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Fターム[3K092RF11]の内容

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【課題】載置面の中心部から外周部にかけて単調に温度変化するような温度分布を得ることが可能なセラミックスヒータを提供する。
【解決手段】セラミックスヒータ1は、載置面Sに被加熱物Wが載置されるセラミックス基板2と、セラミックス基板2に埋設された内側発熱抵抗体Q1と、内側発熱抵抗体Q1の外側にてセラミックス基板2に埋設された外側発熱抵抗体Q2と、発熱抵抗体Q1,Q2とに供給する電力を独立して制御可能な制御部とを備える。セラミックス基板2の上面の中心点Oから外端までの距離をRとしたとき、内側発熱抵抗体Q1は、上面視で中心点Oを中心とした0〜0.5Rの領域内に配置され、外側発熱抵抗体Q2は、上面視で中心点Oを中心とした0.8R〜Rの領域内に配置される。 (もっと読む)


【課題】短絡の発生を防止することができるセラミックヒータ及びそれを用いたガスセンサ素子を提供すること。
【解決手段】セラミックヒータは、通電により発熱する発熱部21と発熱部21に通電するための一対のリード部22とを有するヒータパターン2をセラミック基板上に形成してなる。発熱部21は、一対のリード部22にそれぞれ接合される一対の発熱接合端部211を有する。各リード部22は、発熱部21の発熱接合端部211に接合されるリード接合端部221を有する。発熱部21とリード部22とは、発熱接合端部211上にリード接合端部221を重ね合わせることによって接合されている。リード部22のリード接合端部22の幅Bは、発熱部21の発熱接合端部211の幅Aよりも小さい。 (もっと読む)


【課題】本体基材とヒータパターンとの間の電流リークが発生しない新規なポスト型セラミックスヒータ構造を提供する。
【解決手段】表面側に端子ボルト挿入穴112、裏面側にポスト収容凹部113が形成されたヒータ本体11を準備し、このヒータ本体の周囲および端子ボルト挿入穴とポスト収容凹部の内面をベースコート114で絶縁した後、端子ボルト挿入穴に端子ボルト13を挿入し、ポスト収容凹部に収容したポスト上端の雌ネジ121に端子ボルトを螺合させることにより該端子ボルトを介してヒータ本体にポストを連結固定する。次いで、端子ボルトの頭部をヒータ本体の表面と面一になるように切除し、この端子ボルトの切除頭部を含むヒータ本体表面に導電性材料による被膜を形成し、この導電膜を部分的に切除してヒータパターン14を形成し、さらに露出部全面をオーバーコート16で絶縁して、ポスト型セラミックスヒータ10を得る。 (もっと読む)


【課題】静電チャック装置の載置面に単に載置するだけで、製品となる半導体ウエハそのものを使用することなく、静電チャック装置の載置面の面内温度分布や昇温特性や降温時における冷却特性を容易に最適化することが可能な温度測定用板状体及びそれを備えた温度測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の温度測定用ウエハ(温度測定用板状体)1は、ウエハ2の表面2a全面に絶縁性接着剤3が貼着され、この絶縁性接着剤3上にヒーターエレメント4が設けられ、この絶縁性接着剤3の表面3a上のヒーターエレメント4を除く領域にウエハ2の表面2aの温度を測定するための温度測定領域5が設けられ、これらヒーターエレメント4及び温度測定領域5は絶縁膜6により被覆されている。 (もっと読む)


【課題】電場によって発生する高調波電流の振幅を低減することを容易にする加熱システムを提供する。
【解決手段】ヒーター106は、加熱素子の温度に関して非線形に変化する抵抗を有する少なくとも1つの加熱素子200を含み、第1の表面208と、第1の表面208の反対側の第2の表面と、第1の表面208と第2の表面との間に延びる第3の表面212と、第1の表面208と第2の表面との間に延び、第3の表面212の反対側である第4の表面とを含み、加熱素子200は、第1の表面208と第2の表面との間で規定される高さ、および第3の表面212と第4の表面との間で規定される幅を有し、幅は、高さよりも小さく、ヒーター106は、第1の表面208に結合され、加熱素子200において電場を生成しかつ電流を加熱素子200を通って流すように構成される少なくとも1つの電極204も含む。 (もっと読む)


【課題】 抵抗発熱体に高い電圧を印加しても、温度均一性を犠牲にすることなく、抵抗発熱体の周囲の絶縁性を良好に維持できる基板保持体を提供する。
【解決手段】 半導体基板Wの載置面1aとは反対側の面もしくは内部に半導体基板Wの加熱用の抵抗発熱体2を備えた基板保持体1であって、抵抗発熱体2は円弧状パターン21aおよび折り返しパターン21bを交互に接続して構成される同心円状部分21と、同心円状部分21を構成する複数の折り返しパターン21bのうち、互いに向かい合う折り返しパターン21b同士の間の領域に延在する直線状部分22とからなり、抵抗発熱体2に給電するための1対の給電端子3が同心円状部分21に接続されている (もっと読む)


