【課題】従来技術の欠点を解消すること。
【解決手段】チャンバ内には導電性材料からなる少なくとも４つの加熱素子または加熱素子の群が配置されており、各加熱素子または加熱素子の群は、電気エネルギー網の別個に閉ループおよび／または開ループ制御可能なサブシステムに接続されており、かつ直接的な電流通過によって加熱可能であり、別個に閉ループおよび／または開ループ制御可能な加熱素子または別個に閉ループおよび／または開ループ制御可能な加熱素子の群は、温度、加熱電力、電流、電圧、抵抗またはこの装置により影響される加熱素子のプロセス量からなる群からのパラメタの少なくとも１つの同じ値または異なる値に閉ループおよび／または開ループ制御可能であり、少なくとも４つの閉ループおよび／または開ループ制御可能なサブシステムがアースに対してガルバニック絶縁されている、腐食性ガスの温度処理装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】ＳｉＣ膜のエピタキシャル成長に使用可能なヒータの製造方法を提供する。
【解決手段】ヒータは、通電により発熱する発熱体を備える。発熱体は、所定の形状と電気比抵抗を有するＳｉＣ焼結体１を得た後、ＳｉＣ焼結体１の表面を複数層のＳｉＣ薄膜２〜５で被覆することにより得られる。複数層のＳｉＣ薄膜２〜５は、それぞれ異なる成膜温度で形成され、外側の層ほど高い成膜温度である。各成膜温度は、１４００℃±５０℃、１６００℃±５０℃、１８００℃±５０℃、２０００℃±５０℃とすることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】製造工程が簡素でコストが安価であり、剛性が高い熱処理用ヒータを提供する。
【解決手段】本発明による熱処理用ヒータ１は、炭化ケイ素の多孔体を仮焼した仮焼体３と、仮焼体３の外表面を被覆した、絶縁材料からなる被覆材５とを備えている。従って、剛性が低い多孔体の仮焼体３を絶縁材からなる被覆材５で被覆することによって、耐久性および輻射効率が高く、製造工程がシンプルで低コストの熱処理用ヒータ１を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】高温発熱しながら折れ曲がり及び張力に対応する高い引張強度を有する炭素繊維発熱体を提供すること。
【解決手段】少なくとも１本以上の炭素繊維１１１とガラス繊維１１２とを所定の割合にて編み込んでなる発熱繊維と、前記発熱繊維の両端に設けられて電気供給線から電気を印加する接続端子１１３と、前記発熱繊維及び前記接続端子の表面を被覆する被覆手段１１５と、を備えることを特徴とする炭素繊維発熱体とした。。 （もっと読む）

【課題】面状発熱体に用いる抵抗体組成物であって、柔軟性と信頼性の向上を図ることを目的とする。
【解決手段】柔軟難燃性基材２として、例えば、難燃性ポリエステル繊維で作製された５０ｇ／ｍ２目付けのメッシュ状のスパンレース不織布を用いて、この柔軟難燃性基材２上に電極３として、０．０３Ω／ｃｍ以下の抵抗値を有する錫メッキ撚り銅線を一対として左右対称に糸で部分的に縫い付けて配置している。そして、この一対の電極３が配置された柔軟難燃性基材２上に、カレンダー加工により抵抗体組成物４のフィルム４を作成し、電極３と柔軟難燃性基材２に抵抗体組成物４を熱融着させた。 （もっと読む）

【課題】電子写真方式による画像形成装置の定着装置のための発熱体として、耐熱性、絶縁性、及び、耐磨耗性に優れ、摩擦係数も低く、及び、ある程度熱伝導率も高い、保護層を設けた、新規な定着用ヒータを提供する。
【解決手段】基材と、前記基材上に設けられ、少なくともアモルファス炭素を含む炭素系発熱体層と、前記炭素系発熱体層を被覆する、耐熱樹脂体質材中に金属または半金属化合物を混合した第一の保護層と、さらに前記保護層を被覆する、融点が５００℃以下のガラスからなる第二の保護層とを具備したヒータとする。 （もっと読む）

