【課題】壁構造体（壁部材）を用いた斜方蒸着によるパターニングを利用しつつ、上部共通電極の被覆不良を回避できる有機ＥＬ表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】所定の素子分離膜上に壁部材を形成する方法と、第一下部電極上に第一有機ＥＬ層を形成する工程と、真空蒸着法により第二下部電極上に第二有機ＥＬ層を形成する工程と、真空蒸着法により第三下部電極上に第三有機ＥＬ層を形成する工程と、前記壁部材を除去する工程と、を有し、前記第二有機ＥＬ層を形成する工程において、前記第三下部電極が前記壁部材によって蒸着蒸気から遮蔽され、前記第三有機ＥＬ層を形成する工程において、前記第二有機ＥＬ層が前記壁部材によって蒸着蒸気から遮蔽されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数の蒸発源ユニットを用いた真空蒸着装置において、蒸発源ユニットの個数を増加させることなく蒸着膜厚の均一性を向上し、かつ、高速に成膜する真空蒸着装置を提供すること。
【解決手段】長手方向（Ｘ方向）を有する蒸発源を、前記Ｘ方向および基板面に沿って垂直な方向（Ｚ方向）に基板と蒸発源を相対的に移動させる機構を有する真空蒸着装置において、
前記蒸発源には蒸着材料が封入された複数の蒸発源ユニット３がＸ方向に所定の間隔をもって配置され、Ｚ方向へ複数回の走査を繰り返す際、往路と復路で前記蒸発源ユニット３をＸ方向に所定のピッチで移動させて成膜する。Ｚ方向への往路と復路の間のＸ方向への小さな移動により、蒸発源ユニット３の個数を増加することなく、膜厚均一性を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】耐久性に優れ、高温保管時の色度ずれが小さい有機電界発光素子の提供。
【解決手段】基板と、該基板上に配置され、陽極及び陰極を含む一対の電極と、該電極間に配置された有機層とを有し、前記有機層が、燐光発光材料と下記式で表される化合物を含む有機電界発光素子（Ｘ¹⁰¹は酸素原子又は硫黄原子を表し、Ｒ¹⁰¹〜Ｒ¹¹⁰は水素原子又は置換基（但し、アルキル基とシアノ基を除く）を表し、複数のＲ¹⁰⁸〜Ｒ¹¹⁰は互いに同一でも異なっていてもよい。Ｌ¹⁰¹は単結合又はアリーレン基を表す）。
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【課題】低電圧、長寿命のＭＰＥ構造の有機ＥＬ装置を提供する。
【解決手段】光透過可能な基板１０と、基板１０上に配置された光透過可能な陽極層１２と、陽極層１２上に積層して配置され、陽極層１２側から正孔輸送層１５₁〜１５_n、有機発光層１６₁〜１６_nおよび電子輸送層１８₁〜１８_nが順次積層された複数の発光ユニットＬＥ１〜ＬＥｎと、発光ユニット間に介在して配置された電荷発生層２２₁〜２２_n-1と、積層方向の最上部に配設された発光ユニットＬＥｎ上に配置された陰極層２０とを備え、電荷発生層２２₁〜２２_n-1に隣接して配置された中間電子輸送層２５とを備え、中間電子輸送層２５は、Ｌｉ₂Ｏを含む電子輸送材料を備える有機ＥＬ装置１。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、材料の損出の少なくできる、あるいは安定した蒸着の妨げとなる内圧の変化を防ぐ蒸発源を提供することである。また、前記蒸発源に適した有機ＥＬデバイス製造装置及び有機ＥＬデバイス製造方法を提供することである。
【解決手段】
本発明は、内部に蒸着材料を内在する坩堝と、前記蒸着材料を加熱し蒸発・昇華させる加熱手段と、前記蒸発・昇華した前記蒸着材料を噴射する蒸着物噴射口をライン状に複数並ぶ蒸着物噴射口部を有する蒸発源において、前記蒸着物噴射口部を複数設け、各前記蒸着物噴射口部毎に開閉する開閉手段を有することを第1の特徴とする。また、本発明は、複数ある前記蒸着物噴射口部のうち少なくとも一つの前記蒸着物噴射口部を開き、そのときに他の前記蒸着物噴射口部の全ての前記蒸着物噴射口部を閉じるように前記開閉手段を制御する制御手段を有することを第２の特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光取り出し効率の向上を図ることが可能な有機ＥＬ素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】有機ＥＬ素子は、基板１と、基板１の一表面側に形成された第１電極２と、第１電極２に対向する第２電極４と、第１電極２と第２電極４の間に介在する有機ＥＬ層３とを備えている。有機ＥＬ素子は、第２電極４が透明電極、第１電極２が反射電極であり、トップエミッション型の有機ＥＬ素子となっている。第１電極２は、基板１の上記一表面上に形成された多数のナノメートルサイズ（ナノメータオーダ）の柱状構造体２１を有し、柱状構造体２１は、最表面が金属表面となっている。 （もっと読む）