【課題】サイズが小さな場合であっても、潤滑系流体を過度に加熱することなく潤滑系流体の温度を速やかに上げることが可能なヒーターを提供する。
【解決手段】セラミックスを主成分として通電により発熱する隔壁7と隔壁7に区画形成されて一方の端部9aから他方の端部9bまで貫通して潤滑系流体の流路となる複数のセル5とを有するハニカム構造部6と、ハニカム構造部6に接触してハニカム構造部6の隔壁7を通電させるための陽極4aおよび陰極4bとなる一対の電極4と、を備えるヒーター1。 (もっと読む)


【課題】温度分布の制御精度の向上を図ることができるセラミックスヒータを提供する。
【解決手段】本発明のセラミックスヒータ1によれば、各発熱抵抗体Qk(k=1〜5)から発せられた熱を、セラミックス基板2から伝熱面としての接合界面Sj(j=1〜3)を通過させた上で、セラミックス支持部材4の低温箇所に流れ込ませることができる。セラミックス基板とセラミックス支持部材との接合界面Sjは、セラミックス基板2の載置面Sに対して垂直な軸線を取り囲むとともに、当該軸線に対して垂直な方向に離散的に配置されている。 (もっと読む)


【課題】機械的強度が高く、かつ、通電発熱性を有し、抵抗発熱体として好適に使用可能であること。
【解決手段】多孔質焼結体1は、アルミニウム粉2と、黒鉛粉3と、陶磁器用の粘土粉4と、木粉5と、これら原料が比重の違いによって移動が生じない量の水及び/またはバインダ6とを混合してなる焼結原料混合物7を圧力を加えて成形し、1000℃〜1200℃の範囲内で焼結して5%〜50%の範囲内の空隙を有する成型体としてなる通電によって成型体が発熱するものである。 (もっと読む)


【課題】 搭載されるウエハに対して温度分布を均一にすることができ、かつ剛性に優れたウエハ加熱用ヒータを提供する。
【解決手段】 ウエハを載置する載置面1aを備えたウエハ載置台1と、ウエハ載置台1を加熱する発熱体2とを有するウエハ加熱用ヒータ10であって、ウエハ載置台1は、熱伝導率が250W/mK以上、ヤング率が200GPa以上の金属−セラミックス複合体からなる。この金属−セラミックス複合体は、Mg又はMg合金からなる金属と、SiCからなるセラミックスとの複合体であることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】熱電導率が異なる材料を複合化することにより、ヒータの温度分布を改善するシャフト付きヒータユニットを提供する。
【解決手段】本発明は、被加熱物を載置して加熱するヒータプレート1と、ヒータプレート1を支持するシャフト部2を有するシャフト付きヒータユニット100であって、シャフト部2は、シャフト部2を構成する材料粉末を、加熱した圧縮ガスにより該材料粉末の融点より低い温度でヒータプレート1に吹き付けることにより形成されたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】セラミック原料を焼結してなる基板に低温焼成のために希土類元素でなる発熱線を印刷し、これにグリーンシートを密着させて接合した二枚のシートを大気中で低温焼成工程で焼結することで、優れた物性を持つセラミック発熱体をより容易に製造することである。
【解決手段】セラミック原料を焼結してセラミック基板10を製作し、前記セラミック基板10に通電用貫通孔12を形成する第1段階;前記セラミック基板10に低温焼成用ペーストをスクリーン印刷して発熱線14を形成する第2段階;前記貫通孔12に対して銀ペーストをスクリーン印刷して電極16を形成する第3段階;前記セラミック基板10の発熱線14形成面に対してグリーンシート18を加熱及び加圧して接合する第4段階;接合された前記セラミック基板10と前記グリーンシート18を低温焼成して基板本体20を製作する第5段階;及び前記基板本体20の電極16に溶加剤を介してリードワイヤ22を大気中に露出された状態でろう付けする第6段階を含む。 (もっと読む)


【課題】スケールの生成付着を抑制でき、高寿命の熱交換器を提供する。
【解決手段】熱交換器10は、下部のヘッダ部45はヘッダ部主流路45aと、流路断面積が徐々に狭くなるヘッダ部絞り流路45bが流路スペース25に開口された構成にすることによって、ヘッダ部絞り流路45bでの流速が先に行くほど次第に速くなり、気泡が途中に取り残されることがなくスムーズに流出され、泡により流れが偏流して、伝熱面の一様な熱交換が阻害されることを防止でき、安定した熱交換が可能で高寿命の熱交換器を提供することができる。 (もっと読む)


【課題】誘電層の厚みのバラツキを小さく抑える。
【解決手段】静電チャックの製法として、(a)成形型にセラミック粉体、溶媒、分散剤及びゲル化剤を含むセラミックスラリーを投入し、その成形型内でゲル化剤を化学反応させてスラリーをゲル化させたあと離型することにより、第1及び第2のセラミック成形体11、12を得る工程と、(b)第1及び第2のセラミック成形体を乾燥したあと脱脂し、更に仮焼することにより、第1及び第2のセラミック仮焼体を得る工程と、(c)第1及び第2のセラミック仮焼体のいずれか一方の表面に静電電極用ペースト14を印刷して静電電極とする工程と、(d)静電電極を挟み込むようにして第1及び第2のセラミック仮焼体を重ね合わせた状態でホットプレス焼成する工程と、を含む。 (もっと読む)


