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【課題】 耐電圧、耐摩耗性、熱伝導率、および耐スクラッチ性が一層高い絶縁膜や保護層(以下、絶縁膜等という)を形成し得る絶縁膜組成物を提供する。
【解決手段】 ガラスを主成分とする厚膜絶縁ペーストには、アルミナ粉末が含まれているため、定着ヒータの絶縁膜やサーマルプリントヘッドの保護層に好適で、硬度が高く延いては耐摩耗性や耐スクラッチ性が高く、且つ熱伝導率や耐電圧が高い絶縁膜等を得ることができる。アルミナ粉末のアスペクト比が1.2以下と小さいことから充填密度が得られるので絶縁膜の硬度等の改善効果が一層高められる。アルミナ粉末の体積比率が25(%)以上と大きいことから、硬度や熱伝導率等の改善効果が一層高められ、体積比率が60(%)未満に留められていることから、強固な絶縁膜等を得ることができる。 (もっと読む)


【課題】還元性雰囲気において好適に使用することのできるセラミックスヒーターを提供すること。
【解決手段】絶縁性セラミックス部材からなる基材の上に、順次、両端に端子部を有する導電性部材からなるヒーターパターン及び絶縁性セラミックス部材からなる被覆層を有し、前記端子部には前記絶縁性セラミックス部材からなる被覆層が存在せず、電源に連結するリード線が該端子部に接続されたセラミックスヒーター。前記ヒーターの端子部は導電性保護膜によって覆われており、該ヒーターの端子部と前記リード線が、伸展性を有する導電性材料からなるワッシャーを介して固着接続されてなる点が特徴である。 (もっと読む)


【課題】 加熱時間を短縮することができ、耐久性も向上したセラミックヒータを提供する。
【解決手段】 セラミックヒータ1は、セラミック基体2と、セラミック基体2内に埋設され、通電によって発熱する発熱抵抗体3とからなり、セラミック基体2は、外表面が、表面粗さが大きい表面粗領域4aと、表面粗さが表面粗領域4aよりも小さい表面平滑領域4bとを含む。これにより、セラミックヒータ1と被加熱物である流体との接触領域において、流体の流れを乱すことができ、セラミック基体2の外表面おける熱交換効率が向上して加熱時間を短縮することができる。さらに、流体の流れを乱すことにより、核沸騰、膜沸騰などによる局所的な温度上昇を抑制し、セラミック基体2の割れなどを防止することができる。 (もっと読む)


【課題】
均熱性に優れ、かつ、小型化に対応可能なセラミックヒータを提供する。
【解決手段】
セラミック基材と、セラミック基材2上に形成された抵抗発熱体3と、その上に抵抗発熱体3を覆うように形成されたセラミック被覆層14からなるセラミックヒータにおいて、セラミック被覆層14には、同一材料からなる高密度層14aと高密度層14aに対してセラミック基材2から遠い側に位置する低密度層14bとが少なくとも一組設けられている。 (もっと読む)


【課題】 発熱体の幅と厚みを所定の設計値に限りなく近づけることができ、均一な温度分布を達成することが可能なセラミックスヒータ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 絶縁性セラミックスより成る基体表面上に所定の深さの溝を形成し、この溝に、導電性の抵抗発熱部材ペーストを充填、または成膜し、焼成固化し、さらに、固化された抵抗発熱部材を基体表面を基準として研磨して、焼成固化した充填物の厚さを均一化した後、前記基体の表面に絶縁性被膜を形成してなるものであることを特徴とする。前記発熱抵抗部材のパターンの通電方向における断面積のバラツキが1%以下であることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】炭素系発熱体に対してその電気的特性を損うことなくガラス保護層を設けた定着用ヒータを提供する。
【解決手段】基板10上に形成した炭素系発熱体14の上に粉末ガラスを層状に堆積させ、その上に第1のガラス層18としての薄板ガラス板を載せ、窒素雰囲気中、600℃以下の温度で熱処理をして粉末ガラスを溶融させて第2のガラス層20とし、第1のガラス層18および第2のガラス層20からなるガラス保護層22を形成する。 (もっと読む)


【課題】セラミック基板厚を薄くした場合でも、セラミック基板の反りを抑制する。
【解決手段】長尺平板状の熱伝導率の高いSi製のセラミック基板11の長手方向に平行してAgとPd合金を主成分とする発熱抵抗体12,13を形成する。発熱抵抗体12,13の一端には通電用の電極14,15を、他端には接続導体16を接続し、発熱抵抗体12,13を直列的に接続する。発熱抵抗体12,13それに接続導体16上を、熱膨張の異なる少なくとも2種のフィラーが添加されているSiO-ZnO系ガラスの第1のオーバーコート層17で覆い、この第1のオーバーコート層17上をSiO−B系の低熱膨張ガラスの第2のオーバーコート層18を積層する。これにより、セラミック基板11の厚みを薄くした場合でも反りを抑制でき、ヒータの立ち上がり時の昇温速度を早くでき、セラミックヒータ100のオン/オフ制御時間が短縮できる。 (もっと読む)


