【課題】ヒーターの消費電力を抑えて省エネルギー化を図ること。
【解決手段】ヒーター本体１の熱を効率良くパイプ１０へ伝導させるための熱伝導部材としてのアルミ台座２０を、ヒーター本体１とパイプ１０との間に介在させている。アルミ台座２０の装着部２１の円弧状の面がパイプ１０の外周面に全面にわたって接触し、アルミ台座２０の載置台２２の上面とヒーター本体１の底面とは略全面にわたって接触している。これにより、ヒーター本体１からの熱はアルミ台座２０を介してパイプ１０へ効率良く伝導させることができ、従来より小さなワット数のヒーター本体１で良い。 （もっと読む）

【課題】 搭載されるウエハに対して温度分布を均一にすることができ、かつ剛性に優れたウエハ加熱用ヒータを提供する。
【解決手段】 ウエハを載置する載置面１ａを備えたウエハ載置台１と、ウエハ載置台１を加熱する発熱体２とを有するウエハ加熱用ヒータ１０であって、ウエハ載置台１は、熱伝導率が２５０Ｗ／ｍＫ以上、ヤング率が２００ＧＰａ以上の金属−セラミックス複合体からなる。この金属−セラミックス複合体は、Ｍｇ又はＭｇ合金からなる金属と、ＳｉＣからなるセラミックスとの複合体であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】調理プレートの熱伝導性を向上するとともに、軽量化することができる調理プレートを提供。
【解決手段】被調理物を調理するための調理プレート４０と、前記調理プレート４０を加熱する加熱手段３０と、温度調節器３１を有する加熱調理器であって、前記調理プレート４０は、アルミニウムまたはアルミニウム合金製であり、前記調理プレートの加熱領域Ｓには、前記アルミニウムまたはアルミニウム合金より熱伝導率の大きい部材を設け、前記熱伝導率の大きい部材は、複数の中抜きを有する構成。 （もっと読む）

【課題】断熱対象物の遮熱性能を向上するとともに、断熱対象物の均熱を図る。
【解決手段】対向する第１および第２の金属板１１Ａ，１１Ｂの間の内部空間１５にこれら金属板１１Ａ，１１Ｂより熱伝導率が小さいスペーサ（コア材１８Ａ〜１８Ｃまたは球状部材２３）を配設するとともに、内部空間１５を真空排気してなる真空断熱構造体において、第１および第２の金属板１１Ａ，１１Ｂのうち第１の金属板１１Ａとスペーサ（１８Ａ〜１８Ｃ，２３）との間だけに、第１の金属板１１Ａと接触し、この第１の金属板１１Ａより熱伝導率が高い熱伝導部材２０を配設する。 （もっと読む）

【課題】便座と発熱線とを確実に絶縁しつつ、便座を迅速に昇温させ、確実に絶縁破壊検知することができるヒータユニットおよびそれを用いた便座装置を提供する。
【解決手段】線状ヒータ４６０は発熱線４６３ａおよびエナメル層４６３ｂにより構成されるエナメル線４６３からなる。便座ケーシング４１０の裏面の耐熱塗装絶縁層４１４と粘着層４５２ａとの間には便座側絶縁層４５５が設けられる。線状ヒータ４６０は例えばアルミニウムからなる金属箔４５１と金属箔４５３との間に挟み込まれるように上部便座ケーシング４１０の下面に貼着される。発熱線４６３ａで発生された熱が、発熱線４６３ａの外周の絶縁層４６２を介して金属箔に伝達される。そして発熱線の外周の絶縁層の絶縁破壊が生じた場合でも、金属箔４５１，４５３の外周に防水絶縁層４７０を備えた構成であるため、発熱線とヒータユニット外側との絶縁を確実にする。 （もっと読む）

【課題】調理プレートを広範囲にわたって均一且つ迅速に調理可能な温度に昇温して該温度に保持する加熱調理器を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は上記目的を達成するために、加熱体上に調理プレート２が配置された加熱調理器１において、前記加熱体と調理プレート２との間に、面方向の熱伝導率が鉛直方向の熱伝導率の２桁倍の熱伝導異方性を持つグラファイトシートを充填した加熱調理器を提供するものである。 （もっと読む）

