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Fターム[3K092SS12]の内容

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Fターム[3K092SS12]に分類される特許

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【課題】部材の貼り付け工数を減らすことができ、暖房便座の生産性の向上、コストの低減を図ることができる暖房便座を提供する。
【解決手段】着座面16aを有する便座と、着座面16aに配置された透明性の便座ヒータとを備え、便座ヒータは500μm以下の細線構造物54を有し、細線構造物54の伝熱係数κが100W/m・K以上であり、細線構造物54の開口60には伝熱係数κが10〜150W/m・Kの材料が存在する。 (もっと読む)


【課題】 常温のみならず高温においても体積抵抗率を高い値に維持することができる窒化アルミニウム焼結体、及び該窒化アルミニウム焼結体を少なくとも部分的に用いた半導体製造装置用又は検査装置用のウエハ保持体を提供する。
【解決手段】 カーボンナノチューブを内部に含んだ窒化アルミニウム粒子からなる窒化アルミニウム焼結体であって、その常温及び500℃における体積抵抗率がそれぞれ1.0×1013Ω・cm以上及び1.0×10Ω・cm以上である。 (もっと読む)


【課題】 搭載されるウエハに対して温度分布を均一にすることができ、かつ剛性に優れたウエハ加熱用ヒータを提供する。
【解決手段】 ウエハを載置する載置面1aを備えたウエハ載置台1と、ウエハ載置台1を加熱する発熱体2とを有するウエハ加熱用ヒータ10であって、ウエハ載置台1は、熱伝導率が250W/mK以上、ヤング率が200GPa以上の金属−セラミックス複合体からなる。この金属−セラミックス複合体は、Mg又はMg合金からなる金属と、SiCからなるセラミックスとの複合体であることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】熱電導率が異なる材料を複合化することにより、ヒータの温度分布を改善するシャフト付きヒータユニットを提供する。
【解決手段】本発明は、被加熱物を載置して加熱するヒータプレート1と、ヒータプレート1を支持するシャフト部2を有するシャフト付きヒータユニット100であって、シャフト部2は、シャフト部2を構成する材料粉末を、加熱した圧縮ガスにより該材料粉末の融点より低い温度でヒータプレート1に吹き付けることにより形成されたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】生産性・加工性に優れ、安全且つ高効率に均一加熱を行うことができる加熱器並びに設置工事が容易で高効率に均一加熱を行うことが可能な床暖房用パネルを提供する。
【解決手段】可撓性を有する保護管13の内部に、外周面が被覆材12で覆われた単線状又は撚り線状の発熱体11を挿入し、前記被覆材12と前記保護管13内面との間隙に砂14を充填する。また、基材21の上面に溝27を形成し、前記加熱器10を前記溝27に装着し、更にその上に熱伝導シート24を接着して床暖房用パネル20を構成する。これにより、加熱器10は、生産性に優れ、曲げ加工を容易に行うことができ、且つ効率的に均一加熱を行うことができる。また、床暖房用パネル20は、熱源機や温水配管が不要で設置工事が容易に行えると共に、温水循環式床暖房に比べて暖房時の床面の温度むらを少なくすることができる。 (もっと読む)


【課題】熱損失を小さくしつつ、柔軟性を確保することができるヒータ付座席を提供する。
【解決手段】ヒータ付座席10は、異方性熱伝導シート31を構成する積層部41が表皮21の内側に積層されて、表皮21とクッション部材23との間に設けられる。異方性熱伝導シート31は柔軟性を有するので、乗員が着座したとき表皮21の内側には柔軟性を有する積層部41によって座り心地を損なうことを抑制することができる。また異方性熱伝導シート31を構成する接触部42は、積層部41における表皮21に積層されている厚み方向一方側の面に連なる発熱面31aが、発熱体32と接触する。異方性熱伝導シート31は、厚み方向への熱伝導率よりも平面方向への熱伝導率が大きい。 (もっと読む)


【課題】熱電導率が異なる材料を複合化することにより、ヒータの温度分布を改善するシャフト付きヒータユニットを提供する。
【解決手段】ヒータプレート1と、ヒータプレート1を支持するシャフト部2を有するシャフト付きヒータユニット100であって、ヒータプレート1は、シャフト部2と接合される平板状のベース部3と、ベース部3の外周部上に配置される第1プレート部4と、第1プレート部4を構成する材料より熱伝導率が高い材料から選択され、第1プレート部4の内周側を埋めるように配置される第2プレート部5と、を備え、第1プレート部4と第2プレート部5は、コールドスプレー法により、ベース部3上に積層される。 (もっと読む)


