【課題】透明導電膜の形成面内に、透明導電膜が形成されていない非形成部を設け、この非形成部によって透明導電膜形成面の抵抗を部分的に変化させ、面内の温度分布を制御する面状ヒータを提供する。
【解決手段】面状ヒータ１は、透明基板２の少なくとも１表面に透明導電膜３を形成し、前記透明基板３の両端に電圧印加用の金属電極４を配した面状ヒータにおいて、透明導電膜３が形成された透明導電膜３の形成面内に、前記透明導電膜が形成されていない非形成部３ａが複数形成され、これにより透明導電膜の見かけ抵抗を上昇させ、電流の流れと発生するジュール熱とを制御することで面内温度分布を制御する。 （もっと読む）

【課題】載置面の中心部から外周部にかけて単調に温度変化するような温度分布を得ることが可能なセラミックスヒータを提供する。
【解決手段】セラミックスヒータ１は、載置面Ｓに被加熱物Ｗが載置されるセラミックス基板２と、セラミックス基板２に埋設された内側発熱抵抗体Ｑ１と、内側発熱抵抗体Ｑ１の外側にてセラミックス基板２に埋設された外側発熱抵抗体Ｑ２と、発熱抵抗体Ｑ１，Ｑ２とに供給する電力を独立して制御可能な制御部とを備える。セラミックス基板２の上面の中心点Ｏから外端までの距離をＲとしたとき、内側発熱抵抗体Ｑ１は、上面視で中心点Ｏを中心とした０〜０．５Ｒの領域内に配置され、外側発熱抵抗体Ｑ２は、上面視で中心点Ｏを中心とした０．８Ｒ〜Ｒの領域内に配置される。 （もっと読む）

【課題】低コスト、製造の容易さ、重量の減少、および効率の向上を図る。
【解決手段】加熱部材７２は導電回路を有する第一ポリマーフィルムを含み、導電回路は導電インク、第二ポリマーフィルム、及び/又は抵抗性又は導電性オーバーモールド材料を含み、第一ポリマーフィルムは成型品４６の表面に成型され、成型品４６は加湿器又は加湿器の構成品となり、インモールド加熱部材４１は第一ポリマーフィルム表面に導電回路を設けるステップと、ポリマーフィルムの非プリント面が金型に隣接するよう第一ポリマーフィルムを金型に置くステップと、第一ポリマーフィルムが成型品の少なくとも１つの表面に組み込まれるよう成型樹脂を挿入するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】短絡の発生を防止することができるセラミックヒータ及びそれを用いたガスセンサ素子を提供すること。
【解決手段】セラミックヒータは、通電により発熱する発熱部２１と発熱部２１に通電するための一対のリード部２２とを有するヒータパターン２をセラミック基板上に形成してなる。発熱部２１は、一対のリード部２２にそれぞれ接合される一対の発熱接合端部２１１を有する。各リード部２２は、発熱部２１の発熱接合端部２１１に接合されるリード接合端部２２１を有する。発熱部２１とリード部２２とは、発熱接合端部２１１上にリード接合端部２２１を重ね合わせることによって接合されている。リード部２２のリード接合端部２２の幅Ｂは、発熱部２１の発熱接合端部２１１の幅Ａよりも小さい。 （もっと読む）

【課題】本体基材とヒータパターンとの間の電流リークが発生しない新規なポスト型セラミックスヒータ構造を提供する。
【解決手段】表面側に端子ボルト挿入穴１１２、裏面側にポスト収容凹部１１３が形成されたヒータ本体１１を準備し、このヒータ本体の周囲および端子ボルト挿入穴とポスト収容凹部の内面をベースコート１１４で絶縁した後、端子ボルト挿入穴に端子ボルト１３を挿入し、ポスト収容凹部に収容したポスト上端の雌ネジ１２１に端子ボルトを螺合させることにより該端子ボルトを介してヒータ本体にポストを連結固定する。次いで、端子ボルトの頭部をヒータ本体の表面と面一になるように切除し、この端子ボルトの切除頭部を含むヒータ本体表面に導電性材料による被膜を形成し、この導電膜を部分的に切除してヒータパターン１４を形成し、さらに露出部全面をオーバーコート１６で絶縁して、ポスト型セラミックスヒータ１０を得る。 （もっと読む）

【課題】静電チャック装置の載置面に単に載置するだけで、製品となる半導体ウエハそのものを使用することなく、静電チャック装置の載置面の面内温度分布や昇温特性や降温時における冷却特性を容易に最適化することが可能な温度測定用板状体及びそれを備えた温度測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の温度測定用ウエハ（温度測定用板状体）１は、ウエハ２の表面２ａ全面に絶縁性接着剤３が貼着され、この絶縁性接着剤３上にヒーターエレメント４が設けられ、この絶縁性接着剤３の表面３ａ上のヒーターエレメント４を除く領域にウエハ２の表面２ａの温度を測定するための温度測定領域５が設けられ、これらヒーターエレメント４及び温度測定領域５は絶縁膜６により被覆されている。 （もっと読む）