【課題】小型で狭い室内にも設置でき、設備費や運転コストも安く、携帯も容易で、体の必要な部位を効率よく温めることができる焼結セラミックス及び健康ヒータを提供する。
【解決手段】健康ヒータ1は、セラミックス粉末を布生地に担持させてなる布生地層2と面状発熱体4間にSi:95%〜96%、Ni:3.0%〜3.2%、Fe及びCrを総量で1.0%〜1.1%(質量%、以下同じ)以上を含有し、残部不可避的不純物からなる焼結セラミックス3を敷き詰めてなり、セラミックス3を加熱して微量放射線若しくは遠赤外線を放射する。 (もっと読む)


【課題】長時間継続あるいは断続して高温で使用した場合であっても、抵抗発熱材の劣化を十分に防止することができ、耐久性が高いセラミックヒーターの製造方法を提供する。
【解決手段】基材及び2種以上の助剤を焼結させたセラミックスからなるセラミック体と、セラミック体内に埋設された発熱部とを備えるセラミックヒーターの製造方法であって、少なくとも2種の助剤を700〜1450℃で熱処理する熱処理工程と、抵抗発熱材が埋設されるように、基材と熱処理された助剤とを混合した混合物を成形して成形体を作製する成形工程と、前記成形体を1450〜1650℃で焼成してセラミックヒーターを形成する焼成工程とを有するセラミックヒーターの製造方法を提供する。 (もっと読む)


【課題】温度変化に対する耐久性と、均熱性とを兼ね揃えたセラミックスヒータを提供する。
【解決手段】基体10は窒化アルミニウム焼結体からなり、発熱体20は炭化珪素焼結体からなり、窒化アルミニウム焼結体と炭化珪素焼結体とは直接接合されている。炭化珪素焼結体は、珪素含有原料と炭素含有原料とが混合された原料混合物を架橋又は重合して炭化珪素前駆体を生成する工程と、生成した前記炭化珪素前駆体を非酸化性雰囲気下で焼成する工程とを含む製造方法により得られた炭化珪素粉末を原料としている。 (もっと読む)


【課題】 被処理物保持面の加工が安価で部品コストの低減を図ることができ、且つ被処理物保持面における均熱性に優れ、必要に応じて急速昇温及び急速冷却が可能な半導体製造装置用の保持体を提供する。
【解決手段】 抵抗発熱体7を有する板状でAlN等からなるセラミックスヒータ5の上に、被処理物9を保持するAl等からなる金属製保持部10を備えている。金属製保持部10内には、冷却媒体が中央付近から放射状に移動し、外周縁に排気されるように流路12が形成されている。この保持体10は、コータデベロッパでのフォトリソグラフィー用樹脂の加熱硬化又は半導体絶縁膜の加熱焼成に用いられる。 (もっと読む)


【課題】金属細線群が視認されにくく、金属細線群と電極との接触部の発熱を低コストで抑制する。
【解決手段】電熱窓ガラス10は、長手方向に沿って形成された発熱部14と、発熱部14の上下に形成された第1電極16及び第2電極18とを備えている。発熱部14には、金属細線42の細線間隔が大きいメッシュ状パターン43Aからなる発熱区域43が形成されており、第1電極16及び第2電極18には、金属細線42の細線間隔が小さいメッシュ状パターン44Aからなる電極区域44が形成されている。それぞれの区域が金属細線で覆われている面積のそれぞれの区域全体の面積に占める割合を電極区域44はAe%、発熱区域43はAc%とすると、
Ac≦Ae、5≦Ae、かつ0<Ac≦20を満たしている。 (もっと読む)


【課題】本発明は、マイクロヒーターの加熱要素を化学的及び/または機械的に保護するための保護層を備えたマイクロヒーター及び該マイクロヒーターを製造する方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るマイクロヒーターは、基板と、前記基板と離間した発熱体としての金属パターンと、前記金属パターン上の保護層と、を含むことを特徴とすることにより、マイクロヒーターの加熱要素を化学的及び/または機械的に保護する。 (もっと読む)


【課題】発熱抵抗体とコネクタとの距離を離さない場合においてもコネクタとの接触不良の発生を抑えるようにする。
【解決手段】長尺平板状のセラミック基板11の長手方向に平行してAgとPd合金を主成分とする発熱抵抗体12,13を形成する。発熱抵抗体12の一端には接続パターン16を介して通電用の電極14を、発熱抵抗体13の一端には接続パターン17を介して通電用の電極15を他端には接続パターン18を接続し、発熱抵抗体12,13を直列的に接続する。発熱抵抗体12,13上にはオーバーコート層19を形成する。電極14,15は接続パターン16,17より厚くし、コネクタが嵌合される側には摺動部20,21が形成される。 (もっと読む)


