Fターム[3K107GG31]の内容
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Fターム[3K107GG31]に分類される特許
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FPDモジュールの組立装置
【課題】表示基板の位置を検出する際に表示基板の反りや撓みを矯正して、位置合わせの精度を向上させることができるようにする。
【解決手段】FPDモジュールの組立装置20は、表示基板10を搬送する搬送台403と、表示基板10の縁辺に処理を行う処理ヘッド405と、位置検出部42と、位置検出補助部材43とを備えている。位置検出部42は、処理ヘッド405と搬送台403の間に配置されて表示基板10の位置を検出している。そして、位置検出補助部材43は、位置検出部42によって表示基板10の位置を検出する際に、処理ヘッド405の下刃44よりも鉛直方向の上方で表示基板10に当接し、且つ表示基板10を支持することで表示基板10の撓み及び/又は反りを矯正する。
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薄膜形成装置及び有機ELデバイス製造装置
【課題】有機材料の利用効率の向上と装置設置面積の削減とを両立させて、有機ELデバイスの製造コストを低減できる薄膜形成装置及びインライン型の有機ELデバイス製造装置を提供する。
【解決手段】基板16の搬入位置20に配置され、基板16と蒸着マスク17とを相対的に移動させて位置合わせする位置合せ機構15と、基板16が組み込まれた蒸着マスク17を搬送する搬送機構14と、基板16と蒸着マスク17が移動しながら、蒸着マスク17の開口部を通して基板16上に有機材料を積層する成膜機構13と、を備え、少なくとも成膜機構13の前段もしくは後段のいずれか一方において、基板16の搬入位置20もしくは搬出位置21の搬送機構14a、14cと成膜区間の搬送機構14bとが並列配置されている。
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転写用ドナー基板およびこれを用いたデバイスの製造方法
【課題】有機EL材料をはじめとした薄膜の特性を不純物により劣化させることなく、大型化かつ高精度の微細パターニングを可能とする転写用ドナー基板を提供すること。
【解決手段】凸部を有する支持体と、前記支持体上に形成された光熱変換層とを含み、前記支持体の前記凸部上において、前記光熱変換層との間に反射層が備えられている転写用ドナー基板。
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光源装置及びこれを用いた基板の貼り合わせ方法
【課題】光硬化材料を硬化させるための光照射の際に照射対象物の温度上昇を抑えることが可能で、発光時の投入電力の小さい小型の光源装置を提供する。
【解決手段】本発明の光源装置は、光硬化性材料の有効硬化波長に応じた発光ピークを有する発光ダイオード3を複数備え、これら複数の発光ダイオード3により照射対象物に対して光を照射するための光源装置であって、複数の発光ダイオード3が、照射対象物の近傍において当該照射対象物の照射対象領域7に応じて配置されるように構成されている。本発明では、複数の発光ダイオード3が、照射対象物の照射対象領域7に沿って枠状に配列されている。収容容器2の内面2aに、450nm以下の光に対する高反射率被膜が施されている。冷却した空気を収容容器2の収容部4内に流すように構成されている。
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プラズマ処理装置及び前処理方法
【課題】大型の処理対象物の表面に対して分布が均一な処理を安価に行うことができる技術を提供する。
【解決手段】基板5に対して相対移動可能に設けられ、処理ガス供給源8から供給された処理ガスを放電させ、当該処理ガスのラジカルを基板5に向って放出するためのラジカル放出器10を備える。ラジカル放出器10は、処理ガス供給源8から処理ガスのプラズマがそれぞれ供給され且つ互いの雰囲気が隔離された第1〜第4の拡散室11〜41と、第1〜第4の拡散室11〜41にて拡散された処理ガスのプラズマを混合するプラズマ形成室51とを有する。プラズマ形成室51には、基板5の相対移動方向に対し直交するスリット状のスリット53が設けられている。
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有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法及び有機エレクトロルミネッセンスパネル
