【解決手段】成膜室１０には、基板ステージ１２、蒸着材料１７が充填されている蒸発源１６が備えられている。成膜室１０の外部にレーザビームを発する光源２２が設けられている。光源２２からのレーザビームは光導入窓１４を通り、蒸着材料１６に照射される。レーザビームの照射により蒸着材料１６を気化し、基板３０に膜が形成される。
【効果】気化された蒸着材料は組成比が変化しないため、緻密な薄膜、歪みや欠陥の少ない均質な薄膜を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】高いガスバリア性能を有し、かつ接着剤との接着性が充分なガスバリア性樹脂基材を提供し、またこれを用いたガスバリア耐性に優れた有機エレクトロルミネッセンスデバイス（以下、有機ＥＬあるいはＯＬＥＤと称す）を提供する。
【解決手段】透明樹脂基材の少なくとも１面に、酸化珪素を含有するガスバリア層を有するガスバリア性樹脂基材において、該ガスバリア層が、炭素含有率が０．２〜４．９ａｔ％である酸化珪素を含有する第一の層３と、炭素含有率が０．１ａｔ％以下である酸化珪素を含有する第二の層４と、炭素含有率が０．２〜４．９ａｔ％である酸化珪素を含有する第三の層５を、物理気相成長法または化学気相成長法により、順次少なくとも１組以上形成した、積層構成を有していることを特徴とするガスバリア性樹脂基材。 （もっと読む）

デバイスを製造する際に表面上に層を形成する方法であって、気化した材料を受け取る分配部材であって、チェンバーを規定する1つ以上の壁面を持ち、1つの壁面の中に複数の開口部からなる多角形二次元パターンが形成されていて、その開口部が気化した材料を分子流として上記表面上に供給する構成の分配部材を用意するステップと；開口部からなる多角形二次元パターンに少なくとも4つの頂部を設け、第1の開口部セット（80）をその頂部に配置し、縁部用の第2の開口部セット（78）を第1の開口部セットの2つの開口部の間に配置して多角形二次元パターンの縁部を規定し、内側用の第3の開口部セット（74）を、第1の開口部セットと第2の開口部セットによって規定される多角形二次元パターンの周辺部の中に配置するステップと；望む流速が得られるように開口部のサイズを決めるステップを含む方法。
（もっと読む）

本発明は、有機材料の混合物、前記混合物の有機エレクトロルミネセンス素子への使用及び前記混合物を含む有機エレクトロルミネセンス素子に関する。 （もっと読む）

【課題】有機電界発光素子の暗点を減らし寿命を増加させて効率を高める。
【解決手段】有機電界発光素子の赤色、緑色及び青色を具現する有機膜のうちで赤色、緑色及び青色の正孔注入層と正孔輸送層の合計厚さをそれぞれ５００ないし７００Åまたは２０００ないし２４００Å、１６００ないし２０００Åと２００ないし４００Åに制御する。 （もっと読む）

基板1と、前記基板へ加えられ、第１電極3及び第２電極4間に構成される少なくとも一つの連続機能層2を含む層構造2,3,4と、１つ以上の粒子13のカプセル化のための、前記基板から離れた前記層構造の側に構成される、前記第２電極4へ加えられるマグネシウムカバー層15と、を有する電圧動作層回路が記載される。
（もっと読む）

【課題】半導体ナノ結晶粒子間の間隙を充填物質で満たした半導体ナノ結晶層を有する発光素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】正孔を注入する第１電極と、前記第１電極に対向する、電子を注入する第２電極と、前記第１電極と前記第２電極との間に位置し、半導体ナノ結晶の粒子と、前記半導体ナノ結晶の粒子間の間隙を満たす充填物質とを含む半導体ナノ結晶層と、を含む発光素子である。 （もっと読む）

炭素含有材料層を基板上に堆積するための方法は、炭素含有材料層用の前駆体混合物を処理チャンバ内に供給し、炭素含有材料層をケイ素でドープし、炭素含有材料層を低温で堆積することを含む。一態様において、炭素含有材料層の光透過率は可視光スペクトルの全ての波長で改善される。加えて、封止層を堆積するための方法は使用される下層材料の熱安定性不良により低温堆積処理を必要とする様々なディスプレイ用途を対象としている。封止層は１つ以上のバリア層材料層と１つ以上の非晶質炭素材料層を含んでいてもよい。非晶質炭素材料は熱応力を軽減し、堆積した薄層が基板から剥離することを防止するために使用可能である。
（もっと読む）