【課題】 燃料点火時のセラミックヒータの温度を比較的低温に設定しても、ガスなどの燃料を確実に着火でき、耐久性が向上し長寿命のヒータを提供する。
【解決手段】 本発明のヒータは、絶縁基体2と、絶縁基体2の内部に埋設された抵抗体3とを含み、絶縁基体2の側面に凹凸7が設けられていることを特徴とする。これにより、ガスの流れに対して主面が垂直に側面が平行となるようにヒータを配置したときに、ヒータの側面付近を通過するガスの流れが乱され、ヒータの裏面までガスが流れ込み、ガスとヒータとの接触時間が長くなる。したがって、ヒータの温度を低く設定でき、ヒータの寿命を延ばすことができる。また、ガスに対して抗力が大きくなり、発生した乱流によってガスと空気が混合されて着火しやすくなり、ガスの使用量を減らすこともできる。 (もっと読む)


【課題】高精度で安価にシャフトの中空部より外側での載置板の測温が可能となり、載置板とシャフトが一体的に接合されたセラミックスヒータを提供する。
【解決手段】セラミックスヒータ1は、上面に被加熱物が載置され、セラミックスからなる載置板2と、載置板2の内部に埋設された複数の発熱抵抗体3A,3Bと、載置板2の下面に接合され、セラミックスからなる中空のシャフト5と、複数の発熱抵抗体3A,3Bの下方に配置された熱電対4A,4Bとを備える。熱電対4Bは、載置板2の下面に形成され、載置板2及びシャフト5で覆われた溝2dの内部に配置されている。 (もっと読む)


【課題】
均熱性に優れ、かつ、小型化に対応可能なセラミックヒータを提供する。
【解決手段】
セラミック基材と、セラミック基材2上に形成された抵抗発熱体3と、その上に抵抗発熱体3を覆うように形成されたセラミック被覆層14からなるセラミックヒータにおいて、セラミック被覆層14には、同一材料からなる高密度層14aと高密度層14aに対してセラミック基材2から遠い側に位置する低密度層14bとが少なくとも一組設けられている。 (もっと読む)


【課題】本発明は、電気加熱型触媒に係り、セラミック担体を通電加熱するうえでセラミック担体内部の温度分布の均一化を図ることにある。
【解決手段】セラミック担体と、セラミック担体の表面上に配設される表面電極と、3個以上の歯が互いに平行に並んでそれぞれ表面電極に接続される櫛歯部を有する金属電極と、を備えた電気加熱型触媒において、櫛歯部を、中央寄りの歯の電気抵抗に比べて端部寄りの歯の電気抵抗が低くなるように形成する。具体的には、金属電極を、中央寄りの櫛部の断面積に比べて端部寄りの櫛部の断面積が大きくなるように形成する。 (もっと読む)


【課題】焼結の際に内部に埋設された耐熱性金属材料の炭化を抑制して、耐熱性金属材料の導電性の低下を防止するセラミックス焼結体の製造方法、セラミックス焼結体およびセラミックスヒータを提供する。
【解決手段】 本発明のセラミックス焼結体は、耐熱性金属材料2と、耐熱性金属材料2の表面に形成され、金属炭化物の標準生成自由エネルギーが耐熱性金属材料2よりも小さい金属材料からなる金属皮膜と、金属皮膜が形成された耐熱性金属材料2をセラミックス基体の原材料である粉体中の所定の位置に配設し、加圧成型されたセラミックス成型体と、を備えるプレセラミックスを焼結して形成され、前記焼結時に金属皮膜が炭化されて金属炭化物皮膜4が形成されている。 (もっと読む)


【課題】非通紙部昇温の低減と、加熱体制御系の故障などにより発生する熱暴走を抑止できるようにする
【解決手段】基板7と、前記基板の基板面上に前記基板の長手方向に沿って設けられた正の抵抗温度特性を有する発熱抵抗体6と、前記基板の基板面上に前記基板の長手方向に沿って設けられた負の抵抗温度特性を有する発熱抵抗体15と、を有する加熱体3において、正の抵抗温度特性を有する前記発熱抵抗体と負の抵抗温度特性を有する前記発熱抵抗体は電気的に直列に接続されており、前記基板の短手方向において、正の抵抗温度特性を有する前記発熱抵抗体と負の抵抗温度特性を有する前記発熱抵抗体が重なる領域を有し、かつ前記基板の長手方向において、正の抵抗温度特性を有する前記発熱抵抗体が、負の抵抗温度特性を有する前記発熱抵抗体よりも短いことを特徴とする。 (もっと読む)


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