【課題】真空塗膜プロセス、特にスクリーンやディスプレー等のような大面積を持った基板上に有機エレクトロルミネッセンス物質（ＯＬＥＤ）を微細構造化するためのプロセスのための、操作容易なマスクホルダーを提供する。
【解決手段】真空塗膜プロセスは、塗膜工程中基板（３）を受け入れる基板キャリア（２）を含み、基板キャリア（２）は１つ以上の磁石（４）を含む、また、マスク（６）は、マスクのフレームが、塗膜処理される基板に対して基板キャリアの磁石によって保持されるように、磁性体のフレームを有する。 （もっと読む）

【課題】有機エレクトロルミネセント材料（ＯＬＥＤ）を有する基板、特にＯＬＥＤディスプレイ、スクリーン、パネル、等を特に連続生産するための装置及び方法を提供する。
【解決手段】装置は、真空スペースと、コーティングすべき上記基板を搬送するための、少なくとも一部が上記真空スペースに沿って配列されると共に上記基板用のキャリアを有する搬送デバイスとを備えている。上記搬送デバイスは、上記キャリアを搬送するための少なくとも１つのエンドレスループを備えている。上記真空スペースは、第１の部分（３）と第２の部分（４）とを有する少なくとも２つの部分に分割され、上記第１の部分には、上記キャリアを第１の方向（基板搬送方向）に搬送するための、上記搬送デバイスの第１の区域が設けられ、上記第２の部分には、上記キャリアを第２の方向（キャリア戻り搬送方向）に搬送するための、上記搬送デバイスの第２の区域が設けられている。 （もっと読む）

【課題】真空中で塗膜される基板上でマスクを容易に配設、除去および位置決めするためのプロセス」および装置を提供する。
【解決手段】基板キャリア（２）上に基板（３）を供給し、第１の移動装置によっていくつかの座標内で移動可能な保持部材（８）上の電磁石（７）によってマスク（６）を保持し、マスク（６）と基板（３）の、特に横方向の相互の位置を検出し、マスク（６）を基板とほぼ平行に移動するように互いに位置調整し、第１の移動装置によって保持部材（８）をマスクがほぼ基板に垂直に移動するように移動させ、かつ／または第２の移動装置、特に持ち上げ装置によって基板キャリア（２）をマスク（６）方向に移動させることによってマスクを基板に密着させ、電磁石（７）を不作動化し、基板キャリアの磁石（４）によって基板（３）上のマスク（６）を保持することを特徴とする。 （もっと読む）

材料を基板に堆積させるための、熱による物理的蒸着源であって、その材料を収容する細長い容器と、その容器内の材料を加熱してその材料を気化させ、部分圧P_mにするためのヒーターとを備えており、その容器は、長手方向にコンダクタンスC_Bを持っている。この容器は、少なくとも1つの部材と、その容器のそれぞれの側を加熱してその容器の表面に凝縮する材料を減らす端部ヒーターとを備えていて、前記部材の長さ方向には複数の開口部が規定されていて、その開口部の全コンダクタンスがC_Aであって、式（I）を満たす。
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