【課題】蒸発源の冷却時間を短縮する。
【解決手段】蒸着工程では、蒸着材料を収納する坩堝、坩堝を加熱する加熱部、坩堝内で気体化した前記蒸着材料を前記被処理物に向かって放出するノズル、および坩堝の周囲に配置されるリフレクタ１５を備える蒸発源から、蒸着材料ガスを発生させ、被処理物に蒸着膜を形成する。また、冷却工程では、リフレクタ１５に固定された冷却体１６に冷媒を流して坩堝を冷却する。ここで、冷却工程には、冷却体１６に冷媒ガスを流す冷媒ガス供給工程と、冷媒ガス供給工程の後、冷却体１６に冷媒ガスよりも熱容量が大きい冷媒液を流す冷媒液供給工程と、が含まれる。 （もっと読む）

【課題】電源電圧の不均一による画面内のムラを抑えると共に、非発光点などの品質不良への影響を抑えることが可能な表示装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】基板の表示領域内に設けられた複数の第１電極と、複数の第１電極の間の電極間領域に設けられた補助電極と、電極間領域に、補助電極の外形線の一部に沿って設けられた隔壁と、表示領域に設けられると共に、隔壁の補助電極に沿う側面および補助電極の上面を露出させている、発光層を含む有機層と、有機層の上面および補助電極の上面に設けられた第２電極とを備えた表示装置。 （もっと読む）

【課題】安定した製造およびデバイスの特性を改善することが可能な有機ＥＬ表示装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】複数の下部電極１４上に正孔注入層１６Ａおよび正孔輸送層１６Ｂを共通層として塗付法を用いて形成する。正孔輸送層１６Ｂ上の全面に塗付法により黄色発光層１６Ｃを形成したのち、黄色発光層１６Ｃの一部を結晶化することにより結晶部１６ＣＡを形成する。黄色発光層１６Ｃ上の全面に接続層１６Ｄ，青色発光層１６Ｅ，電子輸送層１６Ｆおよび電子注入層１６Ｇを蒸着法により形成する。電子注入層１６Ｇ上に上部電極１７を形成する。 （もっと読む）

【課題】正孔輸送層および電子ブロック層を溶液塗布法で一括に製膜し、発光層をＩＪ法やＮＰ法で製膜して、画素毎の発光輝度ムラが無い有機ＥＬ素子を容易に製造可能にしている。
【解決手段】隔壁３が形成された基板とインク吸収層付き支持体を圧着し、隔壁３上にインク吸収層４を形成する。 （もっと読む）

【課題】コストを抑えつつ低消費電力化が可能な有機ＥＬ表示装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】複数の下部電極１２上に正孔注入層１４Ａおよび正孔輸送層１４Ｂを塗布法を用いて形成する。青色有機ＥＬ素子１０Ｂに対向する領域を除く正孔輸送層１４Ｂ上に塗布法または蒸着法を用いて黄色発光層１４Ｃを形成したのち、黄色発光層１４Ｃ上の全面に青色発光層１４Ｄ，電子輸送層１４Ｅおよび電子注入層１４Ｆを蒸着法により形成する。電子注入層１４Ｆ上に上部電極１５、保護層１６および封止用基板１７を形成する。封止用基板１７上に各色の有機ＥＬ素子に対応する色のフィルタを有するカラーフィルタ１８を設け色分割する。 （もっと読む）

【課題】従来の成膜装置において、マスクに対するクリーニングは、長時間にわたり行われていた。
【解決手段】成膜室を有し、成膜室は、プラズマを発生させる手段を有し、プラズマを発生させる手段は、成膜室に配置されるマスクを電極として有することができ、マスクに高周波電界を印加して、成膜室に導入されたガスを励起してプラズマを発生することができる。Ａｒ、Ｈ、Ｆ、ＮＦ_３、またはＯから選ばれた一種または複数種を有するガスを用いてプラズマを発生させる。 （もっと読む）

【課題】基板の大型化に伴って蒸着マスクを同等に大型化せず基板より小形の蒸着マスクでも、基板を離間状態で相対移動させることで広範囲に蒸着マスクによる成膜パターンの蒸着膜を蒸着でき、また成膜パターンの重なりを防止すると共に、蒸発源からの輻射熱の入射を抑制し、高精度で高レートな蒸着が行える蒸着装置並びに蒸着方法を提供すること。
【解決手段】蒸発源１と基板４との間に、制限用開口部５を設けた飛散制限部を有するマスクホルダー６を配設し、このマスクホルダー６に前記蒸着マスク２を付設し、前記基板４を、前記蒸着マスク２を付設した前記マスクホルダー６及び前記蒸発源１に対して、前記蒸着マスク２との離間状態を保持したまま相対移動自在に構成し、前記蒸発源１は、線膨張係数がステンレス鋼より小さい材料で形成した蒸着装置。 （もっと読む）