【課題】 ウエハ載置面における均熱性に優れている上に急速昇温および急速冷却が可能であり、且つ高い剛性を備えた加熱冷却デバイスを提供する。
【解決手段】 ヒータ１０と可動式冷却モジュール２０とを備えた加熱冷却デバイス１であって、ヒータ１０は、ウエハ載置面１１ａを有し金属からなる第１均熱板１１と、第１均熱板１１を支持しセラミックスなどからなる第２均熱板１２と、これら均熱板１１、１２の間に設けられた抵抗発熱体１３とを有している。均熱板１１、１２の熱伝導率をＫ１、Ｋ２、ヤング率をＹ１、Ｙ２としたとき、Ｋ１＞Ｋ２、Ｙ２＞Ｙ１であり、均熱板１１、１２の厚みの合計は第１均熱板１１の直径の１／４０以下である。抵抗発熱体１３はポリイミドなどの耐熱性絶縁物１３ｂによって一体化されており、その厚みは０.５ｍｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】セラミック基板厚を薄くした場合でも、セラミック基板の反りを抑制する。
【解決手段】長尺平板状の熱伝導率の高いＳｉ_３Ｎ_４製のセラミック基板１１の長手方向に平行してＡｇとＰｄ合金を主成分とする発熱抵抗体１２，１３を形成する。発熱抵抗体１２，１３の一端には通電用の電極１４，１５を、他端には接続導体１６を接続し、発熱抵抗体１２，１３を直列的に接続する。発熱抵抗体１２，１３それに接続導体１６上を、熱膨張の異なる少なくとも２種のフィラーが添加されているＳｉＯ_２-ＺｎＯ系ガラスの第１のオーバーコート層１７で覆い、この第１のオーバーコート層１７上をＳｉＯ_２−Ｂ_２Ｏ_３系の低熱膨張ガラスの第２のオーバーコート層１８を積層する。これにより、セラミック基板１１の厚みを薄くした場合でも反りを抑制でき、ヒータの立ち上がり時の昇温速度を早くでき、セラミックヒータ１００のオン／オフ制御時間が短縮できる。 （もっと読む）

【課題】 昇降温特性を向上させ、高スループットを実現できる剛性の高い加熱ヒータを比較的安価に提供する。
【解決手段】本発明の加熱ヒータは、ウェハ載置面を有する第１の均熱板と、この第１の均熱板を支持する第２の均熱板と、第１の均熱板と第２の均熱板の間に抵抗発熱体を有し、この抵抗発熱体を第１の均熱板のウェハ載置面とは反対側の面に絶縁性の接着層によって一体化したことを特徴とする。このような構造とすることによって、変形や割れが発生することなく、高速昇降温させることができる加熱ヒータを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】金属製の筒体から成るとともに、その外周面上にロール層を形成し、前記金属製の筒体の内部に発熱体を配した加熱ロールにおいて、熱応答性を高めるとともに、熱の軸線方向の分布を均一にした加熱ロールを提供する。
【解決手段】中空の金属製の筒体１０の内側に、カーボングラファイトシートを圧縮成形して成るとともに中心部に形成された挿通孔２３にシーズヒータ１７を挿入した熱伝達部材２２を収納し、しかもシーズヒータ１７の外周面と熱伝達部材２２の挿通孔２３の内周面との間の隙間をなくし、さらに熱伝達部材２２の外周面と前記筒体１０の内周面との間の隙間をなくし、上記シーズヒータ１７からの熱を熱伝達部材２２を介して金属筒体１０に伝達し、上記金属筒体の軸線方向の温度分布を均一にしたものである。 （もっと読む）

【課題】 絶縁層および抵抗発熱体からなる発熱層が積層された発熱部材を有する加熱部材であって、加熱部材を構成する部材間で局部的な剥離が発生するのが防止されて、局部的な伝熱効率の低下が発生するのが防止され、表面の温度分布が設定温度に対してばらつきのない加熱部材を提供する。
【解決手段】 加熱部材２０は、放熱部材２０１と、低硬度良熱伝導部材２０２と、発熱部材２０３と、発熱部材２０３を放熱部材２０１に近接する方向に弾発的に押圧する押圧部材２０４とを含む。そして、放熱部材２０１は、円筒体の一部を成す筒状に形成される筒状部２０１ａと、筒状部２０１ａの周方向両端部から内側に屈曲する屈曲片２０１ｂとを含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】 冷却時の均熱性を維持しながら、温度変更速度を速めるとともに、冷却終了後にヒータの温度を安定させるまでに要する時間を短縮することによって、被処理物を速やかに載置することができるようにし、スループットの向上を図る。
【解決手段】 被処理物を載置して処理するための載置面を有した好適にはセラミックス製のヒータ基板１と、このヒータ基板１を冷却する冷却ブロック２とを備えたヒータユニット１０であって、ヒータ基板１と冷却ブロック２との間に一定高さの介在層６が存在している。この介在層６は、ヒータ基板１の加熱時に相対的に高温部となる領域が、相対的に低温部となる領域に比べて高密度となるような密度分布をもって配置されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】面状ヒータで発生した熱エネルギーを被加熱物に伝導する効率を従来よりも上げる。
【解決手段】ヒータ１０は線状発熱体、第１絶縁体板２１、第２絶縁体板２２、第３絶縁体板２３、断熱部材３０、カバー３３、第１端子および第２端子を備える。第１絶縁体板２１に巻き付けられた線状発熱体を第２絶縁体板２２と第３絶縁体板２３により挟む。第３絶縁体板２３の外側に断熱部材３０が配設される。第２絶縁体板２２および断熱部材３０を被うように熱伝導性あるカバー３３が配設され、第１端子が線状発熱体の第１の所定箇所に接続され、第２端子が線状発熱体の第２の所定箇所に接続される。 （もっと読む）