【課題】 長手方向にスリットを有する円筒状の面状ヒータが、円筒状の断熱材の内部に脱着可能に備えられた配管用の加熱装置であって、面状ヒータの折れ曲がり、振動等による配管からの脱落を防止できる加熱装置を提供する。
【解決手段】 長手方向にスリットを有する円筒状の面状ヒータの外側表面に、円周方向に対して弾力性を有する金属板及び/または耐熱性樹脂板が取付けられてなる配管の加熱装置とする。前記の金属板及び/または耐熱性樹脂板は、例えば、円筒状の面状ヒータの縁に沿った形状、円弧形状を有するものである。 (もっと読む)


【課題】調理プレートの熱伝導性を向上するとともに、軽量化することができる調理プレートを提供。
【解決手段】被調理物を調理するための調理プレート40と、前記調理プレート40を加熱する加熱手段30と、温度調節器31を有する加熱調理器であって、前記調理プレート40は、アルミニウムまたはアルミニウム合金製であり、前記調理プレートの加熱領域Sには、前記アルミニウムまたはアルミニウム合金より熱伝導率の大きい部材を設け、前記熱伝導率の大きい部材は、複数の中抜きを有する構成。 (もっと読む)



【課題】便座と発熱線とを確実に絶縁しつつ、便座を迅速に昇温させ、確実に絶縁破壊検知することができるヒータユニットおよびそれを用いた便座装置を提供する。
【解決手段】線状ヒータ460は発熱線463aおよびエナメル層463bにより構成されるエナメル線463からなる。便座ケーシング410の裏面の耐熱塗装絶縁層414と粘着層452aとの間には便座側絶縁層455が設けられる。線状ヒータ460は例えばアルミニウムからなる金属箔451と金属箔453との間に挟み込まれるように上部便座ケーシング410の下面に貼着される。発熱線463aで発生された熱が、発熱線463aの外周の絶縁層462を介して金属箔に伝達される。そして発熱線の外周の絶縁層の絶縁破壊が生じた場合でも、金属箔451,453の外周に防水絶縁層470を備えた構成であるため、発熱線とヒータユニット外側との絶縁を確実にする。 (もっと読む)


【課題】調理プレートを広範囲にわたって均一且つ迅速に調理可能な温度に昇温して該温度に保持する加熱調理器を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は上記目的を達成するために、加熱体上に調理プレート2が配置された加熱調理器1において、前記加熱体と調理プレート2との間に、面方向の熱伝導率が鉛直方向の熱伝導率の2桁倍の熱伝導異方性を持つグラファイトシートを充填した加熱調理器を提供するものである。 (もっと読む)


【課題】 ウエハ載置面における均熱性に優れている上に急速昇温および急速冷却が可能であり、且つ高い剛性を備えた加熱冷却デバイスを提供する。
【解決手段】 ヒータ10と可動式冷却モジュール20とを備えた加熱冷却デバイス1であって、ヒータ10は、ウエハ載置面11aを有し金属からなる第1均熱板11と、第1均熱板11を支持しセラミックスなどからなる第2均熱板12と、これら均熱板11、12の間に設けられた抵抗発熱体13とを有している。均熱板11、12の熱伝導率をK1、K2、ヤング率をY1、Y2としたとき、K1>K2、Y2>Y1であり、均熱板11、12の厚みの合計は第1均熱板11の直径の1/40以下である。抵抗発熱体13はポリイミドなどの耐熱性絶縁物13bによって一体化されており、その厚みは0.5mm以下である。 (もっと読む)


【課題】セラミック基板厚を薄くした場合でも、セラミック基板の反りを抑制する。
【解決手段】長尺平板状の熱伝導率の高いSi製のセラミック基板11の長手方向に平行してAgとPd合金を主成分とする発熱抵抗体12,13を形成する。発熱抵抗体12,13の一端には通電用の電極14,15を、他端には接続導体16を接続し、発熱抵抗体12,13を直列的に接続する。発熱抵抗体12,13それに接続導体16上を、熱膨張の異なる少なくとも2種のフィラーが添加されているSiO-ZnO系ガラスの第1のオーバーコート層17で覆い、この第1のオーバーコート層17上をSiO−B系の低熱膨張ガラスの第2のオーバーコート層18を積層する。これにより、セラミック基板11の厚みを薄くした場合でも反りを抑制でき、ヒータの立ち上がり時の昇温速度を早くでき、セラミックヒータ100のオン/オフ制御時間が短縮できる。 (もっと読む)


