【課題】成膜不良を抑制する成膜装置を提供する。
【解決手段】被処理基板Ｗを収納する真空容器２と、真空容器２内において被処理基板Ｗを戴置すると共に、所定の搬送方向に搬送するホルダー３と、搬送される被処理基板Ｗに対向して真空容器２内に設けられるハース４Ａ，４Ｂと、ハースにプラズマビームを照射するプラズマガン６，７と、ハースに対向するとともに、被処理基板Ｗを挟んでハースと反対側に設けられる歪曲手段１５Ａと、を備え、歪曲手段１５Ａは、電極と、該電極に接続され電圧を印加する電源装置と、を有し、電極には、ハースから飛来する膜材料が有する電荷と逆の電荷を生じる電位が印加される。 （もっと読む）

【課題】成膜不良を抑制する成膜装置を提供する。
【解決手段】被処理基板Ｗを収納する真空容器２と、真空容器２内において被処理基板Ｗを戴置すると共に、所定の搬送方向に搬送するホルダー３と、搬送される被処理基板Ｗに対向して真空容器２内に設けられるハース４Ａ，４Ｂと、ハースにプラズマビームを照射するプラズマガン６，７と、ハースに対向するとともに、被処理基板Ｗを挟んでハースと反対側に設けられる歪曲手段１５Ａと、を備え、歪曲手段１５Ａは、Ｎ極側が材料源に対向する第１の磁石と、Ｓ極側が材料源に対向する第２の磁石と、を有し、ハース４Ａ，４Ｂと被処理基板Ｗとの間の空間に磁界を発生させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】真空中で迅速に基板を反転させる技術を提供する。
【解決手段】本発明の基板反転装置２０は、真空槽であるチャンバー２１内において、基板５０を昇降させる昇降機構６０と、基板５０を挟んで保持する把持部４１ａ、４２ａを有する基板保持機構４Ａ〜４Ｄと、基板保持機構４Ａ〜４Ｄの把持部４１ａ、４２ａを回転させて基板５０の上下関係を反転させる基板回転機構３０とを有する。本発明においては、基板５０を保持した状態で、水平方向に延びる直線を回転軸として基板回転機構３０を１８０°回転させる。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ表示装置の製造工程で用いられる、従来より薄いマスク装置のシャドーマスクを提供する。
【解決手段】基板６が真空処理装置１０内に搬入され、マスク装置１と基板６との位置合わせが行われる。マスク装置１は、枠体８と、枠体８上に配置される金属からなるテープ状のシャドーマスク２と、シャドーマスク２の一端を固定する固定装置３と、シャドーマスク２の他端部を水平方向から鉛直方向に変換する変換部材４と、他端に取り付けられた重り５とを有しており、重り５によってシャドーマスク２に張力が印加される。シャドーマスク２は、張力により弛まないので基板６との間に反応プラズマが入らない。従来より薄いシャドーマスク２によって、マスク装置１の周辺部分にある基板６表面も、より均一に成膜する事が出来る。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ素子をウェット成膜工程と、ドライ成膜工程とを有する製造工程でロールツーロール方式により製造する時、ウェット成膜工程と、ドライ成膜工程とを分断することなく、且つ成膜原料の量に影響されることなく、ドライ成膜工程で連続して成膜することが出来る有機ＥＬ素子の製造方法の提供。
【解決手段】有機ＥＬ素子をウェット成膜工程と、ドライ成膜工程とを有する製造工程を使用し、ロールツーロール方式で製造する有機ＥＬ素子の製造方法において、前記ドライ成膜工程は、成膜条件を独立に制御し得る成膜室と、気圧調整室と、加熱蒸発室とを有する気相成膜ユニットを使用し、前記気相成膜ユニットは前記成膜室の真空を維持し、前記加熱蒸発室と、前記成膜室とを分離及び接合が可能であり、連続して成膜を行うことを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、非発光時において見映えの良い有機ＥＬ素子およびその製造方法を提供することを主目的とする。
【解決手段】本発明は、基板と、上記基板上に形成された透明電極層と、上記透明電極層上に形成され、発光層を含む有機ＥＬ層と、上記有機ＥＬ層上に形成され、第１金属膜および第２金属膜を含む金属電極層とを有する有機ＥＬ素子であって、上記金属電極層が、上記第１金属膜が上記有機ＥＬ層側に面するように配置された第１電極領域と、上記第２金属膜が上記有機ＥＬ層側に面するように配置された第２電極領域とからなり、上記第１電極領域および上記第２電極領域の反射特性が互いに異なり、上記第１電極領域の上記第１金属膜と上記第２電極領域の上記第２金属膜とが電気的に接していることを特徴とする有機ＥＬ素子を提供することにより、上記目的を達成する。 （もっと読む）

