【課題】ワークを均一に加熱する際や所定の温度分布を有するように加熱する際、複数の電極対を設ける必要性が乏しい、通電加熱装置を提供する。
【解決手段】給電部１に電気的に接続され、一方の電極１１及び他方の電極１２からなる電極対１３と、一方の電極１１及び他方の電極１３をワークｗに接触した状態でかつ給電部１から電極対１３を経由してワークｗに通電している状態で、一方の電極１１、他方の電極１３の何れか一方又は双方を移動して一方の電極１１と他方の電極１２との間隔を変化させる移動機構と、を備える。 （もっと読む）

【課題】透明導電膜の形成面内に、透明導電膜が形成されていない非形成部を設け、この非形成部によって透明導電膜形成面の抵抗を部分的に変化させ、面内の温度分布を制御する面状ヒータを提供する。
【解決手段】面状ヒータ１は、透明基板２の少なくとも１表面に透明導電膜３を形成し、前記透明基板３の両端に電圧印加用の金属電極４を配した面状ヒータにおいて、透明導電膜３が形成された透明導電膜３の形成面内に、前記透明導電膜が形成されていない非形成部３ａが複数形成され、これにより透明導電膜の見かけ抵抗を上昇させ、電流の流れと発生するジュール熱とを制御することで面内温度分布を制御する。 （もっと読む）

【課題】ミラーの裏面に取り付けられる自己温度制御型の面状発熱体において、良好な晴れ性能を実現し、かつ長期にわたり良好な発熱性能が得られるようにする。
【解決手段】ベースフィルム２１と、ベースフィルム２１上にアルミニウム箔がパターニングされて形成された電極２２，２３と、電極２２，２３表面に形成された導電性皮膜２４と、導電性皮膜２４を介して電極２２，２３を覆うように形成されたＰＴＣ発熱体膜２５とを備える。導電性皮膜２４はフェノール樹脂もしくはエポキシ樹脂に導電性材料が混練された構成とされる。 （もっと読む）

【課題】 発熱ベルトの抵抗発熱体層は、両端部の用紙非接触領域の厚さが中央部の用紙接触領域の厚さと同じか厚く形成することができる。または、用紙非接触領域の電気伝導度を用紙接触領域の電気伝導度より大きくすることができる。それにより、発熱ベルトの用紙非接触領域の温度が大きく上昇しなくなる画像定着装置を提供する。
【解決手段】 本発明に係る画像定着装置は、抵抗発熱体層と、前記抵抗発熱体層の内側面に形成される絶縁層と、前記抵抗発熱体層の外側面に形成される剥離層（ｒｅｌｅａｓｅ ｌａｙｅｒ）を備えた発熱ベルトと、前記発熱ベルトの内部に設けられ、前記発熱ベルトとともに回転する加熱支持ローラと、前記加熱支持ローラと平行して設けられ、前記発熱ベルトの外側面と接触してニップを形成する加圧ローラと、前記発熱ベルトの抵抗発熱体層に電気を供給する電気供給部材とを含む。 （もっと読む）

【課題】静電チャック装置の載置面に単に載置するだけで、製品となる半導体ウエハそのものを使用することなく、静電チャック装置の載置面の面内温度分布や昇温特性や降温時における冷却特性を容易に最適化することが可能な温度測定用板状体及びそれを備えた温度測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の温度測定用ウエハ（温度測定用板状体）１は、ウエハ２の表面２ａ全面に絶縁性接着剤３が貼着され、この絶縁性接着剤３上にヒーターエレメント４が設けられ、この絶縁性接着剤３の表面３ａ上のヒーターエレメント４を除く領域にウエハ２の表面２ａの温度を測定するための温度測定領域５が設けられ、これらヒーターエレメント４及び温度測定領域５は絶縁膜６により被覆されている。 （もっと読む）

【課題】 抵抗発熱体に高い電圧を印加しても、温度均一性を犠牲にすることなく、抵抗発熱体の周囲の絶縁性を良好に維持できる基板保持体を提供する。
【解決手段】 半導体基板Ｗの載置面１ａとは反対側の面もしくは内部に半導体基板Ｗの加熱用の抵抗発熱体２を備えた基板保持体１であって、抵抗発熱体２は円弧状パターン２１ａおよび折り返しパターン２１ｂを交互に接続して構成される同心円状部分２１と、同心円状部分２１を構成する複数の折り返しパターン２１ｂのうち、互いに向かい合う折り返しパターン２１ｂ同士の間の領域に延在する直線状部分２２とからなり、抵抗発熱体２に給電するための１対の給電端子３が同心円状部分２１に接続されている （もっと読む）