【課題】 昇降温特性を向上させ、高スループットを実現できる剛性の高い加熱ヒータを比較的安価に提供する。
【解決手段】本発明の加熱ヒータは、ウェハ載置面を有する第1の均熱板と、この第1の均熱板を支持する第2の均熱板と、第1の均熱板と第2の均熱板の間に抵抗発熱体を有し、この抵抗発熱体を第1の均熱板のウェハ載置面とは反対側の面に絶縁性の接着層によって一体化したことを特徴とする。このような構造とすることによって、変形や割れが発生することなく、高速昇降温させることができる加熱ヒータを提供することができる。 (もっと読む)


【課題】基板を効率的に加熱する基板加熱ユニット及びこれを含む基板処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の基板加熱ユニットは、抵抗発熱体から発生した熱を支持プレートに伝え、基板を加熱させる。支持プレートは、中心領域に比べてエッジ領域の厚さが厚い上部プレートと、該上部プレートに比べて熱伝導度が低い材質からなる下部プレートとを含む。上部プレートと下部プレートとの形状及び材質の差によって、支持プレートの中心領域よりエッジ領域で熱が速い速度で基板に到逹して基板の全体面が均一に加熱される。 (もっと読む)


【課題】 被処理物保持面の加工が安価で部品コストの低減を図ることができ、且つ被処理物保持面における均熱性に優れ、必要に応じて急速昇温及び急速冷却が可能な半導体製造装置用の保持体を提供する。
【解決手段】 抵抗発熱体7を有する板状でAlN等からなるセラミックスヒータ5の上に、被処理物9を保持するAl等からなる金属製保持部10を備えている。金属製保持部10内には、冷却媒体が中央付近から放射状に移動し、外周縁に排気されるように流路12が形成されている。この保持体10は、コータデベロッパでのフォトリソグラフィー用樹脂の加熱硬化又は半導体絶縁膜の加熱焼成に用いられる。 (もっと読む)


【課題】 均熱板にウエハを支持するウエハ加熱装置において、均熱板の載置面が凹状になると、中心付近で均熱板とウエハの間のギャップが大きくなるので、特に、均熱板の温度設定を変更したり、ウエハを交換したりした際の昇温過渡時に中心部の加熱が遅れ気味になり、その結果ウエハ面内の温度分布が大きくなるという課題があった。
【解決手段】 セラミックスからなる均熱板の一方の主面をウエハの載置面とし、他方の主面もしくは内部に発熱抵抗体を有するとともに、該発熱抵抗体と電気的に接続される給電部を前記他方の主面に具備してなるウエハ加熱装置において、前記均熱板の載置面を凸状にする。 (もっと読む)


【課題】金属製の筒体から成るとともに、その外周面上にロール層を形成し、前記金属製の筒体の内部に発熱体を配した加熱ロールにおいて、熱応答性を高めるとともに、熱の軸線方向の分布を均一にした加熱ロールを提供する。
【解決手段】中空の金属製の筒体10の内側に、カーボングラファイトシートを圧縮成形して成るとともに中心部に形成された挿通孔23にシーズヒータ17を挿入した熱伝達部材22を収納し、しかもシーズヒータ17の外周面と熱伝達部材22の挿通孔23の内周面との間の隙間をなくし、さらに熱伝達部材22の外周面と前記筒体10の内周面との間の隙間をなくし、上記シーズヒータ17からの熱を熱伝達部材22を介して金属筒体10に伝達し、上記金属筒体の軸線方向の温度分布を均一にしたものである。 (もっと読む)


【課題】 基板加熱構造体の発熱部およびサセプターおよびリフレクターの少なくともどれか1つに、面内方向で熱伝導調整部を設け、被加熱物を目的とする平面温度分布に加熱することを課題とする。
【解決手段】 被加熱物を加熱するための基板加熱構造体において、被加熱物の温度分布を均一にするため、発熱部の他に、サセプターもしくはリフレクターの少なくともどちらか1つを有し、発熱部およびサセプターおよびリフレクターの少なくともどれか1つに、面内方向で熱伝導調整部を設け、被加熱物を目的とする温度分布に加熱する基板加熱構造体である。 (もっと読む)


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