【課題】部材の貼り付け工数を減らすことができ、暖房便座の生産性の向上、コストの低減を図ることができる暖房便座を提供する。
【解決手段】着座面１６ａを有する便座と、着座面１６ａに配置された透明性の便座ヒータとを備え、便座ヒータは５００μｍ以下の細線構造物５４を有し、細線構造物５４の伝熱係数κが１００Ｗ／ｍ・Ｋ以上であり、細線構造物５４の開口６０には伝熱係数κが１０〜１５０Ｗ／ｍ・Ｋの材料が存在する。 （もっと読む）

【課題】ヒーターの消費電力を抑えて省エネルギー化を図ること。
【解決手段】ヒーター本体１の熱を効率良くパイプ１０へ伝導させるための熱伝導部材としてのアルミ台座２０を、ヒーター本体１とパイプ１０との間に介在させている。アルミ台座２０の装着部２１の円弧状の面がパイプ１０の外周面に全面にわたって接触し、アルミ台座２０の載置台２２の上面とヒーター本体１の底面とは略全面にわたって接触している。これにより、ヒーター本体１からの熱はアルミ台座２０を介してパイプ１０へ効率良く伝導させることができ、従来より小さなワット数のヒーター本体１で良い。 （もっと読む）

【課題】 搭載されるウエハに対して温度分布を均一にすることができ、かつ剛性に優れたウエハ加熱用ヒータを提供する。
【解決手段】 ウエハを載置する載置面１ａを備えたウエハ載置台１と、ウエハ載置台１を加熱する発熱体２とを有するウエハ加熱用ヒータ１０であって、ウエハ載置台１は、熱伝導率が２５０Ｗ／ｍＫ以上、ヤング率が２００ＧＰａ以上の金属−セラミックス複合体からなる。この金属−セラミックス複合体は、Ｍｇ又はＭｇ合金からなる金属と、ＳｉＣからなるセラミックスとの複合体であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＣヒータを構成する部材の腐食を防いで装置信頼性を高めるとともに、損失低減、コスト低減、重量低減を図ることのできる熱媒体加熱装置を提供する。
【解決手段】放熱板１３Ａ、１３Ｂの外周部をロウ付けや溶接により一体に接合するようにした。このように、ボルトレスの構成とし、熱媒体によってボルトが腐食することもなく、熱媒体加熱装置１０を構成する部材の腐食を防いで装置信頼性を高めるとともに、コスト低減、重量低減を図る。 （もっと読む）

【課題】 長手方向にスリットを有する円筒状の面状ヒータが、円筒状の断熱材の内部に脱着可能に備えられた配管用の加熱装置であって、面状ヒータの折れ曲がり、振動等による配管からの脱落を防止できる加熱装置を提供する。
【解決手段】 長手方向にスリットを有する円筒状の面状ヒータの外側表面に、円周方向に対して弾力性を有する金属板及び／または耐熱性樹脂板が取付けられてなる配管の加熱装置とする。前記の金属板及び／または耐熱性樹脂板は、例えば、円筒状の面状ヒータの縁に沿った形状、円弧形状を有するものである。 （もっと読む）

【課題】調理プレートの熱伝導性を向上するとともに、軽量化することができる調理プレートを提供。
【解決手段】被調理物を調理するための調理プレート４０と、前記調理プレート４０を加熱する加熱手段３０と、温度調節器３１を有する加熱調理器であって、前記調理プレート４０は、アルミニウムまたはアルミニウム合金製であり、前記調理プレートの加熱領域Ｓには、前記アルミニウムまたはアルミニウム合金より熱伝導率の大きい部材を設け、前記熱伝導率の大きい部材は、複数の中抜きを有する構成。 （もっと読む）

【課題】便座と発熱線とを確実に絶縁しつつ、便座を迅速に昇温させ、確実に絶縁破壊検知することができるヒータユニットおよびそれを用いた便座装置を提供する。
【解決手段】線状ヒータ４６０は発熱線４６３ａおよびエナメル層４６３ｂにより構成されるエナメル線４６３からなる。便座ケーシング４１０の裏面の耐熱塗装絶縁層４１４と粘着層４５２ａとの間には便座側絶縁層４５５が設けられる。線状ヒータ４６０は例えばアルミニウムからなる金属箔４５１と金属箔４５３との間に挟み込まれるように上部便座ケーシング４１０の下面に貼着される。発熱線４６３ａで発生された熱が、発熱線４６３ａの外周の絶縁層４６２を介して金属箔に伝達される。そして発熱線の外周の絶縁層の絶縁破壊が生じた場合でも、金属箔４５１，４５３の外周に防水絶縁層４７０を備えた構成であるため、発熱線とヒータユニット外側との絶縁を確実にする。 （もっと読む）

