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Fターム[3K107GG02]の内容

エレクトロルミネッセンス光源 (181,921) | 製造方法、装置 (15,131) | 成膜方法 (6,048) | 乾式 (2,141)

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蒸着 (1,279)
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Fターム[3K107GG02]に分類される特許

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【課題】有機層の厚みのばらつきに起因する視野角特性の悪化、または輝度あるいは色度のムラを抑えることができる表示装置の製造方法および表示装置を提供する。
【解決手段】赤色有機層16Rを、(2L)/λ+Φ/(2π)=mを満たす理論値Lの厚みで形成し、その厚みLdを計測する。次いで、緑色有機層16Gおよび青色有機層16Bについて、各色ごとの理論値Lに、赤色有機層16Rの厚みLdの計測結果に基づいて各色ごとに算出した補正値aを加えることにより、各色ごとに設定値Laを算出する。続いて、その設定値Laの厚みで緑色有機層16Gおよび青色有機層16Bを形成する。補正値aは、例えば、赤色有機層16R,緑色有機層16Gおよび青色有機層16Bの厚みと理論値Lr,Lg,Lbとのずれ量ΔLr,ΔLg,ΔLbが、ΔLr/Lr=ΔLg/Lg=ΔLb/Lbを満たすように算出する。 (もっと読む)


【課題】低抵抗なセラミックス膜とその製造方法を提供する。
【解決手段】式X/Y≧1(ここで、X:前記セラミックス膜のa軸に直交するいずれかの結晶面のうちのX線回折強度の中の最大値、Y:前記金属化合物からなる粉末のX線回折強度が最大値となる結晶面と同一の結晶面における前記セラミックス膜のX線回折強度)を満足する結晶構造が六方晶の金属化合物相を主体としたセラミックス膜を、アスペクト比が2〜7の範囲の柱状粒子を個数比で5〜30%含む金属化合物粉末を気体と混合してエアロゾルを形成し、減圧雰囲気でエアロゾルをノズルから被成膜体へ噴射し被成膜体に形成する。 (もっと読む)


【課題】副画素の配列がデルタ配列やスクランブル配列などの画像表示パネルと同様の表示性能を有する、カラー画像表示パネル及びその製造方法、並びにカラー画像表示装置を提供する。
【解決手段】基板上に形成された第1の電極上に、真空堆積法で有機発光層が堆積され、さらに第2の電極が形成されてなる、少なくとも赤、緑、青の発光色を有する有機EL素子が一定の順に並んで構成される画素が複数配列された有機エレクトロルミネッセンス型二次元カラー画像表示パネルにおいて、各々の有機EL素子は平面形状において一組の平行な二辺を有しており、互いに他色の発光色を有する有機EL素子が、前記平行な二辺で隣接しており、同一の発光色を有する有機EL素子は、前記平行な二辺の平行線方向に隣接して、垂直線に対して傾斜して平行に並ぶストライプ状に配列されていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】基板上に層系、好ましくは少なくとも1層の有機発光半導体材料(OLED)を含む層系を形成するための処理装置を提供する。
【解決手段】処理装置1は、基板をその内部で処理するための1つ以上の処理ステーションA、2から成る集合体と、基板上に堆積された層系上に封止要素を施すための第1封止ツール6aを備える第1封止モジュール5aを備える。更に、処理装置1は第2の封止ツール6bを備えた少なくとも第2の封止モジュール5bを備え、2つの封止モジュール5a、5bを設けることで、処理装置1を連続的に稼動させている間に、そのうちの1つ、例えば第2モジュール5bを洗浄し、その間に第1封止モジュール5aによりコーティング済み基板上に封止を形成する。OLEDコーティングとOLEDコーティング上への封止要素の堆積をコーティング装置により連続的に行う。 (もっと読む)


【課題】プラズマ表面処理に起因する不具合を防止することで、長期に亘って良好な発光特性を得る有機エレクトロルミネッセンス装置を提供する。
【解決手段】基板P上に、画素領域を囲む隔壁構造50と、隔壁構造50内に臨む画素電極41と、画素電極41上に配置される有機発光層40と、有機発光層40を覆う陰極54と、を有する有機エレクトロルミネッセンス装置1である。隔壁構造50は、無機材料で構成される無機隔壁50Bと、有機材料で構成される有機隔壁50Aとの積層構造から構成されており、有機隔壁50Aの表面が無機材料で構成された無機保護膜44で覆われる。 (もっと読む)