【課題】有機EL素子基板の電極取出部を、封止基板の任意の位置に高精度でかつ容易に形成することができる有機ELパネルの製造方法と、電極抵抗値起因による輝度ムラが抑制された有機ELパネルを提供することにある。
【解決手段】ロールツーロール方式により、長尺の有機EL素子基板と、封止基板とを貼り合わせて封止構造体を形成する有機ELパネルの製造方法において、該可撓性封止基板に、該有機EL素子基板に設けた電極位置情報に従って電極取出用開口部の形成を行った後、該有機EL素子基板と該電極取出用開口部を形成した封止基板とを貼り合わせて封止構造体を形成することを特徴とする有機ELパネルの製造方法。
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洗浄装置、印刷機、印刷方法および有機層形成方法
【課題】洗浄液を適切に洗浄布に供給する洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄液供給機構30は、洗浄液タンク32と、洗浄液タンク32から洗浄液31を取り出す洗浄液取出ライン33と、入口部34a、吐出側出口部34bおよびタンク側出口部34cを含む流路切換機構34と、洗浄液吐出ライン35と、洗浄液戻りライン36と、流路切換機構34を制御する流路制御部37と、を有している。流路制御部37は、洗浄時において、流路切換機構34の入口部34aが吐出側出口部34bに連結され、これによって洗浄液31が洗浄液吐出ライン35を通って吐出ヘッド16に供給されるよう、流路切換機構34を制御する。また流路制御部37は、洗浄休止時において、流路切換機構34の入口部が34aタンク側出口部34cに連結され、これによって洗浄液31が洗浄液戻りライン36を通って洗浄液タンク32に戻されるよう、流路切換機構34を制御する。
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薄膜積層体製造装置の基板位置制御装置
【課題】帯状可撓性基板を縦姿勢で横方向に往復搬送させつつ成膜を行う薄膜積層体製造装置において、各搬送方向に対応した搬送高さ制御を低コストかつ簡単な操作で実施可能な基板位置制御装置を提供する。
【解決手段】帯状の可撓性基板1の縁部を挟持する一対の挟持ローラ(31,32)と、前記一対の挟持ローラを回転可能かつ相互に接離可能に支持する支持機構(33〜36)と、前記支持機構を介して前記一対の挟持ローラに挟圧力を付与するスプリング42と、を備え、前記基板の縁部に、前記一対の挟持ローラの挟圧力に応じた展張力を作用させるものにおいて、前記スプリングの付勢力を前記支持機構にトルクとして伝達する伝達部材(37〜39)と、前記一対の挟持ローラの挟圧力を調整すべく、前記スプリングの支持点(41b)を前記伝達部材との連結点(39a)の周りで角変位させる操作部材(41)と、前記操作部材を所定の角変位に保持可能な保持手段(44〜46)とを備えた。
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循環精製装置
【課題】複数の精製筒のうちの任意の精製筒の還元再生処理を実行することができる循環精製装置を提供する。
【解決手段】循環精製装置11は、複数の循環回路C1〜C4それぞれに、ボックスGから排出された不活性ガスを受け入れて、不活性ガスに含まれる不純物を除去し、その不活性ガスを精製する精製筒31を備える。また、循環精製装置11は、複数の循環回路C1〜C4の循環に係る制御を実行するコントローラ23を備え、このコントローラ23は、精製筒31を還元再生させる還元再生処理を、複数の精製筒31のうち任意の精製筒31から実行可能にする。
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非接触巻取り体の製造方法及び該非接触巻取り体の製造方法を用いて製造された有機エレクトロルミネッセンス素子
【課題】巻取り体の端面からのガス供給装置を設置することなく、大気開放時にゴミの流入を防止し、且つ、巻取り部材を非接触状態で維持する非接触巻取り体の製造方法。
【解決手段】5.0×10−4Pa以下の圧力条件に保たれた真空容器の内部で、基板の端部に直接突起形状を複数設ける工程、または、少なくとも片面に突起形状を複数設けたテープ状フィルムを該基板の両端に共巻する工程を有し、次いで、前記真空容器を前記圧力条件〜大気圧条件に大気開放する工程を有する非接触巻取り体の製造方法において、該大気開放する工程が、真空状態から1.0×10−3Pa/秒〜0.1Pa/秒の速度で1Pa〜10Paの圧力範囲に装置内を調整する第1の圧力調整工程と、次いで、1.0×101Pa/秒〜5.0×102Pa/秒以下の速度で大気開放する第2の圧力調整工程を有することを特徴とする非接触巻取り体の製造方法。