【課題】調理プレートを広範囲にわたって均一且つ迅速に調理可能な温度に昇温して該温度に保持する加熱調理器を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は上記目的を達成するために、加熱体上に調理プレート２が配置された加熱調理器１において、前記加熱体と調理プレート２との間に、面方向の熱伝導率が鉛直方向の熱伝導率の２桁倍の熱伝導異方性を持つグラファイトシートを充填した加熱調理器を提供するものである。 （もっと読む）

【課題】基板を効率的に加熱する基板加熱ユニット及びこれを含む基板処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の基板加熱ユニットは、抵抗発熱体から発生した熱を支持プレートに伝え、基板を加熱させる。支持プレートは、中心領域に比べてエッジ領域の厚さが厚い上部プレートと、該上部プレートに比べて熱伝導度が低い材質からなる下部プレートとを含む。上部プレートと下部プレートとの形状及び材質の差によって、支持プレートの中心領域よりエッジ領域で熱が速い速度で基板に到逹して基板の全体面が均一に加熱される。 （もっと読む）

【課題】 基板加熱構造体の発熱部およびサセプターおよびリフレクターの少なくともどれか１つに、面内方向で熱伝導調整部を設け、被加熱物を目的とする平面温度分布に加熱することを課題とする。
【解決手段】 被加熱物を加熱するための基板加熱構造体において、被加熱物の温度分布を均一にするため、発熱部の他に、サセプターもしくはリフレクターの少なくともどちらか１つを有し、発熱部およびサセプターおよびリフレクターの少なくともどれか１つに、面内方向で熱伝導調整部を設け、被加熱物を目的とする温度分布に加熱する基板加熱構造体である。 （もっと読む）

【課題】 ウエハの大口径化及び配線の微細化に伴って要望される高い均熱性及び信頼性を有するウエハ保持体を提供する。
【解決手段】 ウエハを載置して加熱する加熱体１１と、この加熱体１１をチャンバー内で支持する支持部材１５とからなる半導体製造装置用ウエハ保持体であって、加熱体１１は、そのウエハ載置面を複数の領域に分割して得られる各領域毎に、加熱体１１内に埋設されている発熱体１２ａ、１２ｂと、発熱体１２ａ、１２ｂに接続されている電極部１３ａ、１３ｂと、発熱体部１３ａ、１３ｂが埋設されている領域の温度を測定する温度測定素子部１４ａ、１４ｂとを有しており、支持部材１５は、電極部１３ａ、１３ｂと温度測定素子１４ａ、１４ｂとを全て内包し、且つウエハ載置面上に載置されるウエハを着脱するためのリフトピンを内包していない。 （もっと読む）

【課題】端子が嵌合する嵌合孔部が形成されている場合であっても、セラミックヒータを収容する筐体の大型化を抑制しつつ、加熱対象物全体を均一に加熱できるセラミックヒータを提供する。
【解決手段】本発明のセラミックヒータ１は、セラミックスにより形成されるセラミック体１０と、電源からの電流が供給される端子２０とを用いて、加熱対象物を加熱する。セラミック体１０は、本体部１１と、本体部１１に形成され、端子２０が嵌合する嵌合孔部１２と、本体部１１における加熱対象物に対向する側の表面１１Ａから加熱対象物に向けて盛り上がる隆起部（例えば、突出部１３）、又は、表面１１Ａから加熱対象物の逆側に向けてへこむ凹み部（例えば、穴部１５）のいずれか一方とを有する。隆起部又は凹み部は、嵌合孔部１２の近傍に設けられる。 （もっと読む）

