【課題】従来のステージ装置では、ワークに対する処理精度を維持することが困難である。
【解決手段】ワークＷを支持するワークテーブル２５と、ワークテーブル２５の移動を案内する第１ガイド部８１と、第１ガイド部８１につなぎ合わされており、ワークテーブル２５の移動経路を延長する第２ガイド部８２と、つなぎ合わされた第１ガイド部８１と第２ガイド部８２との間の精度を監視する監視装置８７と、を有する、ことを特徴とするステージ装置。 （もっと読む）

【課題】電子デバイスおよび該電子デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】式（ＩＩＩ）のトリアリールアミン化合物の少なくとも１つ、このような化合物を含む組成物、並びに、これらの混合物を含有する少なくとも１つの層を含む電子デバイスおよび該電子デバイスの製造方法に関する。
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【課題】液滴の塗布量を増大することなく、液滴の充填不良を回避する。
【解決手段】電気光学素子の製造方法は、電気光学素子の構成材料を高沸点溶媒で分散又は溶解させた液滴２６ｂを画素領域４０に塗布する塗布工程と、画素領域４０に塗布された液滴２６ｂを低沸点溶媒の蒸気に曝す蒸気供給工程とを備える。画素領域４０に塗布された液滴２６ｂを低沸点溶媒の蒸気に曝すことによって、液滴２６ｂの部分的又は局所的な濡れ不足を解消することができる。 （もっと読む）

【課題】塗布性が向上する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法および有機エレクトロルミネッセンス素子を提供することにある。
【解決手段】本発明に係る有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法は、一対のリップ２１、２２と当該一対のリップ２１、２２の間に形成されるスリット状の吐出口３１とを備えたダイコーター１が、基材に対し相対的に移動するとともに、前記吐出口３１から塗布液Ｌを塗布することにより塗布層４を形成する塗布層形成工程を有し、前記塗布層形成工程は、前記一対のリップ２１、２２のうち、前記塗布層４が形成されている側のリップ２２の前記基材２表面に対向する面が前記吐出口３１から離れるに従い前記基材２から遠ざかるように傾斜し、当該傾斜の角度θが前記吐出口３１に対向する前記基材２表面に対し１０〜８０°に設定された前記ダイコーター１を用いて、前記塗布液Ｌを塗布するものであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スリットノズルを用いて基板上に塗布液を塗布する基板塗布方法及び装置において、待機時間におけるスリットノズル内の塗布液の乾燥及び酸化等の液劣化を抑制する。
【解決手段】スリットノズル３１から塗布液２０を塗布して塗布膜を形成する第１の工程と、次なる基板上に塗布液２０を塗布せずに待機する第２の工程と、スリットノズル３１の下方位置にその吐出口３０から間隔を経て配置されるローラ部５０に塗布液２０を吐出する第３の工程と、を含み、第２の工程において、スリットノズル３１からローラ部５０へ塗布液２０を吐出させる。こうすれば、塗布液２０が適宜に循環されるので、スリットノズル３１内の塗布液２０の乾燥及び酸化等の液劣化を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】印刷法を用いて有機発光層が形成された有機ＥＬ素子の製造方法について、画素間での膜厚差や膜形状の偏りといった膜不良の発生が少ない、発光ムラの無い有機ＥＬ素子の製造法及び有機ＥＬ素子を提供する。
【解決手段】基板上に画素電極と、隣接する前記が素電極同士をサブピクセルである画素に画定する隔壁と、前記画素に有機化合物からなる有機ＥＬ層の少なくとも一層を凸版印刷法によって、形成してなる有機ＥＬ素子の製造方法において、前記パターニングに用いられる印刷用凸版のパターンがストライプもしくはドットパターンであって、前記パターンの長辺の方向と印刷方向とがなす角度のうち、鋭角θが４５°以上９０°以下である事を特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法としたもの。 （もっと読む）

【課題】簡便な有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法を提供する。
【解決手段】陽極３２と、陰極３４と、陽極および陰極に挟持され、陰極に接している電子注入層４４を含む複数の有機層が積層される積層構造体とを備える有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、積層構造体の少なくとも一部および陽極、又は陽極のいずれかが第１の基材２２上に設けられた第１の構造体１２を準備する工程と、積層構造体のうち、積層構造体の少なくとも一部を除く残部および陰極、又は陰極のいずれかが第２の基材２４上に設けられた第２の構造体１４を準備する工程と、第１の構造体と第２の構造体とを張り合わせて、陽極および陰極に挟持される積層構造体を形成する張り合わせ工程とを備え、第１の構造体を準備する工程または第２の構造体を準備する工程では、イオン性ポリマーを含む電子注入層を形成する、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】ノズルから吐出される液滴の重量ばらつきを高精度に較正可能なノズル吐出量の補正方法、これを用いた液滴の吐出方法、有機ＥＬ素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】本適用例のノズル吐出量の補正方法は、ノズルから吐出される液滴の重量補正を行わない場合の吐出領域に吐出される全液滴の重量の合計値Ａと、あらかじめ設定した所定量Ｂとの差分から、補正後のノズル列単位の液滴の重量と、上記吐出領域に吐出を行う他のノズル列単位の液滴の重量の合計値Ｃが所定量Ｂとなるように、ノズル列単位の数の分の補正量計算を段階的に行う。このような補正は、吐出単位または走査単位を基準として行ってもよい。 （もっと読む）

