【課題】真空チャンバ内のパーティクルに起因する不具合の発生を確実に防止することのできる真空成膜装置、真空成膜方法および、この真空成膜を用いた有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】真空チャンバ１１内で素子基板２に成膜を行うマスク蒸着装置１０において、パーティクルモニタ１７によって真空チャンバ１１内のパーティクルを監視し、パーティクル量が所定値未満のときには真空チャンバ１１内で成膜処理を行う。これに対して、パーティクル量が所定値以上のときには、ガス導入装置１４による真空チャンバ１１内への窒素ガスの導入と、低真空用真空引き装置１５による真空チャンバ１１内の真空引きとを行う清浄化処理を実施する。 （もっと読む）

【課題】偏光した蛍光を発する共役系高分子薄膜の偏光発光を維持したままで、その蛍光量子効率を大幅に向上させる手段を提供する。
【解決手段】一方向に配向した蛍光性共役系高分子化合物を含有する層を有し、偏光した蛍光を発する共役系高分子薄膜の製造方法であって、該共役系高分子化合物を含有する層を有機溶媒蒸気に暴露する製造方法；該製造方法により得られる前記共役系高分子薄膜；陽極と、陰極と、１層以上の有機層を有し、正孔と電子の再結合で発光する有機薄膜からなる発光層と、を含有し、該陽極および該陰極の少なくとも一方が透明または半透明であり、該発光層が該陽極および該陰極の間に設けられた有機ＥＬ素子であって、該発光層が前記共役系高分子薄膜からなる有機ＥＬ素子；前記有機ＥＬ素子を含む面状光源、セグメント表示装置、ドットマトリックス表示装置、または前記有機ＥＬ素子からなるバックライトを含む液晶表示装置。 （もっと読む）

【課題】基板上に、少なくとも第１電極層と、発光層を含む有機化合物層と、第２電極層とを有する有機ＥＬ素子を封止部材により密着封止構造を有する有機ＥＬパネルを製造する時、使用する接着剤、封止部材に制限を加えることなく、有機ＥＬ素子の性能劣化を生じさせない有機ＥＬパネルの製造方法及び有機ＥＬパネルの提供。
【解決手段】基板上に、少なくとも第１電極層と、発光層を含む有機化合物層と、第２電極層とを有する有機エレクトロルミネッセンス素子を封止部材により密着封止構造を有する有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法において、少なくとも前記第２電極層の上面を平滑化処理した後、前記封止部材を積層することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。 （もっと読む）

【課題】封止特性を向上させることができるとともに、電気的特性を向上させることができる電気光学装置及びその製造方法、電子機器を提供する。
【解決手段】陽極と陰極との間に正孔輸送層及び発光層が挟持されてなる複数の画素３を有する基板１と、基板１に対向配置され、基板１にシール剤層を介して接着される封止部材２０とを備えた有機ＥＬ装置Ｓにおいて、基板１あるいは封止部材２０上に光触媒層３７Ａ，３７Ｂが形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 極薄の基板を用いた有機電子デバイスを簡便な方法で製造すること。
【解決手段】可撓性基板の少なくとも片側表面上にプラズマ溶射法により、無機化合物よりなる気体透過防止膜が形成されることとした。 （もっと読む）

基板上に１つまたは複数の有機層を堆積する方法であって、前記層をコーティングしたスタンプ堆積面を前記基板と接触させることにより、前記１つの層または複数の層を前記スタンプの前記堆積面から前記基板に転写させるステップと、（ｉ）ポリマーを可塑剤と接触させるステップおよび（ｉｉ）前記基板およびまたはスタンプを加熱して共形接触および均一な層転写に好都合な条件を創出するステップのいずれかまたは両方のステップと、を備えることを特徴とする方法。 （もっと読む）

有機ＥＬ素子のための色変換層をパターニングする方法を、該パターニング方法を用いて多色発光有機ＥＬディスプレイを製造する方法とともに提供する。該パターニング方法は、有機層を有する支持体上に色変換層を形成する工程、および熱サイクルナノインプリント法を実施することにより色変換層をパターニングする工程を含む。
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【課題】有機材料を劣化させずにＩＴＯ表面に密着して有機膜を形成する。
【解決手段】基板Ｇは、前処理室ＣＭにて前処理としてクリーニングされている。バルブ３００を閉じることにより、有機材料が収納された空間は、処理容器ＰＭ１により画定された空間から遮断される。遮断後、クリーニング装置は、処理容器ＰＭ１内にて基板ＧのＩＴＯ表面を最終クリーニングする。最終クリーニング後、バルブ３００を開くことにより、有機材料が収納された空間は基板Ｇをクリーニングした空間と連通する。連通後、収納された有機材料を気化させ、気化させた有機材料を有機材料が収納された空間から基板Ｇをクリーニングする空間に吹き出させる。これにより、基板Ｇをクリーニングした処理容器ＰＭ１と同一の処理容器内にてクリーニングされた基板ＧのＩＴＯ表面にホール輸送層（第１層の有機膜）を密着して形成する。 （もっと読む）