【課題】 被加熱物の加熱時間が短縮でき、表面の温度分布を小さくできる、熱伝達性に優れたセラミックヒータを提供する。
【解決手段】 板状のセラミック体１の内部に発熱体２を有し、セラミック体１の主面に多数の無機質の粒子６が固着しているセラミックヒータ10である。セラミックヒータ10の主面の比表面積が多数の粒子６が固着していることによって増大し、被加熱物への熱伝達の効率がよくなり、加熱時間を短縮できる。また、セラミック体１の主面の温度分布を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】２００〜５００℃の温度範囲で、高速かつ高精度に基板温度を制御可能な基板ホルダを提供する。
【解決手段】ホルダ本体１Ａの基板保持側に静電チャック３を備え、基板１０を静電吸着する基板ホルダ１であって、静電チャック３に内蔵され、基板１０を加熱する加熱手段４と、ホルダ本体１Ａの内部に形成され、循環媒体１０１を循環供給する循環媒体供給手段２に接続された循環媒体流通経路１００と、ホルダ本体１Ａと静電チャック３との隙間に伝熱ガスを封止して形成され、封止圧力を調整可能な伝熱ガス供給系１１０に接続された熱伝達能可変手段６と、静電チャック３と基板１０との隙間に伝熱ガスを封止して形成され、伝熱ガス供給系１２０に接続されたガス封止手段８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】組み付け作業を容易に行うことができる構成の電気ヒータを提供する。
【解決手段】伝熱性を有する材料で構成された伝熱板２１に、複数の熱交換部３２と、隣り合う熱交換部３２の間にＰＴＣ素子が収納される収納部３３とを設ける。熱交換部３２は、伝熱板２１のうち面の向きが所定方向に平行かつ空気流れに対向する平板形状部２１ａに通風孔３１が設けられたものであり、収納部３３は、伝熱板２１の平板形状部２１ａを除く部分が平板形状部２１ａの面に対して略直交する方向に突出した溝形状をなす溝形状部２１ｂである。複数の熱交換部３２と複数の収納部３３とが一体化して１つの部品となっている伝熱板２１に対して、収納部３３のそれぞれに通電発熱素子が挿入されることで電気ヒータが形成される。 （もっと読む）

【課題】基板を加熱又は冷却する際に発生する過渡的な温度分布の拡がりを従来よりも小さくすることができる基板温度制御装置用ステージを提供する。
【解決手段】この基板温度制御装置用ステージは、基板の温度を制御する基板温度制御装置において所定の直径を有する基板を所定の位置に載置するために用いられるステージであって、基板に対向する第１の面において、基板の端縁に対応する位置を含む領域に中心部よりも低い段差部が形成されたプレートと、プレートの第１の面と反対側の第２の面に配置された温調部とを具備する。 （もっと読む）

【課題】ワークを短時間でかつ均一に加熱できる加熱装置を提供することを目的とする。
【解決手段】加熱装置１は、板状のワーク９を加熱するものであって、ワーク９が載置される加熱板２と、この加熱板２に入熱するヒータ３と、加熱板２に載置されたワーク９の上面に熱風を吹き付ける熱風発生装置４と、を備える。この加熱装置１において、加熱板２のうちワーク９と接する載置面２１は湾曲しており、加熱板２の中央部分は、加熱板の端部側に比べて高い。 （もっと読む）

【課題】 電気による給湯を効率的に行う給湯装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、帯状の発熱体を螺旋状に形成し、この螺旋状発熱体の長手方向両端から通電する面状発熱体１と、この面状発熱体１を収容し、該面状発熱体１の一方の側に給水口３１を設け、他方の側に給湯口３３を設けた収容体とを有して、面状発熱体１に通電して発熱させると共に給水口３１から冷水を取り込み該冷水を加熱して給湯口３３から吐出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】対象体に熱を伝達する熱伝達媒体及びこれを利用した熱伝達方法を提供する。
【解決手段】具体的に熱伝達媒体は、複数個のナノ粒子含有膜を含み、ナノ粒子が、膜に対して入射する光を吸収することで対象体に熱を伝達する。また、このような熱伝達媒体を利用した熱伝達方法は、複数個のナノ粒子を含むナノ粒子含有膜を形成する段階と、前記膜を光に露出させる段階と、及び前記ナノ粒子が入射された光を吸収することにより熱が生成され、この熱を対象体に伝達する段階とを含む。このとき、複数個のナノ粒子含有膜は、対象体に直接塗布してよく、中間層上に塗布してもよい。また、複数個のナノ粒子含有膜は、透明フィルム上に塗布し、これを対象体上に位置してマスクのように使用してもよい。 （もっと読む）