（ｉ）少なくとも１種のキャリヤーガス中に懸濁された所望材料のアモルファス固体粒子の連続流れを当該粒子のＴｇより低い平均流れ温度にて用意する工程、（ｉｉ）この流れを加熱帯域に送って平均流れ温度を前記粒子のＴｇより高くする工程であって、前記材料の加熱に起因する化学変換は加熱が実質的に起こらない工程、（ｉｉｉ）加熱流れを少なくとも１つの配送路を通じて、加熱帯域への流れの添加速度に実質的に等しい速度にて排出させる工程であって、キャリヤーガスが加熱帯域及び配送路を通過する際に熱力学的相変化を受けない工程、及び（ｉｖ）前記加熱された流れの温度より低い温度にある受容体表面を前記加熱された流れの排出フローに暴露して前記所望材料の粒子を堆積させることを含む、表面への薄い皮膜の堆積。 （もっと読む）

多層被膜を基板の上に堆積するツール。１つの構成では、本ツールは、圧力または温度が制御された環境の少なくとも一つの下で動作するインライン有機材料堆積ステーションを含む。別の構成では、それはさらに、インライン式およびクラスタツールの両方の特徴構造を組み込む複合設計である。この後者の構成では、堆積ステーションの少なくとも１つが無機層を堆積するように構成され、他方で、少なくとも１つの他の堆積ステーションが有機層を堆積するように構成される。本ツールは特に、多層被膜を個別基板の上に堆積することばかりでなく、フレキシブル基板の上に配置された環境に敏感なデバイスをカプセル封じすることにも適切である。安全システムが、本ツールに対する有機材料の分配を監視するために含まれ得る。
（もっと読む）

粒子状材料（10）を気化させる方法は、1つ以上の容器（15）を用意し、それぞれの容器には少なくとも1種類の成分を含むできれば異なる粒子状材料（10）を収容するステップと、少なくとも1つの容器（15）の中でその粒子状材料（10）を流動化するステップと、少なくとも1つの容器（15）からは断熱されている気化領域（50）を用意するステップを含んでいる。この方法はさらに、それぞれの容器（15）からの粒子状材料をその気化領域（50）に供給するステップと、供給された粒子状材料（10）にその気化領域（50）で熱を加えて気化させるステップを含んでいる。
（もっと読む）

本発明は、有機電気光学デバイスにおける電子輸送層またはホール輸送層、または電子注入層またはホール注入層として有用な材料に関する。この材料は、所謂正電荷またはホールを輸送するのに適した、導電性有機相の一部分を形成することができるかまたはこの一部分であることができる。本発明によるＨＴＬ化合物は、固有にドープされたＨＴＬであり、このＨＴＬは、マトリックス材料および混和されたｐドーパントからなるマトリックス組成物よりも高い均一性および再現可能性で付着を可能にする。
（もっと読む）

本発明は、ドーピングされた半導体材料で構成される層を基板に対して堆積する方法、及び上記方法を実施する装置に関するものである。上記方法によると、ドーピングされた半導体材料は、少なくとも１つの半導体複合材料及び少なくとも１つのドーピング材料を含む。上記方法は、蒸発源を用いて（複数の）半導体材料及び（複数の）ドーピング材料の混合物を気化させ、その結果、上記基板に対して上記混合物を堆積することからなっている。 （もっと読む）

有機発光ダイオード装置に基づいた構造要素の性能だけでなく開口率を向上するために、ディスプレイは、基板、基板に再近傍に形成された第１電極（１３０）、基板から遠い位置に形成された第２電極（１６０）および両電極の間に形成された、少なくとも１層の発光有機層（１５０）を備えている。光は、活性領域において発せられ、２つの電極のうちの１つを透過する。すなわち、第１電極はピクセル構造であり、かつ分離層（１５０）は隣接するピクセル間に形成されている。本発明に係るディスプレイでは、分離層（１５０）は、発光層（１５０）に光学的に結合しており、かつ、光学的に効果的な光散乱を有すると共に、開口率を増加する異質成分（１８０、１９０）を含むことを特徴としている。すなわち、分離層は、第１電極のピクセル構造に適合した微細構造を有しており、また第１電極上に形成されている。
さらに、本発明は、上記ディスプレイの製造方法にも関する。
（もっと読む）