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脆性材料用スクライビングホイールならびにこれを用いたスクライブ方法ならびにスクライブ装置、スクライブ工具
【課題】交点飛びを防止し、分断面の品質が良好なスクライブ性能を発揮するスクライビングホイールおよびスクライブ装置を提供する。
【解決手段】回転軸12を共有する二つの円錐台13の底部が交わって円周稜線11が形成された外周縁部14と、前記円周稜線11に沿って円周方向に交互に形成された複数の切り欠き15および突起16とからなり、前記突起16は、前記円周稜線11が切り欠かれて残った、円周方向に長さを有する前記円周稜線11の部分で構成され、脆性材料基板に圧接させた状態で転動させて前記脆性材料基板にスクライブラインおよびスクライブラインから前記脆性材料基板の厚さ方向に伸びる垂直クラックを形成する脆性材料用スクライビングホイール10であって、前記切り欠き15は、その円周方向の長さが、前記突起16の円周方向の長さよりも短いようにして、高浸透効果を抑えながらガラス表面に対する食いつきをよくする。
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帯状可撓性支持体の搬送方法、有機エレクトロニクス素子の製造方法
【課題】外気と遮断された環境内で搬送ロールに両端に凸部を有する段付き搬送ロールを使用して帯状可撓性支持体の両端を保持して搬送する時に、座屈による搬送不良の発生が生じない帯状可撓性支持体の搬送方法及びこの搬送方法を使用した有機エレクトロニクス素子の製造方法の提供。
【解決手段】外気と遮断された環境内で、帯状可撓性支持体を搬送ロールとして胴部の両端に受け部を有する段付き搬送ロールを使用して、前記帯状可撓性支持体の両端部を前記受け部で保持し、連続的に搬送する帯状可撓性支持体の搬送方法において、前記可撓性支持体が樹脂フィルムであり、前記段付き搬送ロールの前記受け部の前記胴部の中央部からの高さと、前記受け部の幅との比が0.004から0.03であることを特徴とする可撓性支持体の搬送方法。
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有機EL乾燥方法および装置および有機EL素子
【課題】膜中の残留溶媒量を直接モニタリングすることができ、乾燥ムラのない均一な乾燥を実現する。
【解決手段】基板180上に発光高分子材料を含むインク組成物を塗布し形成された有機膜200の外周部に2点以上のPL発光観察用画素190を設けてPL発光を測定する。PL発光スペクトルは、ドーパント部とホスト部の2つのピークが観察されるため、それぞれのピーク強度の値を算出し、有機膜200中に含まれる残存溶媒量を測定する。測定した外周部の複数箇所の溶媒量から乾燥時間を設定し、また、複数箇所の残存溶媒量を同一とするように制御手段210から試料台110へ信号を送り、発熱量を制御する。これにより、乾燥ムラを防ぎ、均一膜を形成することができる。
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FPDモジュールの組立装置
【課題】表示基板に接続されたTABとPCBとの相対的な位置ずれを防ぐFPDモジュールの組立装置を提供する。
【解決手段】FPDモジュールの組立装置は、PCB搬送部84と、予熱用ヒータ96A,96Bと、カメラ85A,85Bと、本圧着部76とを備える。PCB搬送部84は、PCB103を保持して搬送する。予熱用ヒータ96A,96Bは、PCB搬送部84に保持されたPCB103に接触してPCB103の予熱を行う。カメラ85A,85Bは、ヒータによって予熱されたPCB103の位置を検出する。本圧着部76は、カメラ85A,85Bの検出結果に基づいてPCB搬送部84により搬送されたPCB103と表示基板101に接続されたTAB102とを熱圧着する。
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基板処理方法、表示素子の製造方法及び表示素子の製造装置
【課題】装置全体の大型を抑制できる基板処理方法を提供する。
【解決手段】供給された基板FBに所定の処理を施し回収する基板処理方法であって、基板の一端を他端と接合して基板を無端状に形成する形成工程と、無端状の基板を搬送する搬送工程と、搬送された基板に所定の処理を施す処理工程と、所定の処理が施された基板を回収する回収工程と、を有する。