【課題】フォトリソグラフィー法を用いて有機ＥＬ層をパターニングする有機ＥＬ素子の製造方法であって、欠陥がなく、安定性、信頼性の高い有機EL素子の製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも第１電極層が形成された基板上に、発光層を含む有機エレクトロルミネッセンス層形成工程と、前記有機エレクトロルミネッセンス層上に形成するフォトレジスト層形成工程と、前記フォトレジスト層をパターン露光し、現像するフォトレジスト層パターニング工程と、フォトレジスト層が除去された部分の、前記有機エレクトロルミネッセンス層を除去する有機エレクトロルミネッセンス層パターニング工程と、パターニングされたフォトレジスト層をオゾン水に接触させるオゾン水処理工程と、残存するフォトレジスト層を剥離液によって剥離する剥離工程と、前記剥離工程後に露出した有機エレクトロルミネッセンス層上に第２電極層を形成する第２電極層形成工程とを有する。 （もっと読む）

表面上にコーティングを形成する方法が開示される。この方法が、ポリマー材料と非−ポリマー材料との混合物を含むハイブリッド層を表面上に堆積する段階を含む。ハイブリッド層が、単相を有してよく、または多相を含んでもよい。ハイブリッド層が、単一源の前駆体物質を使用した化学気相成長法によって形成される。化学気相成長法プロセスが、プラズマ助長型であってよく、反応ガスを使用して行われてもよい。前駆体物質が、シロキサンのような有機−シリコン化合物でよい。ハイブリッド層が、シリコーンポリマーのような様々な種類のポリマー材料、及び酸化シリコンのような様々な種類の非−ポリマー材料を含んでよい。反応条件を変えることにより、ポリマー材料と非−ポリマー材料とのｗｔ％比が調整されてよい。ハイブリッド層が、光透過性、不浸透性、及び／又は柔軟性のような、有機発光デバイスへの使用に適した様々な特性を有してよい。
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【課題】正孔輸送層を選択的にＵＶ表面処理を施し、インクジェット方式の発光層を形成する際、印刷品質を向上することができるのみならず、画素間のリーク電流を低減することができる有機電界発光ディスプレイ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板２００上に下部電極２４０を形成するステップと；前記下部電極２４０の一部分を露出させる開口部２５５を具備した絶縁膜２３０を成膜するステップと；基板２００の全面に有機薄膜層を形成するステップと；前記有機薄膜層を選択的に表面処理を施すステップと；前記有機薄膜層の表面処理を施していない部分２６１に発光層２７０を形成するステップ；及び基板２００の全面に上部電極２８０を形成するステップと；を含む。 （もっと読む）

【課題】発光領域内の有機機能層の厚みがほぼ均一である電気光学装置およびその製造方法、電子機器を提供すること。
【解決手段】電気光学装置１０は、第１電極１２と、第１電極１２に対応した開口部１４ａを有する絶縁膜１４と、絶縁膜１４上に形成され、開口部１４ａに対応した範囲を囲むバンク１６と、バンク１６に囲まれた範囲内に液滴配置により形成され、開口部１４ａに対応する発光領域１８ｅを有する有機機能層１８と、有機機能層１８を覆う第２電極２０と、を備え、開口部１４ａは、発光領域１８ｅより広くなっている。 （もっと読む）

【課題】 光透過性が高く且つ防湿性に優れたパッシベーション層を形成することで、優れた発光特性を長期にわたって安定して維持することができる有機ＥＬディスプレイの製造方法を提供する。
【解決手段】 透明な基板１０上に、色変換フィルタ層２１、２２、２３、オーバーコート層３０、パッシベーション層４０、有機発光素子５０、６０、７０、８０が順次積層されている有機ＥＬディスプレイの製造方法において、パッシベーション層４０を形成するために、Ｔｉ、ＡｌおよびＳｉからなる群から選ばれる１つの薄膜４２を形成する工程と、この薄膜４２を紫外線オゾン処理または酸素プラズマ処理により酸化処理する工程とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】水分・酸素遮断層と、陰極分離隔壁との密着性に優れる有機ＥＬ素子の製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも次の工程（Ａ）〜（Ｄ）を有する有機ＥＬ素子の製造方法である。（Ａ）基板上に樹脂を主成分とする領域を形成し、この領域の上に第１バリア層を形成する工程と、（Ｂ）前記第１バリア層の上に第１電極を形成する工程と、（Ｃ）前記第１バリア層の上に第２バリア層８（水分・酸素遮断層）を形成し、この第２バリア層の表面を粗面化する工程と、（Ｄ）前記第２バリア層の上に第２電極（陰極）分離隔壁１１を形成する工程。ここで、粗面化にはドライアイス粒子によるブラスト、不活性ガスを用いるスパッタリング、またはエッチングガスを用いるドライエッチングにより行う。 （もっと読む）