トップ-エミッション型OLEDデバイスの水分汚染を減らす方法は、上面（110）と底面（120）を有する基板を用意し；上記基板の上面の上方に、光を発生させるトップ-エミッション型ELユニット（130）を形成するが、その光が主にその基板を通過することはなく；上記基板の上面の上方に第1の保護カバー（140）を形成し、その基板の底面の下方に第2の保護カバー（160）を形成することにより、それぞれ第1のチェンバー（150）と第2のチェンバー（170）を画定し；上記第2のチェンバーに水分吸収材料（180）を組み合わせ；上記第1のチェンバーと上記第2のチェンバーを連通させる（190）ことにより、上記第1のチェンバーまたは第2のチェンバーに含まれる水分を上記水分吸収材料によって吸収させる操作を含んでいる。
（もっと読む）

本発明は、多重元素の薄膜発光体組成物の堆積中に蒸発する大気から望ましくない原子種をゲッタリングするための方法である。前記方法は、堆積チャンバ内の発光体膜組成物の堆積直前及び／又は堆積中に、１又は２以上のゲッター種を蒸発することを含む。前記方法は、高誘電率定数を持つ厚膜誘電体層を用いるフルカラー交流エレクトロルミネセントディスプレイに使用される発光体材料の輝度及び放出スペクトルを向上する。 （もっと読む）

内包原子イオンに加速電極を用いて加速エネルギーを与え、堆積基板上に予め形成しておいた空のフラーレン膜に内包原子を注入する内包フラーレンの製造方法では、イオンビームを構成する荷電粒子が同一極性のイオンである内包原子イオンのみであるので、荷電粒子間で斥力が働き、特に、低エネルギーのイオン注入においてイオンビームが発散するため、フラーレン膜に高密度のイオンを注入することが困難で、内包フラーレンの収率が低いという問題があった。
内包原子イオンからなる荷電粒子及び該内包原子イオンと反対極性の荷電粒子とを含むプラズマを、磁場発生手段により発生させた均一磁場により、堆積基板上の空のフラーレン膜まで輸送し、該堆積基板に印加したバイアス電圧により内包原子に加速エネルギーを与え、該フラーレン膜に内包原子を注入することにした。プラズマを構成する荷電粒子間に引力が働きプラズマが発散しないので、低エネルギーのイオン注入においても、高密度のイオン注入が可能であり、内包フラーレンの収率を向上できる。 （もっと読む）

本発明は、少ない消費エネルギーで高輝度の光を発生し、熱等に変換される損失が少なく、長期使用による劣化が少ない電界発光材料であって、特に黄色よりも波長の短い青色、緑色等の光を発する無機系の電界発光材料を提供する。 具体的には、下記３種の電界発光材料に関するものである：（１）一般式：ＲＭＯ_３〔式中、Ｒは希土類元素を示す。ＭはＡｌ、Ｍｎ又はＣｒを示す。〕で表されるペロブスカイト型結晶構造を有する酸化物からなる電界発光材料、（２）一般式：Ｒ_２ＣｕＯ_４〔式中、Ｒは希土類元素を示す。〕で表されるペロブスカイト型結晶構造を有する酸化物からなる電界発光材料、及び（３）一般式：ＲＺ_２Ｃｕ_３Ｏ_６〔式中、Ｒは希土類元素を示す。Ｚはアルカリ土類金属を示す。〕で表されるペロブスカイト型結晶構造を有する酸化物からなる電界発光材料。 （もっと読む）

有機材料を堆積する方法が提供される。有機材料が基板に堆積されるように、有機材料を搬送するキャリアガスは、そのキャリアガスの熱運動速度の少なくとも１０％である流速でノズルから噴出される。ある実施形態では、そのキャリアガスを囲う、ノズルと基板との間の領域における動態的圧力は、噴出中、少なくとも１Ｔｏｒｒであり、より好ましくは１０Ｔｏｒｒである。ある実施形態では、保護流体がキャリアガスの周囲に供給される。ある実施形態では、バックグラウンド圧力は、少なくとも約１０^−２Ｔｏｒｒであり、より好ましくは約０．１Ｔｏｒｒであり、より好ましくは約１Ｔｏｒｒであり、より好ましくは約１０Ｔｏｒｒであり、より好ましくは約１００Ｔｏｒｒであり、最も好ましくは約７６０Ｔｏｒｒである。
（もっと読む）