【課題】中性粒子ビームにより、プラズマ処理に比べて被処理物に損傷を与えることなく有機半導体化合物をエッチングすることが可能なエッチング方法を提供する。
【解決手段】有機半導体からなる薄膜２８が形成されている基板２６に中性粒子ビームを照射することによってエッチングを行なうエッチング方法であり、中性粒子ビームは酸素からなることが好ましく、有機半導体はアセン類、ビススチリルベンゼン誘導体、オリゴチオフェン誘導体、フタロシアニン類、ペリレン誘導体、フラーレンまたはフラーレン誘導体のいずれかであることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】様々な形態の三次元発光装置を形成することが可能であり、耐久性が高い有機ＥＬ素子及びかかる有機ＥＬ素子により形成される発光装置を実現する。
【解決手段】有機ＥＬ素子がシート状の発光領域及びシート状の周辺領域を有し、前記発光領域及び前記周辺領域は、前記発光領域の剛性が前記発光領域を囲む周辺領域の剛性よりも高い、という条件を満たす。 （もっと読む）

【課題】薄膜トランジスタにおけるリーク電流の低減を図る。
【解決手段】ＥＬパネル１において、駆動素子として用いるスイッチトランジスタ５、駆動トランジスタ６などの薄膜トランジスタにおける半導体膜５ｂ（６ｂ）の端部が、スパッタリングによって成膜される金属膜９ｈと接触した際に、導電性を有するように変質してしまった変質導電部５ｊ（６ｊ）の一部が取り除くことで、半導体膜５ｂ（６ｂ）の端面に沿ったソース−ドレイン間のリーク電流経路を遮断して、より一層のリーク電流の低減を図ることとした。 （もっと読む）

【課題】例えば、発光部及びレンズ部相互の位置ずれを低減する。
【解決手段】複数の有機ＥＬ素子（７２Ｒ）、（７２Ｇ）及び（７２Ｂ）を動作させ、各有機ＥＬ素子（７２Ｒ）、（７２Ｇ）及び（７２Ｂ）から、赤色光（ＬＲ）、緑色光（ＬＧ）及び青色光（ＬＢ）を、樹脂層（８０）に向かって出射する。この際、樹脂層（８０）のうち複数の有機ＥＬ素子（７２Ｒ）、（７２Ｇ）及び（７２Ｂ）の夫々に重なる複数の部分（８０ａ）の夫々を、複数の有機ＥＬ素子（７２Ｒ）、（７２Ｇ）及び（７２Ｂ）の夫々から照射された赤色光（ＬＲ）、緑色光（ＬＧ）及び青色光（ＬＢ）によって変性させる。したがって、樹脂層（８０）のうち複数の有機ＥＬ素子（７２Ｒ）、（７２Ｇ）及び（７２Ｂ）の夫々に重なる複数の部分（８０ａ）のみを変性させることができる。 （もっと読む）

【課題】エッジカバーや層間絶縁膜の内部に含まれている水分が経時に伴ってしみ出し、有機ＥＬ層や第２電極に損傷を与え、有機ＥＬ発光特性が低下することを抑制することを目的とする。
【解決手段】本発明の有機ＥＬ素子３０は、基板２０上に発光領域１１及びそれ以外の領域の少なくとも一部を含むように設けられた第１電極３１と、基板２０上の発光領域１１以外の領域における第１電極３１の周縁部を覆うように設けられたエッジカバー３２と、基板２０上の第１電極３１及びエッジカバー３２の上層における少なくとも発光領域１１を覆うように設けられた有機ＥＬ層３４と、有機ＥＬ層３４の上層における少なくとも発光領域１１を覆うように設けられた第２電極３５と、を備える。基板２０上の発光領域１１以外の領域において、エッジカバー３２よりも上層に捕水層３３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】歩留まりの向上する有機発光素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明による有機発光素子３０は、基板１と、基板１上に配置した有機発光層３と、有機発光層３を覆うように配置した樹脂膜６と、樹脂膜６上の周縁部に配置した下駄部６ｂと、樹脂膜６を介して有機発光層３を封止する封止板７とを備える。樹脂膜６は、軟化した状態で封止板７を押圧して有機発光層３と接着させ、下駄部６ｂの領域に、はみ出し部６ａを有し、はみ出し部６ａ以外の樹脂膜６の周縁部にへこみ部６ｋを有する。 （もっと読む）