【課題】面状発熱体に対して安定した給電を行う。
【解決手段】回転する無端状ベルトである定着スリーブ２１と、定着スリーブ２１の外周側に該定着スリーブ２１を押圧可能に配置される加圧ローラ３１と、定着スリーブ２１の内周側に配置され、加圧ローラ３１の押圧により定着スリーブ２１を介して該加圧ローラ３１と当接してニップ部を形成する当接部材２６と、定着スリーブ２１の内周側に配置され、該定着スリーブ２１を加熱する抵抗発熱層２２ｂを有した面状発熱体２２と、を備え、面状発熱体２２は、その端子部２２ｔを抵抗発熱層２２ｂの長手方向幅外に有し、面状発熱体２２の端子部２２ｔと、面状発熱体２２に給電する電源３０に接続される給電線２５の端子部２５ｔとを、導電性弾性体２４を介して接続する。 （もっと読む）

【課題】 抵抗発熱体に高い電圧を印加しても、温度均一性を犠牲にすることなく、抵抗発熱体の周囲の絶縁性を良好に維持できる基板保持体を提供する。
【解決手段】 半導体基板Ｗの載置面１ａとは反対側の面もしくは内部に半導体基板Ｗの加熱用の抵抗発熱体２を備えた基板保持体１であって、抵抗発熱体２は円弧状パターン２１ａおよび折り返しパターン２１ｂを交互に接続して構成される同心円状部分２１と、同心円状部分２１を構成する複数の折り返しパターン２１ｂのうち、互いに向かい合う折り返しパターン２１ｂ同士の間の領域に延在する直線状部分２２とからなり、抵抗発熱体２に給電するための１対の給電端子３が同心円状部分２１に接続されている （もっと読む）

【課題】温度分布の制御精度の向上を図ることができるセラミックスヒータを提供する。
【解決手段】本発明のセラミックスヒータ１によれば、各発熱抵抗体Ｑｋ（ｋ＝１〜５）から発せられた熱を、セラミックス基板２から伝熱面としての接合界面Ｓｊ（ｊ＝１〜３）を通過させた上で、セラミックス支持部材４の低温箇所に流れ込ませることができる。セラミックス基板とセラミックス支持部材との接合界面Ｓｊは、セラミックス基板２の載置面Ｓに対して垂直な軸線を取り囲むとともに、当該軸線に対して垂直な方向に離散的に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 常温のみならず高温においても体積抵抗率を高い値に維持することができる窒化アルミニウム焼結体、及び該窒化アルミニウム焼結体を少なくとも部分的に用いた半導体製造装置用又は検査装置用のウエハ保持体を提供する。
【解決手段】 カーボンナノチューブを内部に含んだ窒化アルミニウム粒子からなる窒化アルミニウム焼結体であって、その常温及び５００℃における体積抵抗率がそれぞれ１.０×１０^１３Ω・ｃｍ以上及び１.０×１０^８Ω・ｃｍ以上である。 （もっと読む）

【課題】商用電源に応じて抵抗値を切り替え可能な画像加熱装置において、信頼性の高いヒータおよび該ヒータを備えた画像加熱装置を提供する。
【解決手段】第１の導電経路で発熱抵抗体を長手方向に沿って基板の短手方向の両端側に位置させ、第２の導電経路で発熱抵抗体を第１の導電経路に挟まれる短手方向の中間に位置させ、発熱抵抗体の抵抗温度係数を第２の導電経路の方が第１の導電経路より大きくする。 （もっと読む）