【課題】マスクを用いることなく補助陰極配線を形成して表示品質の向上したＥＬ装置を得る。
【解決手段】基板１０の一方の面に形成された第１の電極２５を囲む上面７５と側面７６とを有する隔壁７７と、隔壁７７で囲まれた領域に形成されたＥＬ層を含む発光機能層２６と、隔壁７７及び発光機能層２６を覆う第２の電極２７と、隔壁７７の少なくとも上面７５に形成された第３の電極２０と、を備えるＥＬ装置の製造方法であって、第３の電極２０は導電材料粒子発生源４０から導電材料粒子４８を基板１０に向けて飛翔させて、導電材料粒子４８を隔壁７７の少なくとも上面７５に堆積させる微粒子成膜法により形成された電極であり、微粒子成膜法は、導電材料粒子発生源４０を、導電材料粒子発生源４０と手前側の隔壁７７とを結ぶ線の延長線が、奥側の隔壁７７の側面７６と交差するように配置して行なう微粒子成膜法であることを特徴とするＥＬ装置の製造方法。 （もっと読む）

本発明の教示内容は、ＯＬＥＤや他の種類のディスプレイ装置の一部を成す１以上の基材の上に、１以上の材料（例えば、１種以上の固体など、１以上の薄膜）を積層するための装置および方法に関する。いくつかの実施の形態での開示内容は、１以上の基材の上にインクを積層するための装置および方法に関する。こうした装置には、例えば、インクを格納する１以上のチャンバと、１以上のチャンバ内にあってインクの液滴を噴射するように構成された複数の開口部と、例えば矩形配列の形を取る微細孔配列を有する放出ノズルと、を有し、各微細孔は入口ポートと出口ポートと有し、放出ノズルはチャンバから開口部を介して入口ポートで複数のインク液滴を受け取り、出口ポートから放出する。インク液滴は、放出ノズルの入口ポート上に間隔をあけて定められた固有の位置で受け取られる。いくつかの実施の形態では、複数（例えば３つ）の開口部を有する単一の液体インク格納チャンバが、複数の粒子が懸濁した液体の状態のインクを受け取り、インク液滴はチャンバからほぼ同時に、放出ノズル上の間隔をおいた別々の位置に向けて放出され、放出ノズルはキャリア液を蒸発させてから、固体の粒子を１以上の基材に積層する。 （もっと読む）

【課題】膜欠損を生じさせることなく発光層を形成することができ、製造が容易で、得られる素子の寿命特性を良好なものとすることのできる有機ＥＬ素子の製造方法、有機ＥＬ素子、照明装置、面状光源、及び表示装置を提供する。
【解決手段】本発明の有機ＥＬ素子は、基板上に、陰極、陽極、前記陰極と陽極との間に配置された発光層、および前記陽極および前記発光層の間に配置された金属ドープモリブデン酸化物層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、前記基板の厚み方向の一方から見て前記発光層が設けられる画素領域を囲って隔壁を形成する隔壁形成工程と、前記基板に対して前記隔壁が設置された側から、有機溶媒によって表面を処理する表面処理工程と、前記表面処理工程の後、前記隔壁に囲まれた画素領域に有機発光材料を含むインキを供給して前記発光層を形成する発光層形成工程と、を含む。 （もっと読む）

本発明は、トリアジン誘導体を電子輸送材料として含む有機エレクトロルミネセンス素子に関する。 （もっと読む）

【課題】真空雰囲気を必要とすることなく層を簡易な方法で形成することができ、且つ発光特性及び寿命特性が良好な有機ＥＬ素子及びその製造方法、照明装置、面状光源及び表示装置を提供する。
【解決手段】有機ＥＬ素子１は、基板６、陽極２、金属ドープモリブデン酸化物層７、発光層４、電子注入層５及び陰極３がこの順で積層されて構成される。電子注入層５は、アルカリ金属塩を溶解した層形成塗布液を発光層４の表面上に塗布することによって成膜され、金属ドープモリブデン酸化物層７は、酸化モリブデン及びドーパント金属を同時に堆積することにより得られる。 （もっと読む）

【課題】固体原料を加熱して蒸発させて成膜用の原料ガスを得るにあたって、熱による劣化や変質を抑えながら長時間に亘って安定した量の原料ガスを得ること。
【解決手段】固体原料を貯留する粉体貯留部と、この粉体貯留部から供給される固体原料を溶融させて液体原料を得る粉体受け入れ室と、この粉体受け入れ室から取り出した液体材料を気化させることにより原料ガスを得る気化室と、を設けて、気化室では成膜処理に必要な生成量となるように液体材料に大きな熱量を加えて原料ガスを発生させる一方、粉体受け入れ室では固体原料が溶融できる程度の小さな熱量を加えて熱劣化を抑えながら液体原料を得て、この液体原料を粉体受け入れ室から気化室に向かって通流させる。 （もっと読む）

【課題】発光効率の高い有機エレクトロルミネッセンス素子を、容易に製造することのできる有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法、該製造方法により得られた有機エレクトロルミネッセンス素子、該素子を用いた照明装置、面状光源、及び表示装置を提供する。
【解決手段】 本発明方法は、陽極が形成された基板を用意する工程と、金属ドープモリブデン酸化物層形成工程と、前記陽極の前記発光層が形成される側に、角部を有する形状の画素領域を画成する隔壁を形成する隔壁形成工程と、前記隔壁により画成された画素領域に、発光層を構成する有機発光材料と溶媒とを含む有機発光インキを凸版印刷法を用いて供給して、前記画素領域に発光層を形成する発光層形成工程と、陰極を形成する工程とを有する。 （もっと読む）