【課題】導電発熱材料に関連する。欠点は構造が複雑で、エネルギーの損失が大きく、熱の伝導の距離が長いため熱が床を通ってから室内に届くまでの熱が伝導するスピードが遅いことである。
【解決手段】導電発熱材料１０１は基材及び均一に基材につける導電発熱層を含んでいる。導電発熱層の表材料は天然石墨、人造石墨、導電カーボンブラックから選ばれる。粘着剤はアクリル酸樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタン、ゼラチン、カルボキシメチルセルロース、ポリエチレン等から選ばれる。熱伝導性の床は220Vの電圧の下で5分以内に表面は15−70℃の温度が長期、安定に保持できるこの熱伝導性の床は今運用している暖房システムに取って代わることができ、低コストで、安全で、エネルギーを節約でき、環境に良く、修理が簡便である利点を持っている。 （もっと読む）

【課題】加熱効率が高く、加熱温度の制御精度が高い加熱技術を提供する。
【解決手段】基盤部材１に、断熱部材２を介して加熱部材３およびブロック部材４を積層し、加熱部材３からの伝熱でブロック部材４に接する被加熱物を加熱する加熱装置１０において、加熱部材３の内部に穿設された貫通穴３ａにハロゲンランプヒーター等の制御応答性の良好な発熱部材５を所定の間隙ｇをなすように非接触に実装し、発熱部材５からの放射熱で加熱部材３を加熱する構成とし、発熱部材５の熱膨張の抑圧等のための剛性や耐脆性を考慮することなく熱伝導率の高い素材で加熱部材３を構成し、効率良く加熱部材３からブロック部材４を介して被加熱物を加熱可能にした。 （もっと読む）

【課題】高精度な温度で効率よく加熱することが可能な加熱装置を提供する。
【解決手段】複数のカートリッジヒーター２を内蔵した加熱ブロック１に固定部材５を用いてブロック部材３を密着させ、このブロック部材３を介して外部の被加熱物を加熱する構成の加熱装置１０において、固定部材５の大径部５ｂとブロック部材３との間に、ブロック部材３の線膨張係数α３および固定部材５の線膨張係数α５よりも大きな線膨張係数α４を持つ調整部材４を介設し、常温から所定の設定温度に加熱しても、熱膨張差によってブロック部材３と固定部材５との間に隙間ができることを、調整部材４の熱膨張によって補い、固定部材５による、加熱ブロック１に対するブロック部材３の締結力を確実に維持して、加熱ブロック１からブロック部材３への熱伝達の均一化および効率化を実現する。 （もっと読む）

【課題】２００〜５００℃の温度範囲で、高速かつ高精度に基板温度を制御可能な基板ホルダを提供する。
【解決手段】ホルダ本体１Ａの基板保持側に静電チャック３を備え、基板１０を静電吸着する基板ホルダ１であって、静電チャック３に内蔵され、基板１０を加熱する加熱手段４と、ホルダ本体１Ａの内部に形成され、循環媒体１０１を循環供給する循環媒体供給手段２に接続された循環媒体流通経路１００と、ホルダ本体１Ａと静電チャック３との隙間に伝熱ガスを封止して形成され、封止圧力を調整可能な伝熱ガス供給系１１０に接続された熱伝達能可変手段６と、静電チャック３と基板１０との隙間に伝熱ガスを封止して形成され、伝熱ガス供給系１２０に接続されたガス封止手段８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】面状発熱体の周囲に均一に発熱させることができ、また加工性よく設置することができる熱安定性の高い面状発熱体を提供することを目的とする。
【解決手段】内側電極としての芯電極２、前記芯電極２に周設された主成分が反応性樹脂を介して架橋された導電体を含有して成る高分子抵抗体３、および前記高分子抵抗体３の表面に周設された外側電極４を有する発熱体５と、この発熱体５を保持する金属フィルム６、熱融着フィルム７からなるシート状の積層フィルムとにより構成した。したがって、長期にわたり均熱性の優れたＰＴＣ特性を有する面状発熱体を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】均一な発熱状態を得るとともに、設置自由度が大きな線条発熱体を提供することを目的とする。
【解決手段】芯電極１と、前記芯電極１に周設された主成分が反応性樹脂を介して架橋された導電体を含有して成る高分子抵抗体２と、前記高分子抵抗体２の表面に周設された外側電極３とを具備するものである。これにより、中央から放射状に発熱による熱が伝わるため、均一発熱が可能となる。さらに、線条発熱体の断面が円形となるため自由度が高く、支持体との縫製や貼り付けなどの加工性に優れている。 （もっと読む）

【課題】管状被加熱体の曲がり部でも効率よく加熱できる被覆加熱装置を提供すること。
【解決手段】本発明の被覆加熱装置２０は、方形板状の互いに背向する両辺部２１a、２１bが当接されてパイプ状となる柔軟で断熱性を有する被覆本体２１と、被覆本体２１の内周面に固定され、互いに背向する両辺部２１a、２１bから中央部に向かう深さが異なるＶ字状の切込み２２a、２２bを少なくとも一対持つ発熱体２２と、被覆本体２１が管状被加熱体の外周面を覆うように両辺部２１a、２１bを当接させて被覆本体２１を被加熱体に固定する固定手段２３と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）