【課題】陽極側及び陰極側の材料及び構成を変更せずに、良好なキャリア注入性、最適なキャリアバランス、キャリア注入の安定性の３つを同時に満足することのできる発光装置を提供する。
【解決手段】本発明の発光装置ＥＬ１は、発光層４を含む１つ又は２つ以上の層からなる機能層７と、前記機能層７を挟持する一対の電極３，８とを備え、互いに隣接する２つの前記層の界面又は互いに隣接する前記層と前記電極との界面に有機溶媒（有機溶媒層Ｓ）が配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、フォトリソグラフィー法を用いて有機ＥＬ層をパターニングする有機ＥＬ素子の製造方法であって、寿命特性に優れる有機ＥＬ素子の製造方法を提供することを主目的とする。
【解決手段】本発明は、フォトリソグラフィー法を用いて有機ＥＬ層のパターニングを行う際に、有機ＥＬ層、保護層およびフォトレジスト層をこの順に積層し、パターニング後にフォトレジスト層および保護層の順に剥離することにより、上記目的を達成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ポリチオフェン誘導体を用いた導電性パターンを有する導電性パターン基板およびその製造方法であって、ポリチオフェン誘導体の特性が劣化しにくい導電性パターン基板およびその製造方法を提供することを主目的とする。
【解決手段】本発明は、基板と、上記基板上に形成され、導電性を有するポリチオフェン誘導体を含有するポリチオフェン層とを有し、上記ポリチオフェン層が、導電性を有する導電性部と、導電性を有さない非導電性部とを有することを特徴とする導電性パターン基板を提供することにより、上記目的を達成する。 （もっと読む）

【課題】種々の機能性材料を付着させうる高解像度のグラフトパターンの形成が可能であり、基板とグラフトポリマーとの密着性に優れたグラフトポリマーパターン形成方法及びそれを用いた基板との密着性に優れ、基板との界面における凹凸が小さい金属膜を形成しうる導電性パターン形成方法を提供する。
【解決手段】（ａ）基板上に感光性レジストパターンを形成する工程、（ｂ）該基板上の感光性レジストパターンの非形成領域に光重合開始剤を付与する工程、（ｃ）感光性レジストパターンを剥離する工程、及び、（ｄ）基板表面に、全面にわたり二重結合を有する化合物を接触させ、全面にエネルギーを付与して、光重合開始剤を付与した領域にグラフトポリマーを形成させる工程、を含む、グラフトポリマーパターン形成方法。 （もっと読む）

【解決課題】 内部への水分の浸入が少なく、従来の封止方法に比べて、発光寿命を維持しつつ表示部外のエリアを小さくした有機ＥＬ素子を提供する。
【解決手段】 基板上に、第１電極２２と、有機発光層を含む有機ＥＬ層２３と、第２電極２４と、上記第１電極および／または上記第２電極と電気的に接続した少なくとも１本の外部駆動用回路との接続用のフレキシブルケーブル２６と、外部封止層２５とを備えた有機ＥＬ素子であって、上記フレキシブルケーブルの端部が、表面改質され、上記第１電極と上記外部封止層との間に挟まれており、上記外部封止層が、上記第１電極、有機ＥＬ層、第２電極、および、フレキシブルケーブル端部を被覆するように、接着剤を介さずに積層していることを特徴とする有機ＥＬ素子である。 （もっと読む）

【課題】外部取り出し量子効率が高く、且つ、長寿命である有機ＥＬ素子、有機ＥＬ素子の製造方法、照明装置およびディスプレイ装置を提供することが出来た。
【解決手段】少なくともｎ層（ｎ≧０）の有機化合物層を有する第１の電極基板の積層面Ａと、少なくともｍ層（ｍ≧０）の有機化合物層を有する第２の電極基板の積層面Ｂとを対向させて貼り合わせる工程を経て作製され、ｍ＋ｎ層（（ｍ＋ｎ）≧１）の有機化合物層を含む有機エレクトロルミネッセンス素子において、該第１の電極基板または該第２の電極基板を構成する金属薄膜と、該金属薄膜の少なくとも一方に形成された有機化合物層との界面に表面改質剤を含有する薄膜を有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。 （もっと読む）