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有機発光表示パネルセル移送装置
【課題】有機発光表示パネルセルを安定的に移送して、セルガラスの破損を防止し品質を向上させる有機発光表示パネルセル移送装置を提供する。
【解決手段】水平面を形成するベースと、該ベースの上側で離隔されて該ベースと平行な状態で往復して上下方向に昇降しながら、切断された有機発光表示パネルセルをスクライブテーブルから吸着して、該ベース上のローディング位置に移送するセル吸着移送部と、該ローディング位置から該ベースの検査位置の間を往復し、該セル吸着移送部によって、該ローディング位置からローディングされた該有機発光表示パネルセルを該検査位置に移送する第1シャトル検査台移送部と、該ローディング位置と該検査位置で各々昇降し、該ローディング位置と該検査位置との間を往復して、該ローディング位置からローディングされた該有機発光表示パネルセルを該検査位置に移送する第2シャトル検査台移送部とを含む。
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レーザ熱転写装置及びこれを利用した有機発光表示装置の製造方法
【課題】レーザ熱転写装置及びこれを利用した有機発光表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】アクセプタ基板130が置かれるステージ101と、アクセプタ基板130上に配置されるドナーフィルム140を支持し、アクセプタ基板130とドナーフィルム140との間隔を調節できるように、ステージ上で昇降自在な支持部110、120と、ステージ101に備えられ、アクセプタ基板130とドナーフィルム140との間の空間に存在するガスを外部に排出させる排出口101aとを有するレーザ熱転写装置である。これにより、基板とドナーフィルムとの密着特性を向上させ、ラミネーション工程やデラミネーション工程中、基板に形成された有機膜がはがれることを最小化できる。
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箔形状電気光学製品、半製品及びそれらを製造する方法及び装置
湾曲箔形状電気光学製品(1)が提供され、これは収縮有機材料のベース基板層(10)を持つ少なくとも第1の領域を持ち、これは凸側と凹側とを持ち、前記ベース基板層の凸側(12)がさらなる層(20)を含み、前記電気光学製品がさらに、電気光学構造(20)を持つ少なくとも第2の領域を含む。
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ACF貼付装置
【課題】ACFを表示基板やプリント基板に貼付する際に機械式のテンション制御方式を用いずにACFに与えるテンションの制御を行うことができるようにする。
【解決手段】ACF貼付装置1は、ACFテープ110が巻回されている供給リール2と、ベーステープ108を巻き取る回収リール4と、を備えている。更に、張力用モータ27と、制御部37と、を備えている。張力用モータ27は、供給リール2に取り付けられており、回収リール4の巻き取り方向Mと反対方向Nへトルクを供給リール2に加える。また、制御部37は、供給リール2に巻回されているACFテープ110の径Dに基づいて張力用モータ27のトルクを制御する。
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有機ELディスプレイパネル修正設備及び修正方法
【課題】本発明は、微小な欠陥を検出することができ、または/及び画素修復の成功率が高く、或いは/並びに自動化が容易で生産性の高い有機ELディスプレイパネル修正設備及び修正方法を提供することにある微小な欠陥を検出でき、欠陥修復成功率や設備安定性が高く、パラメータ設定が容易で量産性の高い有機ELディスプレイパネル修正設備を提供する。
【解決手段】本発明は、有機EL膜による画素が形成されたマザー基板上の前記画素の欠陥をレーザ光を照射して修正する際に、前記欠陥の位置情報と大きさに基づいて前記レーザ光を透過させる光透過パターンを有するホトマスクを介して前記欠陥の位置に照射することを第1の特徴とする。また、非点灯不良画素の画像と正常画素との画像を比較して非点灯不良画素内の前記欠陥の位置と大きさを検出することを第2の特徴とする。
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