【課題】高精度な蒸着ができ、長時間の連続稼動も可能な蒸着装置並びに蒸着方法の提供。
【解決手段】成膜室30において、蒸発源１から蒸発した成膜材料を、蒸着マスク２のマスク開口部を介して基板４上に堆積して、この蒸着マスク２により定められた成膜パターンの蒸着膜が基板４上に形成されるように構成した蒸着装置であって、前記蒸発源１から蒸発した蒸発粒子の飛散方向を制限する制限用開口部５を設けた飛散制限部を有し、前記蒸着マスク２が付設されたマスクホルダー６を備え、この蒸着マスク２が付設された前記マスクホルダー６が前記成膜室30と往来できるロードロック室32、前記マスクホルダー６が前記ロードロック室32と往来できる待機室33及び装置外部に前記マスクホルダー６を取り出し可能な取出し室34を有する交換室31を備えたことを特徴とする蒸着装置。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧が低く、発光効率が高いタンデム型の有機エレクトロルミネッセンス素子を提供すること。
【解決手段】対向する陽極１２と陰極１６との間に、少なくとも第一発光ユニット１３、第二発光ユニット１５を有するタンデム型の有機エレクトロルミネッセンス素子１であって、第一発光ユニット１３と第二発光ユニット１５との間には、中間ユニット１４が設けられ、中間ユニット１４は、陽極１２側から順に、無機化合物含有層１４１と金属層１４２とを積層して含み、無機化合物含有層１４１は、カルシウムハロゲン化物を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、混合蒸着法によって発光層を製造する場合において、蒸着源に入れた混合物の組成と略同様な組成を有する有機エレクトロルミネッセンス発光層を製造できる方法を提供する。
【解決手段】 本発明の有機エレクトロルミネッセンス発光層の製造方法は、りん光発光性ドーパント材料とホスト材料とを含む混合物を、１つの蒸着源から対象物に蒸着させる工程を有し、前記ドーパント材料の真空度１×１０^−４Ｐａ〜１×１０^−２Ｐａでの昇華開始温度Ｔｄと前記ホスト材料の真空度１×１０^−４Ｐａ〜１×１０^−２Ｐａでの昇華開始温度Ｔｈの差の絶対値が、２０℃以下であることを特徴する。 （もっと読む）

【課題】薄膜材料の利用効率が高く、かつ大面積の基板に均一な厚みの薄膜を成膜できる真空蒸着装置及び薄膜の形成方法を提供する。
【解決手段】
薄膜材料の蒸気を生成する蒸発源３１〜３６と、成膜対象物５１が配置される真空槽１１と、真空槽１１内を真空排気する真空排気装置１２と、蒸発源３１〜３６から蒸気が供給され、真空槽１１内に蒸気を放出させる放出装置２１とを有し、放出装置２１を移動させながら成膜対象物５１に蒸気を到達させ、成膜対象物５１の表面に薄膜を形成する真空蒸着装置１０ａであって、蒸発源３１〜３６を放出装置２１と一緒に移動させる移動装置１５を有する真空蒸着装置１０ａである。 （もっと読む）

【課題】色度の変動を生じることなく発光効率を向上させることが可能な有機ＥＬ表示装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】下部電極１４上に正孔注入層１６ＡＲ，１６ＡＧ，１６ＡＢおよび正孔輸送層１６ＢＲ，１６ＢＧ，１６ＢＢを形成する。赤色および緑色有機ＥＬ素子１０Ｒ，１０Ｇ，について、赤色および緑色の発光層１６ＣＲ，１６ＣＧを塗布法により形成したのち、各発光層１６ＣＲ，１６ＣＧおよび青色正孔輸送層１６ＢＢ上に共通層として接続層１６Ｄ，青色発光層１６ＣＢ，電子輸送層１６Ｅを蒸着法により形成する。電子輸送層１６Ｅ上に電子注入層１６Ｆおよび上部電極１７を形成する。 （もっと読む）

【課題】一対の電極間に発光物質を含む層と透明導電膜を有する発光素子において、透明導電膜と反射金属との電蝕を防止することができる発光素子および発光素子を用いた発光装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、陽極１０１と、陰極１０６との間に、発光物質を含む第１の層１０２、Ｎ型半導体を含む第２の層１０３、透明導電膜から構成される第３の層１０４、ホール輸送媒体を含む第４の層１０５と有し、発光物質を含む第１の層１０２、Ｎ型半導体を含む第２の層１０３、透明導電膜から構成される第３の層１０４、ホール輸送媒体となる材料を含む第４の層１０５、陰極１０６が順に設けられており、陰極は反射金属を含む層を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低コストで連続的に製造できる、有機エレクトロルミネッセンス素子の製法を提供する。
【解決手段】ロールトゥロールプロセスにより有機エレクトロルミネッセンス素子を製造するのに際し、基板２上に第１電極４、有機エレクトロルミネッセンス層５、第２電極用層６をこの順で形成し、この第２電極用層に、粘着面および所定パターンの開口部９を有するシート状の剥離フィルム８を貼り付け、ついで、これを剥離することにより、上記開口部に対応する第２電極用層の部分を第２電極７として残し、その他の部分を剥離フィルムとともに剥離して、所定パターンの第２電極を形成するようにした。 （もっと読む）