【課題】レニウム入りのタングステンの特徴を生かしながら安価なハロゲンランプを実現する。
【解決手段】両端に封止部１３１，１３２が形成された石英ガラス製のバルブ１１内の長手方向に局部的に発光部１２１および非発光部１２２を有するタングステン製のフィラメント１２および不活性ガスを封入し、封止部１３１，１３２からフィラメント１２に接続した外部導入線１５１，１５２を導出してハロゲンランプＬ１を構成する。両端に封止部２３１，２３２が形成された石英ガラス製のバルブ２１内の長手方向に局部的に発光部２２１および非発光部２２２を有するレニウムタングステン製のフィラメント２２および不活性ガスを封入し、封止部２３１，２３２からフィラメント２２に接続した外部導入線２５１，２５２が導出してハロゲンランプＬ２を構成する。待機状態時にハロゲンランプＬ２を発光させることで消費電力の低減を実現する。 （もっと読む）

【課題】 反応チャンバー内に気密性を保持して簡単に収納することが可能なセラミックスヒータを提供すること、及びそのセラミックスヒータを用いることにより、優れた熱効率を達成でき、しかも反応チャンバーの小型化が可能な半導体製造装置及び液晶製造装置を提供する。
【解決手段】 セラミックスヒータ１２は、内部に発熱体１３が埋設され、一部に一端側がガラス封止部２１で気密接合された金属フランジ１９を備えている。このセラミックスヒータ１１は半導体製造装置又は液晶製造装置の反応チャンバー１１内に収納され、支持部材１４で支持されると共に、金属フランジ２０の他端側が反応チャンバー１１の一部に支持され、且つＯ−リング１５で気密シールされる。 （もっと読む）