本開示は、障壁層を電子装置に封入するための使用に適した方法および材料を提供する。一実施形態では、たとえば、ケイ素含有結合材料およびセラミック材料の交互する層によって封入された、電気発光装置または他の電子装置を提供する。本封入方法は、たとえば、安定性および貯蔵寿命が増加した電子装置を提供する。本発明は、たとえばマイクロ電子装置の分野において有用である。別の態様では、基材上に配置された複数の構成要素層を含む電子装置と、障壁材料および架橋結合した材料の第１の対の層を含む封入部分とを含み、障壁材料がセラミック材料であり、架橋結合した材料がケイ素含有ポリマーである、封入された電子装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】反射層の光反射率が製造工程で低下しても画素間で明るさのばらつきの少ない有機ＥＬ装置を提供すること。
【解決手段】有機ＥＬ装置１００は、基体２０と、基体２０上に配列された３つの異なる波長の光のいずれかを射出する画素２と、画素２に対応して設けられた第１の反射層４２および第２の反射層４４と、第１の反射層４２および第２の反射層４４上に配置された画素電極２３ｂ，２５ａと、画素電極２３ｂ，２５ａ上に配置された、発光層３４を含む有機機能層３０と、有機機能層３０上に配置された、陰極３８と、を備えている。第１の反射層４２は第１の金属材料からなり、第２の反射層４４は第１の金属材料よりもパターン加工に対する耐性が高い第２の金属材料からなる。画素２には、射出される光の波長に応じて、第１の反射層４２または第２の反射層４４のいずれか一方が配置されている。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い逆構造トップエミッション型発光ダイオード表示装置を提供する。
【解決手段】金属基板上に配置されて光を生成する光発生領域及び光発生領域の周辺に配置された第１及び第２パッド部、光発生領域上に形成された薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタを覆って金属基板上に配置され、薄膜トランジスタの一部と第１パッド部の一部及び第２パッド部の一部を各々露出するコンタクトホールを含む保護層、保護層上に形成され、コンタクトホールを通じて露出された薄膜トランジスタの一部と接触される第１及び第２導電パターン、光発生領域上に形成されて第２導電パターンと電気的に接続されるカソード電極、カソード電極上に配置された有機発光層、有機発光層上に配置され、透明な導電金属で形成されたアノード電極及び、第１及び第２パッド部を露出するコンタクトホールの各々に、第２導電パターンと同一の物質で形成された電極パターンを含む。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ素子からの光取り出し効率を高めることができる有機ＥＬ素子用ガラス基板及びその製造方法並びに有機ＥＬ装置を得る。
【解決手段】表面に透明導電膜４が形成され、該透明導電膜４の上に有機ＥＬ素子が形成される有機ＥＬ素子用ガラス基板３であって、透明導電膜４が形成される側の表面１ａに、有機ＥＬ素子からの光を散乱するための凹凸面が形成されたガラス板１と、ガラス板１より高い屈折率を有し、ガラス板１の凹凸面の上に設けられるガラス焼成膜２とを備え、ガラス焼成膜２が、ガラス板１の凹凸面の凹凸を平坦化することによって、透明導電膜４が形成される表面２ａをガラス焼成膜２が与えることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】電気光学装置を破壊することなく所望の厚みに形成することができる電気光学装置の製造方法、電気光学装置の製造装置を提供する。
【解決手段】有機ＥＬパネルの厚みを断層撮影により求める工程（ステップＳ１４）と、有機ＥＬパネルを構成する一対の基板の少なくとも一方の基板にエッチング処理を施して有機ＥＬパネルの厚みを薄くする工程（ステップＳ１５）と、有機ＥＬパネルを洗浄及び乾燥させる工程（ステップＳ１６）と、エッチング処理後の有機ＥＬパネルの厚みを断層撮影により求める工程（ステップＳ１７）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、薄膜封止層を通して有機発光層に水分または酸素が浸透することを効果的に抑制すると共に全体的な厚さを薄型にした有機発光表示装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】有機発光表示装置は基板本体１１１と、前記基板本体上に形成された有機発光素子７０と、前記基板本体上に形成されて前記有機発光素子をカバーする吸湿層２２０と、前記基板本体上に形成されて前記吸湿層をカバーする有機バリア層２３０と、前記基板本体上に形成されて前記有機バリア層をカバーする無機バリア層２４０とを含む。 （もっと読む）