【課題】被加熱物の温度を低温領域において急速に高くする場合に優れた昇温特性を発揮することができるヒータユニットを提供する。
【解決手段】ヒータユニットは、板状の炭化ケイ素を含むヒータ部１と、被加熱物が載置される、ヒータ部１の上面に載置される試料台３と、ヒータ部１の上面と、試料台３の被加熱物が載置される面に対する反対面とを接着する接着剤２とから構成されおり、積層構造且つ一体化構造を有する。試料台は、窒化アルミを含む材料で構成していることが望ましい。 （もっと読む）

【課題】高い均熱性を有するセラミックスヒータを提供する。
【解決手段】上面に基板を載置するセラミックス基体１１と、セラミックス基体１１に埋設された発熱体１２と、発熱体１２に巻きつけた犠牲コイルが焼成により炭化もしくは酸化した反応層１３を備える。 （もっと読む）

【課題】寸法精度を高めることができるように枠体をケースに一体形成することによって、軽量化を図ることができながらも、枠体同士を隙間無く接合して接合強度を高めることができる組電池を提供する。
【解決手段】複数の電池ユニット１，１を一体化して構成された組電池であって、電池ユニット１が、金属製のケース２Ａを有する電池本体２と、この電池本体２の外面を覆う樹脂製の枠体３とを備え、電池本体２のケース２Ａの外面に枠体３を一体形成し、ケース２Ａの厚み方向で隣り合う枠体３，３の表面同士を溶融又は接着剤により接合して複数の電池ユニット１，１を一体化した。 （もっと読む）

【課題】輻射加熱型熱源からの主要輻射の波長域となる３〜６μｍにおいて赤外線輻射率を高めて、効率的な輻射加熱を可能にすること。
【解決手段】耐熱性樹脂１と赤外線輻射材となる金属酸化物粒子２および金属酸化物粒子３および金属酸化物粒子４とが基材５に赤外線輻射被膜６を形成することにより、輻射による被加熱物への高効率の熱伝達が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 処理チャンバ内で使用される被加熱型の基板支持プレートを改良すること、特に熱特性を向上させることにある。
【解決手段】 本発明の基板支持プレート１３６は、加熱要素５４，５６を受け入れるための溝９０，１００を有している。加熱要素５４，５６は、外被２００と、ヒータコイル２０２と、熱伝導充填材料２０４とから構成されている。この加熱要素５４，５６は溝９０，１００内に配置された後、圧縮されて熱伝導充填材料がヒータコイルの回りで圧密化されるようになっている。 （もっと読む）

【課題】絶縁耐圧を高めることが可能なヒータを提供すること。
【解決手段】基板１と、基板１に形成されており、それぞれが方向ｘに延びた帯状であり、方向ｙにおいて離間配置された１対の帯状部分を有する抵抗体２と、抵抗体２に導通する配線部３と、抵抗体２および配線部３の少なくともいずれかの一部を覆う保護膜５と、を備えるヒータＡ１であって、配線部３は、保護膜５に覆われており、方向ｙに電流を流し、かつその輪郭３１ａが方向ｙに対して交差する連結部３１を有する。 （もっと読む）

【課題】簡単な製法と品質管理で製造できる生産性と信頼性を高めた発熱体を提供する。
【解決手段】発熱体は、基材１２に形成した電極１３、１４と、この間に配置され熱可塑性樹脂に導電性付与材が混合された発熱可能の抵抗体１５と、電極１３、１４と抵抗体１５の全体を覆う有機材料の接着性材料１６と、その積層物のコート材１７を備えている。接着性材料１６は、主成分である低級のオレフィン系熱可塑性エラストマーと、低級カルボン酸もしくはそのエステルのエチレン系共重合体を含む混合組成物である。そして、低級カルボン酸もしくはそのエステルは、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、アクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、酢酸ビニルエステルのいずれか１種を少なくとも使用している。 （もっと読む）