【課題】プラズマ表面処理に起因する不具合を防止することで、長期に亘って良好な発光特性を得る有機エレクトロルミネッセンス装置を提供する。
【解決手段】基板P上に、有機材料から構成される平坦化層24と、平坦化層24上に設けられる画素電極41と、画素電極41の上端部を覆うように平坦化層24上に設けられ、平坦化層24を露出させる第一開口部51が形成された無機隔壁50Bと、無機バンク50B上に形成され、第一開口部51を介して平坦化層24に接触する有機隔壁50Aと、画素電極41上に設けられる有機発光層40と、有機発光層40上に設けられる陰極54と、を備えた有機エレクトロルミネッセンス装置1である。有機隔壁50Aが無機材料から構成される無機保護膜44で覆われており、無機保護膜44には有機隔壁50Aを露出させる第二開口部52が形成されている。 (もっと読む)


【課題】脆性基板上に形成された有機素子が、外部回路との接続を行う電極接続部を除いて封止膜で封止された構成の有機素子封止パネルの製造方法において、脆性基板上に複数の有機素子をマトリックス状に形成し、湿式法により封止膜を形成しても、スクライブ工程でのスクライブ不良の発生を低減する。
【解決手段】有機ELパネルの製造方法は、大型ガラス基板上に複数の有機EL素子をマトリックス状に形成する有機EL素子形成工程と、有機EL素子と外部回路との接続を行う電極接続部をマスキングテープで覆った状態で、湿式法により封止膜を形成する封止膜形成工程と、マスキングテープを剥がした後、糊残りを除去する糊残り除去工程と、大型ガラス基板にスクライブラインを形成するスクライブ工程と、スクライブラインに基づいて大型ガラス基板を分断するブレイク工程とを備えている。 (もっと読む)


【課題】電子機器の半導体材料に改良された電荷注入を備える新規電極構造を提供する。
【解決手段】半導体デバイスは、半導体材料及び半導体材料に電気的に接続された電極構造を備える。電極構造は、第1の導体材料で形成された第1の部分及び第2の導体材料で形成された第2の部分を有する。電極構造の第1の部分及び第2の部分の両方は、半導体材料と直接的に接触している。第1の導体材料は、第1の仕事関数を有し、第2の導体材料は、第1の仕事関数と異なる第2の仕事関数を有する。電極構造の第2の部分は、第1の部分と共に接合部点を形成する。電極構造の第1の部分及び第2の部分は、第1の導体材料と第2の半導体材料との間の接合部の端部からフリンジ電界が半導体材料中へ広がるように配置される。 (もっと読む)


【課題】 OLED装置(または他の種類の装置)の密封に利用可能な新しい、改良されたシーリング材およびシーリング技術を提供する。
【解決手段】 装置200への酸素および水分の透過を抑制する方法であって、少なくとも装置200の一部分を覆うようにSn2+含有無機材料202で蒸着し、装置200の少なくとも一部分を覆うように蒸着したSn2+含有無機材料202を加熱処理する各工程を有してなる。Sn2+含有無機材料202は、例えば、SnO、SnOとPの混合粉末、およびSnOとBPOの混合粉末などでありうる。 (もっと読む)


【課題】有機溶剤に対する溶解性が低い低分子系の有機EL材料を、液相法を応用することで画素領域に選択的に配するようにした、有機EL装置の製造方法を提供する。
【解決手段】第1電極111と第2電極との間に有機発光層110bを含む有機機能層を有した有機EL装置の製造方法である。第1電極111上に、溶媒132に可溶な分散材を液相法で成膜し、分散材膜130を形成する工程と、分散材膜130上に、溶媒132に不溶な有機発光材料を気相法で成膜し、有機発光材料膜131を形成する工程と、有機発光材料膜131上に溶媒132を配し、分散材膜130を溶媒132中に再溶解させるとともに、有機発光材料膜131を構成する有機発光材料を溶媒132中に分散させて液状層133とする工程と、液状層133を乾燥し、溶媒132を除去して分散材と有機発光材料とを固化し、有機発光層110bを形成する工程と、を備えている。 (もっと読む)


【課題】真空チャンバ内のパーティクルに起因する不具合の発生を確実に防止することのできる真空成膜装置、真空成膜方法および、この真空成膜を用いた有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】真空チャンバ11内で素子基板2に成膜を行うマスク蒸着装置10において、パーティクルモニタ17によって真空チャンバ11内のパーティクルを監視し、パーティクル量が所定値未満のときには真空チャンバ11内で成膜処理を行う。これに対して、パーティクル量が所定値以上のときには、ガス導入装置14による真空チャンバ11内への窒素ガスの導入と、低真空用真空引き装置15による真空チャンバ11内の真空引きとを行う清浄化処理を実施する。 (もっと読む)


【課題】被処理基板とのアライメントマークと、支持基板とチップとを接合する際のアライメントマークとを高い位置精度で形成することのできる成膜用マスク部材、およびこの成膜用マスク部材の製造方法を提供すること。
【解決手段】マスク開口部22が形成されたチップ20を支持基板30に対して固定することにより形成される成膜用マスク部材10において、チップ20の上面20xには、支持基板との位置合わせ用の第1アライメントマーク24と、被処理基板との位置合わせ用の第2アライメントマーク25とが形成されている。第1アライメントマーク24は貫通穴である。 (もっと読む)