【課題】電子写真方式による画像形成装置の定着装置のための発熱体として、耐熱性、絶縁性、及び、耐磨耗性に優れ、摩擦係数も低く、及び、ある程度熱伝導率も高い、保護層を設けた、新規な定着用ヒータを提供する。
【解決手段】基材と、前記基材上に設けられ、少なくともアモルファス炭素を含む炭素系発熱体層と、前記炭素系発熱体層を被覆する、耐熱樹脂体質材中に金属または半金属化合物を混合した第一の保護層と、さらに前記保護層を被覆する、融点が500℃以下のガラスからなる第二の保護層とを具備したヒータとする。 (もっと読む)


【課題】発熱抵抗体が基板から剥離しにくいヒータを提供すること。
【解決手段】長矩形状の基板1と、基板1上に設けられ、基板1の長手方向に沿って延びる発熱抵抗体2と、発熱抵抗体2を覆っている保護膜3と、を備えているヒータAであって、保護膜3は、基板1の長手方向に沿って延び、かつ、発熱抵抗体2に対して短手方向yに並列されているとともに、基板1と接している層31と、発熱抵抗体2および層31を覆う層32と、を含んでいる。 (もっと読む)


【課題】バッチ式熱処理装置において、複数枚の基板を面内の温度が均一になるように同時に熱処理する。
【解決手段】本発明に係るバッチ式熱処理装置は、複数枚の基板10に対して熱処理空間を提供するチャンバ100と、複数枚の基板10を搭載支持するボート108と、基板10の積載方向に一定間隔で配置されかつ各々が複数の主ヒータ200で構成されるような複数の主ヒータユニット120とを含み、基板10が、複数の主ヒータユニット120の間に配置されるようにしたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】第一ヒータ基板と第二ヒータ基板との間における層間剥離を防ぐことができるセラミックヒータの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明により製造されるセラミックヒータ1は、発熱部13と、第一ヒータ基板11と、第二ヒータ基板12とを有する。第一ヒータ基板11形成用の第一シート811の外表面に、発熱部13を形成するための導体ペースト813を印刷する。次いで、第一シート811における導体ペースト813が配設された側の外表面に、第一シート811と同一のセラミック成分からなるセラミックペースト814を塗布する。次いで、セラミックペースト814における第一シート811が配設された側と反対側の外表面に、第二ヒータ基板12形成用の第二シート812を積層する。第一シート811及び第二シート812の密度は、2.53〜2.7g/cm3であり、セラミックペースト814の密度は、2.49〜2.6g/cm3である。 (もっと読む)


【課題】短期間で容易に施工することが可能であり、十分な耐熱性向上効果を得ることができ、熱膨張係数の違いによる亀裂の発生が生じない表面被覆材と、この表面被覆材を用いたヒータ及び過熱蒸気発生装置、並びにこの過熱蒸気発生装置を用いた加熱処理装置を提供すること。
【解決手段】高温環境下で使用される物体表面を被覆する表面被覆材であって、多数のセラミック製ボールの隙間に、該セラミック製ボールと被覆対象物並びに該セラミック製ボール同士を接着可能である耐熱性セラミック接着剤を充填してなることを特徴とする表面被覆材とし、この表面被覆材をヒータ及び過熱蒸気発生装置、並びに加熱処理装置に適用する。 (もっと読む)


【課題】 ポストファイヤー型セラミックスヒーターは、二枚のセラミックの間に電熱皮膜のヒーター回路の厚さに相当する隙間が残る。隙間があると異物が混入して回路の短絡が起こることもある。あるいは電熱皮膜側面はヒーターの外の実使用雰囲気(あるいはチャンバー内雰囲気)に露出して連通しており、皮膜成分の雰囲気への漏出による雰囲気汚染の原因となる。又ヒーターの給電端子側雰囲気(大気)と実使用雰囲気(あるいはチャンバー内雰囲気)との気密隔離が難しい問題がある。
【解決方法】 セラミックスからなる二枚の絶縁層の間に高融点金属からなる電熱皮膜を挟み、該電熱皮膜を溶融して該二枚の絶縁層を接合した構造のセラミックスヒーターにおいて、該接合された二枚の絶縁層に挟まれた空間の中の、該電熱皮膜の存在しない空間部分に、ガラスを挟んで、該ガラスで、該電熱皮膜の存在しない空間部分を充填、接着した構造で解決できる。 (もっと読む)


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