【課題】 熱式の流量計を使用して塗布液の流量を正確に測定することにより、塗布液の塗布量を正確に制御することが可能な塗布装置を提供する。
【解決手段】 各々流量計を備えたマスフローコントローラ８２、８４は、透光性を有する樹脂製のフィルムから構成される気室７２内に収納されている。この気室７２は、その前面に扉を有する筐体部７１内に収納されている。この筐体部７１の上部には、その内部にファンを備えた気体噴出部７６が配設されている。この気体噴出部７６には、温度制御部７７により温度制御された加圧空気等の気体が供給管７８を介して供給される。これにより、気体噴出部７６から筐体部７１内の気室７２に向けて、温度制御された気体によるダウンフローが供給される。気室７２における供給口とマスフローコントローラ８２、８４との間には、板状部材７５が配設されている。 （もっと読む）

【課題】不活性ガスを印刷装置の設置された空間全体に行き渡らせることなく、基板上に塗布された印刷材料の劣化を抑えることができる印刷装置及び印刷方法を提供する。
【解決手段】印刷装置１は、基板Ｗを載置するとともに搬送するステージ２２を有している。ステージ２２は、印刷処理時における基板Ｗの搬送方向であって、基板Ｗよりも下流側に、不活性ガスを噴射可能なスリットノズル２２２１を有している。このようなスリットノズル２２２１が、パターン形成処理が行われている基板Ｗに対して、基板Ｗの搬送方向の下流側から基板Ｗの表面近傍に向けて不活性ガスを噴射する。 （もっと読む）

【課題】 流量計の校正作業を容易かつ正確に実行することが可能な塗布装置およびこの塗布装置を使用した塗布液塗布方法を提供する。
【解決手段】 塗布液が予め貯留された容器５３は、電子天秤５４上に載置されている。容器５３の上部には、蓋体５６が配置されている。この蓋体５６は、連結部材５８を介してチャンバー５５と連結されており、容器５３の上端からわずかな距離だけ離隔した位置に配置される。校正用支管の先端部は、金属製の細管５７と連結されている。この金属製の細管５７は、容器５３内に浸入し、容器５３に貯留された塗布液中に浸漬している。電子天秤５４は、容器５３およびそこに貯留された塗布液の重量を計測する。 （もっと読む）

【課題】高品質かつ異物が少ない高分子ＥＬ素子の製造方法を提供する。
【解決手段】高分子ＥＬ素子の製造方法であって、基材上に形成された、少なくとも一方が透明または半透明の２つの電極間に高分子発光材料を含む有機発光層を挟持した高分子ＥＬ素子において、前記有機発光層をロールコート法による塗工または印刷によって形成し、前記塗工または印刷にインキドクターを用い、該インキドクターはゴムロール及びエアーナイフであることを特徴とする高分子ＥＬ素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 塗布材を基板上に転写する際に、転写されて塗布材の転写幅を均一にするとともに、このような印刷版の製造を容易にしつつ、生産性の低下を防ぐことができる印刷版および該印刷版を備えた印刷装置を提供する。
【解決手段】 印刷版５０の表面には、所望の画像パターンに対応する複数の版突部５１が樹脂により形成されており、複数の版突部の両端部に位置する両端版突部５１ａの担持面ＳＦが、中央版突部５１ｂの担持面ＳＦよりも大きくなるように形成されている。特に、両端版突部５１ａの担持面の幅Ｄが中央版突部５１ｂの担持面の幅Ｅに対して１．５倍ないし１．７倍の大きさになるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】平板ガラスを用いた中空封止構造でも有機ＥＬ素子の劣化を抑制することができ、また封止ガラスの撓みによる有機ＥＬ素子への損傷を防ぐことができ、凸版印刷法を用いて有機機能材料を形成できる隔壁基板および製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基板上に設けられた格子状の第一隔壁及び第二隔壁と、前記第一隔壁及び第二隔壁により区画された領域内に形成された少なくとも第一電極、第二電極、及び少なくとも有機発光材料を含む有機発光媒体層と、前記格子状の第一隔壁及び第二隔壁の交点に点状スペーサーを有する有機エレクトロルミネッセンス素子であって、点状スペーサーの断面形状が逆テーパー形状であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子である。 （もっと読む）