【課題】透明導電膜を備えたロール状樹脂フィルムを製造する際に、生産コストを抑制させた製造方法を提供することにある。
【解決手段】樹脂フィルムF上に透明導電膜を有するロール状樹脂フィルムの製造方法において、前記透明導電膜を成膜する前に、前記樹脂フィルムF上に少なくとも、大気圧もしくはその近傍の圧力環境下にて、バリア膜をプラズマCVD法により成膜し、前記バリア膜上に平坦化膜を塗布により成膜することを特徴とするロール状樹脂フィルムの製造方法。 (もっと読む)


【課題】膜の封止性を保持しつつ膜の内部応力を低減した封止膜により素子を保護する。
【解決手段】マイクロ波プラズマ処理装置は、有機EL素子が形成された基板Gを載置するサセプタ411と、処理容器内にガスを供給するガス供給源443とを有し、処理容器内に供給されたガスからプラズマを生成し、生成されたプラズマにより基板Gを処理する。ガス供給源443は、まず、炭素成分を含有する第1のガスを供給し、供給された第1のガスからプラズマを生成し、生成されたプラズマによりサセプタ411に載置された基板G上のメタル電極520に所定量の炭素成分を含有した応力緩和膜530を積層する。その後、ガス供給源443から炭素成分を含有しない第2のガスを供給し、供給された第2のガスからプラズマを生成し、生成されたプラズマにより応力緩和膜530上に炭素成分を含有しないバリア膜540を積層する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、酸素,水分等のガスや紫外線による電気光学層等の劣化を防止できるようにした電気光学装置の製造方法、及びこれにより製造された電気光学装置,電子機器を提供することを目的とする。
【解決手段】基板20上に、第1の電極23,電気光学層60,第2の電極50を順に積層してなる電気光学素子を有する電気光学装置の製造方法であって、気相成長法により、上記基板20上に、上記電気光学素子を覆うように紫外線吸収層30を形成する工程と、プラズマ雰囲気を伴う気相成長法により、上記紫外線吸収層30を覆うようにガスバリア層40を形成する工程とを備える。 (もっと読む)


【課題】高効率で発光むらの少ない蛍光体膜、及びこの蛍光体膜を製造する蛍光体膜の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明による蛍光体膜は、硫化亜鉛化合物中に添加元素を含んでなる蛍光体膜であって、該添加元素の濃度は、Znに対して、0.2モル%以上5モル%以下であり、当該蛍光体膜の膜厚は、10nm以上2μm以下であることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】長寿命の有機EL装置とその製造方法を提供する。
【解決手段】基板と、この基板上に形成された画素電極111と、この画素電極111上に形成され、画素電極111を画素領域Aごとに区画する開口部4aを有した隔壁4と、開口部4a内に形成された有機機能膜と、この有機機能膜上に形成された対向電極とを有し、隔壁4には、開口部4aを囲む周上の少なくとも一部に、開口部4aに通じる溝状の切欠部42が設けられ、対向電極は、隔壁4上と、切欠部42内と、有機機能膜上との全面を覆って形成され、かつ、少なくとも切欠部42内と有機機能膜上との間に連続して設けられている有機EL装置とその製造方法を提供する。 (もっと読む)


【課題】 従来の薄型の陽極補助電極を有する有機エレクトロルミネッセンス素子を用いた照明装置には、保護膜形成時のスループットの悪さがあり、量産性に大きな課題があった。
【解決手段】 基板上に、陽極と有機EL層と陰極と絶縁性保護層とを有する有機エレクトロルミネッセンス素子の陽極の一部分と接続するように導電性フィルムを貼り付けることにより、薄型・均一発光な照明装置を高スループットで生産できる。 (もっと読む)


本発明は、基礎層20、第1電極層30及び第2電極層40を含む層のスタック15を有する発光素子10であって、有機発光層50が第1電極層30及び第2電極層40の間に挟まれ、少なくとも1つのシャント要素60,60'が、接続端部65及び自由端部66を有し、接続端部65が電極層30,40のうちの1つと接続され、自由端部66が、層のスタック15から突出している、発光素子に関する。本発明は、このような素子を製造する方法にも関する。
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【課題】電子デバイスの作製に際して正孔輸送材料として有用な、新規なポリマー化合物を提供すること。
【解決手段】重合させた後のポリマー主鎖を構成する位置にあり、かつ芳香環どうしを結合する位置にあるチッ素を含む芳香族π共役系モノマーから選ばれた少なくとも1種、およびフルオレン系および/またはチッ素含有複素環を含む芳香族π共役系モノマーから選ばれた少なくとも1種からなり、ただし、これらモノマーの少なくとも1種が架橋性基を含有している、正孔輸送能力をもったポリマー。 (もっと読む)


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