーボンナノチューブ線状構造が少なくとも一本のカーボンナノチューブワイヤを含み、単一の前記カーボンナノチューブワイヤが複数のカーボンナノチューブを含む。 （もっと読む）

【課題】第一ヒータ基板と第二ヒータ基板との間における層間剥離を防ぐことができるセラミックヒータの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明により製造されるセラミックヒータ１は、発熱部１３と、第一ヒータ基板１１と、第二ヒータ基板１２とを有する。第一ヒータ基板１１形成用の第一シート８１１の外表面に、発熱部１３を形成するための導体ペースト８１３を印刷する。次いで、第一シート８１１における導体ペースト８１３が配設された側の外表面に、第一シート８１１と同一のセラミック成分からなるセラミックペースト８１４を塗布する。次いで、セラミックペースト８１４における第一シート８１１が配設された側と反対側の外表面に、第二ヒータ基板１２形成用の第二シート８１２を積層する。第一シート８１１及び第二シート８１２の密度は、２．５３〜２．７ｇ／ｃｍ³であり、セラミックペースト８１４の密度は、２．４９〜２．６ｇ／ｃｍ³である。 （もっと読む）

【課題】 予め抵抗値を低く製造する必要がなく、低い方へ調整が可能なセラミックスヒーター及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 高温熱処理により、セラミックス基材に設けられた導電性発熱体の抵抗値が調整されたものであることを特徴とする。高温熱処理の温度が１０００〜２２００℃であること、、抵抗値が０．１〜２０％の範囲で下方に調整されること、導電性発熱体が、熱分解黒鉛、硼素含有熱分解黒鉛、珪素含有熱分解黒鉛のいずれかであること、セラミックス基材が、酸化物セラミックス、窒化物セラミックスもしくは、酸化物膜あるいは窒化物膜等の絶縁層で覆った耐熱基材であること、がそれぞれ好ましい。 （もっと読む）

【課題】配管を加熱するテープ状の電熱ヒーターであって、容易に、見栄え良く取り付け施工を行うことができ、放熱を低減することができる。
【解決手段】電熱ヒーター１０を幅方向に区分し、ヒーター線３０を含む加熱帯６０とヒーター線３０を含まない非加熱帯７０とする。非加熱帯７０は切り込み可能とする。加熱帯６０は、長手方向両端にコネクターを備え、２以上を連結して使用可能であり、また、連結した全ての電熱ヒーター１０が、１００Ｖでも２００Ｖでも、１つの電源で使用可能とする。 （もっと読む）

【課題】低発熱性樹脂被覆導線の耐屈曲性及び耐衝撃性を向上して、使用中及び取り扱い中の低発熱性樹脂被覆導線の断線故障を防止することを課題とするものである。
【解決手段】発熱複合導電線の外面を樹脂被覆した被覆導線であって、発熱複合導電線の外周面の周りに分布し、発熱複合導電線の長手方向に平行に複数の細長形状の細孔が形成されてなることを特徴とする低発熱性樹脂被覆導線及びその製造方法。 （もっと読む）

【課題】気密性や水密性が高く、スリーブ内部への湿気の侵入等が起こりにくく、高い信頼性を維持する。
【解決手段】ヒータアダプタは、ヒータ線１、１とそれに接続した端子４、４を金属細管状のアダプタ１１、１１にそれぞれ収納し、そのケース１１、１１の中に充填した無機絶縁材１２，１２によりヒータ線１、１と端子４、４とをアダプタ１１、１１に対して絶縁して個々のアダプタ部２、２を構成し、前記端子４、４に電源接続用のリード線６、６を接続している。このアダプタ部２、２をスリーブ３に挿入すると共に、アダプタ部２、２の端部をスリーブ３の引出口１４、１４に嵌め込み、アダプタ２、２のケース１１、１１をスリーブ３の引出口１４、１４に溶接した後シール材１３でシールする。 （もっと読む）

金属不純物の含有量が１０ｐｐｍ未満であり正の温度係数を有するセラミック材料を含む、射出成形された成形体を供給するステップと、流体を加熱するために該射出成形された成形体を用いるステップと、を含む、流体を加熱するための方法が記載される。 （もっと読む）

【課題】絶縁耐圧を高めることが可能なヒータを提供すること。
【解決手段】基板１と、基板１に形成されており、それぞれが方向ｘに延びた帯状であり、方向ｙにおいて離間配置された１対の帯状部分を有する抵抗体２と、抵抗体２に導通する配線部３と、抵抗体２および配線部３の少なくともいずれかの一部を覆う保護膜５と、を備えるヒータＡ１であって、配線部３は、保護膜５に覆われており、方向ｙに電流を流し、かつその輪郭３１ａが方向ｙに対して交差する連結部３１を有する。 （もっと読む）

【課題】容易且つ迅速に設定できる管体加熱保温装置の提供。
【解決手段】本発明は、管の外周面を覆う被覆体の内周面に発熱部としての発熱塗料が帯状に配設されたことを特徴とする。
又、帯状の発熱部は被覆体の内周面に間隔を置いて複数行平行に配設されたことを特徴とする。
又、発熱塗料は袋帯状シート発熱部に封入された状態で被覆体の内周面に配設されたことを特徴とする。
又、発熱塗料は塗布により施されたことを特徴とする。
又、発熱塗料はシルク印刷により施されたことを特徴とする。
又、被覆体は筒体であることを特徴とする。 （もっと読む）