【課題】サイズが小さな場合であっても、潤滑系流体を過度に加熱することなく潤滑系流体の温度を速やかに上げることが可能なヒーターを提供する。
【解決手段】セラミックスを主成分として通電により発熱する隔壁７と隔壁７に区画形成されて一方の端部９ａから他方の端部９ｂまで貫通して潤滑系流体の流路となる複数のセル５とを有するハニカム構造部６と、ハニカム構造部６に接触してハニカム構造部６の隔壁７を通電させるための陽極４ａおよび陰極４ｂとなる一対の電極４と、セル５の延びる方向に直交する断面において、一方の電極４ａから他方の電極４ｂに向かう方向に直交する集電層８と、を備えるヒーター１。 （もっと読む）

【課題】 常温のみならず高温においても体積抵抗率を高い値に維持することができる窒化アルミニウム焼結体、及び該窒化アルミニウム焼結体を少なくとも部分的に用いた半導体製造装置用又は検査装置用のウエハ保持体を提供する。
【解決手段】 カーボンナノチューブを内部に含んだ窒化アルミニウム粒子からなる窒化アルミニウム焼結体であって、その常温及び５００℃における体積抵抗率がそれぞれ１.０×１０^１３Ω・ｃｍ以上及び１.０×１０^８Ω・ｃｍ以上である。 （もっと読む）

【課題】場所によって昇温性能が偏ることのないセラミックヒータを得る。
【解決手段】ハニカム状の抵抗体セラミック４の電極平面の全域に金属膜８ａ，８ｂを形成し、金属膜８ａ，８ｂの全域にプレート状の発泡金属１０，１２を被せて拡散接合する。発泡金属１０，１２に接合面積が発泡金属１０，１２のみかけ面積よりも小さい電極１４，１６を拡散接合した。発泡金属１０，１２の表面のほぼ中央に電極１４，１６を発泡金属１０，１２から略垂直方向に立設して接合した。抵抗体セラミック４は六面体状で、互いに反対側の表面を電極平面として金属膜８ａ，８ｂを形成して発泡金属１０，１２を接合し、各発泡金属１０，１２にそれぞれ電極１４，１６を接合した。 （もっと読む）

【課題】 搭載されるウエハに対して温度分布を均一にすることができ、かつ剛性に優れたウエハ加熱用ヒータを提供する。
【解決手段】 ウエハを載置する載置面１ａを備えたウエハ載置台１と、ウエハ載置台１を加熱する発熱体２とを有するウエハ加熱用ヒータ１０であって、ウエハ載置台１は、熱伝導率が２５０Ｗ／ｍＫ以上、ヤング率が２００ＧＰａ以上の金属−セラミックス複合体からなる。この金属−セラミックス複合体は、Ｍｇ又はＭｇ合金からなる金属と、ＳｉＣからなるセラミックスとの複合体であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】配管ヒータ装置において、複数並設された被加熱用の配管に対し簡単に精度よく装着し、各配管を温度ムラ少なく加熱する。
【解決手段】配管Ｐの外側に筒状に延びる断熱材の保温ケース２０と、保温ケース内で発熱するヒータ本体３０と、ヒータ本体３０を保持して保温ケース２０内に取り付けられ、配管Ｐに係合保持される熱伝導性弾性材料による取付けブラケット４０とからなり、その配管係合部４３には保温ケース２０の蓋壁部２２から内部に挿入された配管Ｐを、ヒータ保持部４２に保持したヒータ本体３０との間に空隙Ｓを有して係合保持し、ヒータ本体３０の発熱がブラケットの熱伝導、空隙Ｓを介した放射熱および空間内の対流により加熱する。 （もっと読む）

【課題】供給エネルギーをロスなく有効に熱エルネギーに変換してタクトタイムの短縮化が図り得ると共に、被加熱物全体を熱歪みのないよう均一に加熱昇温することができ、しかも、被加熱物の品質を良好に維持することができるプレート型ヒーターを提供する。
【解決手段】エネルギーを放出する１又は複数のエネルギー発生体２と、エネルギー発生体２を包囲するように配置され、エネルギー発生体２から放出されるエネルギーを吸収して発熱し、少なくとも表面の全域へ熱伝達すると共に、外部に熱放射する黒体材料からなる盤状加熱板部材３と、盤状加熱板部材３の表面に被覆されて、盤状加熱板部材３の表面から放出される放出ガスを封じ込めるコーティング層４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 非通紙部昇温抑制効果のある長手分割搬送方向通電ヒータにおいて、スタンバイ加熱や長時間の加熱を要せずとも端部定着不良の無いヒータを提供する。
【解決手段】 通電により発熱する正の抵抗温度特性を有する発熱抵抗体が基板長手方向において複数に分割し、分割した複数の発熱抵抗体は電気的に直列に接続したヒータにおいて、少なくとも基板長手方向両端部における発熱抵抗体の抵抗が中央部よりも高くする。 （もっと読む）