有機電子デバイス用のアノードが提供される。アノードは、（ａ）導電性無機材料である第１の層、および（ｂ）金属酸化物である第２の極薄層を有する。
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【課題】有機ＥＬ層への異物の混入や損傷を阻止することができ、しかも製造コストの点で優れた有機ＥＬ素子の製造方法及び有機ＥＬ層の転写装置を提供する。
【解決手段】本発明の有機ＥＬ素子３００の製造方法は、転写基板６１５上に有機ＥＬ層３３０を形成する有機ＥＬ層形成工程と、有機ＥＬ層形成工程で有機ＥＬ層３３０を形成した転写基板６１５の有機ＥＬ層側に被転写基板６２４を重ね合わせて輻射線を照射することにより有機ＥＬ層３３０を転写基板６１５から被転写基板６２４に転写する有機ＥＬ層転写工程と、有機ＥＬ層転写工程で有機ＥＬ層３３０を被転写基板６２４に転写した後の転写基板２００に残った残渣を輻射線を照射することにより除去する残渣除去工程と、を備える。有機ＥＬ層形成工程、有機ＥＬ層転写工程、及び残渣除去工程はいずれも真空中で行われる。 （もっと読む）

【課題】有機ドライジェット印刷ヘッド及びそれを使用した印刷装置及び方法を提供する。
【解決手段】開閉バルブ及びそれを制御する制御ユニットを使用して、パターンを形成する期間で、バルブを規則的に反復開閉させながら、短い高速ジェットの反復噴射方式で有機薄膜を構成してパターンを形成する。これによって、常圧条件でのパターン印刷が可能になり、基板の大面積化及び高精細パターンの印刷が可能になる。また、有機電子デバイス製造の生産性及び経済性を高めることもできる。 （もっと読む）

本発明は、有機発光素子の製造方法に関する。有機発光素子の発光領域（４）内に、発光材料を含み、かつ、２ｎｍ以下の厚さを有する少なくとも１つの層（１０）が原子層堆積法を用いて形成される。
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【課題】発光媒体層を形成する有機電界発光素子において、光取り出し効率の高い正孔輸送層を具備した有機電界発光素子を提供すること。
【選択手段】基板上の第一電極１０２と第二電極１０７の間に少なくとも無機化合物からなる正孔輸送層１０４と有機発光層１０６を含む複数の層からなる有機電界発光素子において、前記正孔輸送層が前記有機発光層から放出される発光光を反射することにより、光取り出しが高効率な有機電界発光素子を提供することができる。 （もっと読む）

工作物上にサブピクセルの行の規則的な配列を形成する方法を提供する。これらのサブピクセルはｃ種類の異なる色を有し、その中のａ種類の色は印刷によって形成される。サブピクセルピッチはｓである。本発明の方法は、（ａ）一列に配列したｚ個の隣接ノズルをａセット有する印刷ヘッドを提供するステップであって、同じセット中の隣接ノズル間の間隔がｐ１＝ｃｓであり、異なるセット中の隣接ノズル間の間隔がｐ２＝（ｃ＋１）ｓであり、印刷ヘッドが工作物に対して第１の位置にあるステップと；（ｂ）ａ種類の色のそれぞれに１つの、ａ種類の異なる印刷インクを提供するステップと；（ｃ）１つのセット中のそれぞれのノズルに同じ色が収容され、異なる色がノズルの各セットに供給されるように、それぞれの印刷インクをノズルに供給するステップと；（ｄ）印刷ヘッドを使用してサブピクセルのａｚ個の行の第１のセットを印刷するステップと；（ｅ）距離ｄだけ、印刷ヘッドに対して横方向に工作物を移動させるステップであって、ｄ＝ｃｚ（ｓ）であるステップと；（ｆ）印刷ヘッドを使用してサブピクセルのａｚ個の行の第２のセットを印刷するステップと；（ｇ）サブピクセルのａｚ個の行が合計ｎセットとなるように、ステップ（ｅ）および（ｆ）をｎ−２回繰り返すステップとを含む。
本発明の方法においては、ａ、ｃ、ｎ、およびｚは、独立して、１を超える整数である。
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【課題】 インライン方式でも使用することができ、更に、熱伝導ガスを用いずに比較的小さい押し付け力、例えば、基板の自重程度の押し付け力で基板と基台間の接触熱抵抗を下げること。
【解決手段】 基板保持装置は、基台と、基台の第一の面に載置される粘着性のある熱伝導シートと、熱伝導シートのプラズマに晒される部分を覆うフィルムと、熱伝導シートの基台と反対側の面に配置された基板を熱伝導シートに押し付ける機構と有する。 （もっと読む）