【課題】高耐久性炭化ケイ素焼結体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】多孔質炭化ケイ素焼結体を酸化防止液に含浸させ、多孔質炭化ケイ素焼結体の気孔に酸化防止液を充填させる工程と、酸化防止液を乾燥させ多孔質炭化ケイ素焼結体内部及び表面に熱膨張係数が炭化ケイ素に近似する酸化防止膜を形成する工程と、を含む高耐久性炭化ケイ素焼結体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】絶縁耐圧を高めつつ、保護膜の表面を平滑とすることが可能なヒータを提供すること。
【解決手段】基板１と、基板１に形成された発熱抵抗体２と、発熱抵抗体２を覆う結晶化ガラス層３１Ａ、およびこの結晶化ガラス層３１Ａよりも基板１から離間した位置に形成された非晶質ガラス層３２Ｂを有する保護膜３と、を備えるヒータＡであって、保護膜３は、結晶化ガラス層３１Ａを覆う非晶質ガラス層３２Ａと、この非晶質ガラス層３２Ａと非晶質ガラス層３２Ｂとの間に介在する結晶化ガラス層３２Ｂと、をさらに有する。 （もっと読む）

【課題】画像形成装置に用いられる発熱体において、摺動性と耐久性と高熱伝導性とを兼ね備えた発熱体を提供すること。
【解決手段】発熱体３０は、絶縁基板３１上に形成された、通電により発熱する抵抗体３２と、抵抗体３２を保護する絶縁層３３とを有し、絶縁層３３にＢＮ（窒化ホウ素）微粉末を分散させた構成とした。 （もっと読む）

ヒートトレース部、このヒートトレース部を囲む断熱ジャケット、およびこのヒートトレース部と断熱ジャケットの間に配置してある複数のスタンドオフを含むヒートトレース組立体を提供する。このヒートトレース部と断熱ジャケットの間およびこれらの複数のスタンドオフの間に対応する複数の通路が作ってある。これらのスタンドオフは、この断熱ジャケットおよび／またはヒートトレース部の一部であってもよく、およびこれらのスタンドオフは、更にこの断熱ジャケットおよび／またはヒートトレース部と一体に作ってありおよび／またはそれらに別に取付けてあってもよい。
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【課題】 ステンレスのような不動態被膜を形成する極薄板を発熱体として使用する面状発熱体において、電流リード線の接合に関して何らの問題も発生しない手段の提供。
【解決手段】 不動態膜を形成する金属極薄板を発熱体として使用する面状発熱体において、前記金属極薄板に中間金属を溶着し、当該中間金属上に電流リード線をハンダ溶接したことを特徴とする面状発熱体。 （もっと読む）

【課題】小さなスペースで多くの遠赤外線とマイナスイオンとを発生させることができるサウナ装置用面状ヒータ及びサウナ装置を提供すること。
【解決手段】面状の炭素繊維ヒータ本体の一面に覆われた布地に遠赤外線発生パウダー及びマイナスイオン生成パウダーを練り込んでサウナ装置用面状ヒータ２，３を構成する。これらのサウナ装置用面状ヒータ２，３をケーシング１に設ける。炭素繊維ヒータ本体が面状に形成されており、この炭素繊維ヒータ本体の一面に遠赤外線発生パウダー及びマイナスイオン生成パウダーが練り込まれた布地が覆われているので、ヒータ自体の厚み寸法を薄くすることができる。 （もっと読む）

【課題】温度制御の故障によりヒータの発熱抵抗体の破損や絶縁基板の割れに至るまでの時間を長くして、温度ヒューズ等の他の安全素子が機能するまでヒータの破損を防止して安全性の向上を図る。
【解決手段】耐熱・絶縁性材料で形成した長尺平板状の絶縁基板１１上の長手方向に平行して銀／パラジウムを主成分とする導電性成分により発熱抵抗体１２，１３を形成する。直列接続された状態の熱抵抗体１２，１３に電極１４，１５から電力を供給する。少なくとも電極１４,１５を残した絶縁基板１１上にオーバーコート層１７を形成する。発熱抵抗体１２，１３間の全域もしくは発熱抵抗体１２，１３間の電位差が高い部分にオーバーコート層１７のないスリット１８を形成した。スリット１８は、温度制御の故障によりヒータ１００の発熱抵抗体１２，１３の破損や絶縁基板１１の割れに至るまでの時間が長くし、他の安全機能が働くまでヒータ１００の破損を抑え安全性の向上を図ることができる。 （もっと読む）