【課題】 非通紙部昇温を抑制しつつヒータ短手方向の温度分布の均一性を改善できるヒータ及びこのヒータを備えた像加熱装置を提供すること。
【解決手段】 基板上に基板長手方向に沿って設けられている二本の導電体間に正の抵抗温度特性を有する複数本の発熱抵抗体を並列接続した構成の第１の発熱ライン及び第２の発熱ラインを並列に接続した構成とする。 （もっと読む）

【課題】ベルト発熱方式の画像加熱装置において、ベルトの給電部の接触ムラに起因した発熱ムラの発生を抑制する。
【解決手段】
弾性体をベルト部材外面に加圧接触させ、弾性体の表面からベルト部材に給電を行うことにより、弾性体はベルト部材に追従するので、ベルト部材への給電接触部分を安定してとることが可能となる。これより給電部の接触ムラに起因した発熱ムラを抑制し、良好な定着画像を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】
均熱性に優れ、かつ、小型化に対応可能なセラミックヒータを提供する。
【解決手段】
セラミック基材と、セラミック基材２上に形成された抵抗発熱体３と、その上に抵抗発熱体３を覆うように形成されたセラミック被覆層１４からなるセラミックヒータにおいて、セラミック被覆層１４には、同一材料からなる高密度層１４ａと高密度層１４ａに対してセラミック基材２から遠い側に位置する低密度層１４ｂとが少なくとも一組設けられている。 （もっと読む）

【構成】電磁誘導により発熱し、蓄熱する電磁誘導用発熱・蓄熱材で二酸化ケイ素、酸化チタン及び／又はケイ素の単体を含有してなり、フェライトやアルミニウムやカ−ボン等の電磁誘導発熱材料と併用され、立方体容器に内蔵させて使用される。
【効果】電磁誘導により発熱し、蓄熱する電磁誘導用発熱・蓄熱材として有効で、発熱作用を向上させ、蓄熱作用を良好にし、加熱装置の電源を適宜ＯＦＦにすることができるので電力を節約することができ、又、立体容器の内部の発熱材料から発した熱をその容器内において万便なく行き渡るようにすることができる等の利点がある。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電気加熱型触媒に係り、セラミック担体を通電加熱するうえでセラミック担体内部の温度分布の均一化を図ることにある。
【解決手段】セラミック担体と、セラミック担体の表面上に配設される表面電極と、３個以上の歯が互いに平行に並んでそれぞれ表面電極に接続される櫛歯部を有する金属電極と、を備えた電気加熱型触媒において、櫛歯部を、中央寄りの歯の電気抵抗に比べて端部寄りの歯の電気抵抗が低くなるように形成する。具体的には、金属電極を、中央寄りの櫛部の断面積に比べて端部寄りの櫛部の断面積が大きくなるように形成する。 （もっと読む）

【課題】焼結の際に内部に埋設された耐熱性金属材料の炭化を抑制して、耐熱性金属材料の導電性の低下を防止するセラミックス焼結体の製造方法、セラミックス焼結体およびセラミックスヒータを提供する。
【解決手段】 本発明のセラミックス焼結体は、耐熱性金属材料２と、耐熱性金属材料２の表面に形成され、金属炭化物の標準生成自由エネルギーが耐熱性金属材料２よりも小さい金属材料からなる金属皮膜と、金属皮膜が形成された耐熱性金属材料２をセラミックス基体の原材料である粉体中の所定の位置に配設し、加圧成型されたセラミックス成型体と、を備えるプレセラミックスを焼結して形成され、前記焼結時に金属皮膜が炭化されて金属炭化物皮膜４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】生産性・加工性に優れ、安全且つ高効率に均一加熱を行うことができる加熱器並びに設置工事が容易で高効率に均一加熱を行うことが可能な床暖房用パネルを提供する。
【解決手段】可撓性を有する保護管１３の内部に、外周面が被覆材１２で覆われた単線状又は撚り線状の発熱体１１を挿入し、前記被覆材１２と前記保護管１３内面との間隙に砂１４を充填する。また、基材２１の上面に溝２７を形成し、前記加熱器１０を前記溝２７に装着し、更にその上に熱伝導シート２４を接着して床暖房用パネル２０を構成する。これにより、加熱器１０は、生産性に優れ、曲げ加工を容易に行うことができ、且つ効率的に均一加熱を行うことができる。また、床暖房用パネル２０は、熱源機や温水配管が不要で設置工事が容易に行えると共に、温水循環式床暖房に比べて暖房時の床面の温度むらを少なくすることができる。 （もっと読む）