【課題】絶縁層上に結晶性の高い微結晶半導体層を形成することを課題とする。また、電気特性が良好な薄膜トランジスタを、生産性高く作製する方法を提供することを課題とする。
【解決手段】基板上にゲート電極を形成し、ゲート電極上に、窒素を含む絶縁層を形成する。次に、窒素を含む絶縁層上に、シリコンを含む堆積性気体と、窒素を含む酸化気体と、水素とを用い、プラズマを発生させて、酸化珪素層を形成する。次に、酸化珪素層上に、シリコンまたはゲルマニウムを含む堆積性気体と、水素とを用い、プラズマを発生させて、微結晶半導体層を形成する。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ素子の対向電極へ所定の電圧を印加するための、当該対向電極と給電配線とのコンタクト部における接触抵抗を抑制して、良好な表示特性を有する表示パネル及びその製造方法を提供する。
【解決手段】表示領域２０の各画素形成領域ＲpxのトランジスタＴｒ１１、Ｔｒ１２のソース電極Ｔｒ１１ｓ、Ｔｒ１２ｓ及びドレイン電極Ｔｒ１１ｄ、Ｔｒ１２ｄと、周辺領域３０に配置され、対向電極（例えばカソード電極）１６に所定の電圧を供給するコンタクト電極Ｅctとを、例えばモリブデン−ニオブ（ＭｏＮｂ）等からなる同一のソース、ドレインメタル層をパターニングすることにより同時に形成し、かつ、上記コンタクト電極Ｅctに接続される対向電極１６（高仕事関数の薄膜１６ｂ）として、アルミニウム等の金属材料を適用する。 （もっと読む）

【課題】酸化物半導体層を用い、電気特性及び信頼性の優れた薄膜トランジスタを備えた半導体装置を提供することを課題の一つとする。
【解決手段】絶縁物（絶縁性酸化物、絶縁性窒化物、若しくは酸窒化シリコン、酸窒化アルミニウムなど）、代表的にはＳｉＯ_２を含む酸化物半導体ターゲットを用いて成膜を行い、酸化物半導体層の膜厚方向におけるＳｉ元素濃度が、ゲート電極に近い側からゲート電極に遠い側に増加する濃度勾配を有する半導体装置を実現する。 （もっと読む）

【課題】画素電極上に段差が発生している場合でも有機機能層を均一な厚さに形成することができる有機エレクトロルミネッセンス装置、およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】有機ＥＬ装置１００の素子基板１０には、画素電極９上の段差９ａ、９ｂ、９ｃに平面的に重なるように隔壁５が形成されている。このため、画素電極９上は、隔壁５によって複数の領域１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、１１ｅに区画され、かかる複数の領域１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、１１ｅは素子基板１０からの高さが異なるが、領域内は平坦である。従って、画素電極９の上に有機機能層形成用の液状組成物を吐出する際、液状組成物を領域１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、１１ｅ毎に吐出量を調整するだけで、各領域に膜厚が略同一の有機機能層８３を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】低分子ホール輸送層と高分子発光層とを積層する構造を採用しつつ、低分子ホール輸送層が高分子発光層に溶けることを抑制すると共に、素子特性の安定化および寿命向上を図る。
【解決手段】低分子ホール輸送層３をエーテル化合物にて表面処理することにより、低分子ホール輸送層３と高分子発光層５との界面に難溶化層４を形成する。この難溶化層４により、低分子ホール輸送層３の構成材料が高分子発光層５に溶け出すことを防止できる。したがって、低分子ホール輸送層３と高分子発光層５とを積層する構造を採用しつつ、低分子ホール輸送層３が高分子発光層５に溶けることを抑制すると共に、素子特性の安定化および寿命向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】粒子が規則正しく配列した粒子配列構造体を容易に製造する方法の提供。
【解決手段】溶媒と、前記溶媒に溶解し得る重合性化合物と、前記溶媒に溶解し得ない粒子を含む分散液を調製し、その分散液を基板上へにスピンコートにより塗布して、分散液相中で前記粒子を配列させ、次いで重合性化合物を硬化させて粒子配列構造体を形成させる。 （もっと読む）

【課題】トランジスタの作製工程数を少なくし、トランジスタの作製を簡略にする。
【解決手段】被形成面上に設けられ、ゲート電極となる電極１０１と、電極１０１上にゲート絶縁層となる絶縁層１０２と、絶縁層１０２上に選択的に設けられたソース電極またはドレイン電極となる電極１０３ａ及び電極１０３ｂと、絶縁層１０２の上面、電極１０３ａの上面及び側面、並びに電極１０３ｂの上面及び側面を覆う半導体層１０４と、を有する構造とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、非発光時において見映えの良い有機ＥＬ素子およびその製造方法を提供することを主目的とする。
【解決手段】本発明は、基板と、上記基板上に形成された透明電極層と、上記透明電極層上に形成され、発光層を含む有機ＥＬ層と、上記有機ＥＬ層上に形成され、第１金属膜および第２金属膜を含む金属電極層とを有する有機ＥＬ素子であって、上記金属電極層が、上記第１金属膜が上記有機ＥＬ層側に面するように配置された第１電極領域と、上記第２金属膜が上記有機ＥＬ層側に面するように配置された第２電極領域とからなり、上記第１電極領域および上記第２電極領域の反射特性が互いに異なり、上記第１電極領域の上記第１金属膜と上記第２電極領域の上記第２金属膜とが電気的に接していることを特徴とする有機ＥＬ素子を提供することにより、上記目的を達成する。 （もっと読む）