【課題】 搭載されるウエハに対して温度分布を均一にすることができ、かつ剛性に優れたウエハ加熱用ヒータを提供する。
【解決手段】 ウエハを載置する載置面１ａを備えたウエハ載置台１と、ウエハ載置台１を加熱する発熱体２とを有するウエハ加熱用ヒータ１０であって、ウエハ載置台１は、熱伝導率が２５０Ｗ／ｍＫ以上、ヤング率が２００ＧＰａ以上の金属−セラミックス複合体からなる。この金属−セラミックス複合体は、Ｍｇ又はＭｇ合金からなる金属と、ＳｉＣからなるセラミックスとの複合体であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】熱電導率が異なる材料を複合化することにより、ヒータの温度分布を改善するシャフト付きヒータユニットを提供する。
【解決手段】本発明は、被加熱物を載置して加熱するヒータプレート１と、ヒータプレート１を支持するシャフト部２を有するシャフト付きヒータユニット１００であって、シャフト部２は、シャフト部２を構成する材料粉末を、加熱した圧縮ガスにより該材料粉末の融点より低い温度でヒータプレート１に吹き付けることにより形成されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スケールの生成付着を抑制でき、高寿命の熱交換器を提供する。
【解決手段】熱交換器１０は、下部のヘッダ部４５はヘッダ部主流路４５ａと、流路断面積が徐々に狭くなるヘッダ部絞り流路４５ｂが流路スペース２５に開口された構成にすることによって、ヘッダ部絞り流路４５ｂでの流速が先に行くほど次第に速くなり、気泡が途中に取り残されることがなくスムーズに流出され、泡により流れが偏流して、伝熱面の一様な熱交換が阻害されることを防止でき、安定した熱交換が可能で高寿命の熱交換器を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】ポリカーボネート、アクリル、ＡＢＳのような熱膨張率が大きくて熱伝導率が低い合成樹脂基板に面状発熱体を形成する。
【解決手段】透明な合成樹脂基板４と、この合成樹脂基板４の表面に金属ナノ粉末をランダムな網目状パターンに形成された透明性を有する導電層２および透明で柔軟性を有する高分子ウレタン系樹脂層３を併存させた層と、上記導電層２の端部に形成された一対の通電電極５とにより面状発熱体を形成する。合成樹脂基板４が平面でも三次元曲面であっても、この面状発熱体を適用する。 （もっと読む）

【課題】誘電層の厚みのバラツキを小さく抑える。
【解決手段】静電チャックの製法として、（ａ）成形型にセラミック粉体、溶媒、分散剤及びゲル化剤を含むセラミックスラリーを投入し、その成形型内でゲル化剤を化学反応させてスラリーをゲル化させたあと離型することにより、第１及び第２のセラミック成形体１１、１２を得る工程と、（ｂ）第１及び第２のセラミック成形体を乾燥したあと脱脂し、更に仮焼することにより、第１及び第２のセラミック仮焼体を得る工程と、（ｃ）第１及び第２のセラミック仮焼体のいずれか一方の表面に静電電極用ペースト１４を印刷して静電電極とする工程と、（ｄ）静電電極を挟み込むようにして第１及び第２のセラミック仮焼体を重ね合わせた状態でホットプレス焼成する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】グラフェンを積層したときに光透過率の低下を緩和したり、１層のグラフェンの光透過率の上限よりも高い光透過率を得たりすることの可能な透明導電膜、ならびにそれを備えたヒータ、タッチパネル、太陽電池、有機ＥＬ装置、液晶装置および電子ペーパを提供する。
【解決手段】透明導電膜は、単層の導電性グラフェンシートを備えている。単層の導電性グラフェンシートは、グラフェンからなる第１領域と、第１領域で囲まれるとともに第１領域よりも光透過率の高い第２領域とを含んで構成されている。 （もっと読む）

【課題】 非通紙部昇温抑制効果のある長手分割搬送方向通電ヒータにおいて、スタンバイ加熱や長時間の加熱を要せずとも端部定着不良の無いヒータを提供する。
【解決手段】 通電により発熱する正の抵抗温度特性を有する発熱抵抗体が基板長手方向において複数に分割し、分割した複数の発熱抵抗体は電気的に直列に接続したヒータにおいて、少なくとも基板長手方向両端部における発熱抵抗体の抵抗が中央部よりも高くする。 （もっと読む）

【課題】流動するガスを効率よく加熱することができるとともに、熱分解させることができ、さらに、単独であるいは他のガス分解装置と組み合わせて用いることができる多孔質発熱素子、多孔質発熱素子の製造方法及びガス分解素子を提供する。
【解決手段】連続気孔１ｂを有するとともに通電することにより発熱する多孔質発熱体１を有する多孔質発熱部２と、多孔質導電体１３を有するとともに上記多孔質発熱部２に給電する多孔質導電部３，４とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】目障りにならず、低電圧において発熱性能に優れ、光の回折と干渉を最小化することができるパターンを含む発熱体およびその製造方法に関する。
【解決手段】透明基材、前記透明基材の少なくとも一面に備えられた導電性発熱線、前記導電性発熱線と電気的に連結されたバスバー、および前記バスバーと連結された電源部を含む発熱体であって、前記透明基材の全体面積の３０％以上が、分布が連続的な閉鎖図形からなり、前記閉鎖図形の面積の平均値に対する標準偏差の比率（面積分布比率）が２％以上である導電性発熱線パターンを有することを特徴とする発熱体およびその製造方法を提供する。 （もっと読む）