【課題】簡便かつ高品質の印刷が可能な気泡排出構造並びにそれを用いた反転印刷用版および表示装置並びに印刷方法および表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】反転印刷用版１は基板１０の表面に印刷領域１１ａおよび非印刷領域１１ｂを有する。印刷領域１１ａには印刷パターンに応じた凹部１１が形成されている。非印刷領域１１ｂには凹部１１に連通するよう気泡排出路１２が設けられ、この気泡排出路１２は基板１０の端部に開口を有している。反転印刷用版１のパターンを平板状ブランケットに押し当てる際に、印刷領域１１ａに閉じ込められた気泡は、気泡排出路１２を経て大気中に放出される。 （もっと読む）

【課題】パターンニング基板の開口部にインキを塗布した後にインキを固化する製造方法であって隔壁内でインキが蒸発乾燥した際に平坦に固化させ、高品質の印刷物を得ることができるようにした。
【解決手段】隔壁201 及び開口部202 を有する透明なパターンニング基板200 の開口部にインキ203 を塗布した後に、そのインキを平坦に固化するパターンニング基板の開口部におけるインキの平坦固化方法であって、開口部に塗布されたインキ203 の気層−液層界面における液層表面の中央部を、金属板204A、204B間の電位差（電界）により電気的に引き上げながらインキ203 表面を平坦化して乾燥固化する。 （もっと読む）

【課題】有機材料の溶液乃至分散液を用いた塗布法において、層混合させることなく所望の有機材料を積層することができ、３層以上の複数層の積層が可能であり、重合開始剤などの不純物を排除でき、特殊な装置を用いないことから低コストであり、製膜レート優れていることからタクトタイムが短く、材料の利用効率が高く、塗布面の表面平滑性に優れる有機積層薄膜の製造方法の提供。
【解決手段】有機化合物Ａを含有する第１の層形成工程と、有機化合物Ｂと、特定の溶媒種を含有する第１の溶媒群と、特定の溶媒種を含有する第２の溶媒群と、を少なくとも含有する吐出液を調製する吐出液調製工程と、該吐出液を液滴状に吐出させて該吐出液から該第１の溶媒群を揮発させつつ該第１の層へ着弾させる第２の層形成工程と、を含む有機積層薄膜の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】ノズルから吐出する処理液の切り替えに要する時間を短縮し得る技術を提供する。
【解決手段】スリットノズル１１の内部空間１１Ｓに、４枚の仕切板４３１を有する仕切部材４３を装着する。この４枚の仕切板４３１によって、内部空間１１Ｓに処理液を貯留する貯留空間４１３ａ、４１３ｂ、４１３ｃが形成される。内部空間１１Ｓのうち、仕切部材４３のＹ方向外側両サイドの空間４２３ａ、４２３ｂには、選択的にエア供給部４２１からエアが供給される。空間４２３ａ、４２３ｂのどちらかにエアが供給されると、空間内の圧力が上昇し、仕切部材４３がＹ方向に沿って進退移動する。これにより、処理液を貯留する貯留空間４１３ａ、４１３ｂ、４１３ｃのいずれかと、吐出口１１１につながる接続空間１１１Ｈとが選択的に接続される。 （もっと読む）

【課題】低粘度のインクを用いた印刷において、高精細なパターン印刷の再現性に優れ、かつ、有機エレクトロニクス層の膜厚均一性が高く、特に有機エレクトロニクス層をその端部まで均一な厚さで成膜できる有機エレクトロニクスデバイスの製造方法、及び有機エレクトロニクスデバイスを提供すること。
【解決手段】有機エレクトロニクス層３０を形成するインクに含まれる溶媒に対して撥液性を示す撥液性部１２ａと、該溶媒に対して親液性を示す親液性部１１ａとを有するパターンが形成されたパターン付き基板１０を作製する工程と、ブランケット２２上に前記インクを塗布して有機エレクトロニクス層３０を形成する工程と、パターン付き基板１０に有機エレクトロニクス層３０を接触させて、親液性部１１ａに有機エレクトロニクス層３０を転写する工程とを有することを特徴とする有機エレクトロニクスデバイスの製造方法。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造の印刷機を提供する。
【解決手段】印刷機５は、基材６２が載置されるフレーム５５と、フレーム５５上に配置され、インキが充填される複数のセル６３を有するインキ版６１と、フレーム５５の上方に配置され、基材６２上にインキを転移させる転写ロール４３と、を備えている。またフレーム５５の側方には、連結部５８を介してラックベース３０が取り付けらており、このラックベース３０上にはラック３５が取り付けられている。また転写ロール４３の側方には、ラック３５に上方から係合可能なピニオン４５が取り付けられている。また転写ロール４３を回転駆動する回転駆動機構４６が設けられており、この場合、転写ロール４３の回転駆動により、フレーム５５がピニオン４５およびラック３５を介して水平駆動される。またラック３５とラックベース３０との間にはバネ１１が介在されている。 （もっと読む）