【課題】薄膜パターンの形成を行うことなく撥液層の態様を確認する。
【解決手段】一方の面に蛍光材料を含有する撥液材料から成る撥液材料層３４を有するフィルム３２と一方の面に凸部１７を有する基板３７とを、撥液材料層３４と凸部１７と面接触するように対向配置する第１の工程と、基板３７に対してフィルム３２を相対的に加圧して撥液材料層３４を凸部１７に転写することにより、凸部１７の上面に撥液層３６を形成する第２の工程と、基板３７の一方の面に紫外線５を照射して撥液層３６に含有される蛍光材料を蛍光させ、蛍光６を撮像して取得した画像を検査して撥液層３６の欠陥情報を得る第３の工程と、を有することを特徴とする薄膜形成用基板３７の製造方法。 （もっと読む）

【課題】微細な加工がなされたインキング装置であっても、短絡のない発光素子を形成することが可能であり、印刷を繰り返した場合であっても、良好な印刷を継続することが可能である凸版印刷用インキング装置及びこれを用いた電子デバイスの製造方法とその電子デバイスを提供する。
【解決手段】アニロックスロールのようなインキング装置の凹部１および凸部２に、インキとの接触角を５度以上とするような表面処理し、凹部１には親インキ性を有し、凸部２の表面には撥インキ性表面層３を形成する。また、該装置を用いて、有機ＥＬのような電子デバイスを製造する。 （もっと読む）

【課題】塗布法によって形成された有機膜を焼成する装置において、有機膜への水分の侵入を防止し、水分による有機素子の劣化防止を図る。
【解決手段】焼成装置３は、有機膜が形成された基板４を投入するための投入部５と、基板４上の有機膜に含まれる溶媒を加熱除去して、その有機膜を焼成する焼成部６と、焼成部６から基板４を取り出すための取り出し部７と、を備える。投入部５、焼成部６、及び取り出し部７は、各々の内部が雰囲気として区画されている。これにより、焼成後の有機膜に焼成前及び焼成中の有機膜から水分を含んだ溶媒成分が侵入することが防止され、高品質で欠陥のない有機膜を提供できる。 （もっと読む）

【課題】各層間の界面によるエネルギー障壁の影響が緩和された積層薄膜の作製方法の提供。
【解決手段】（１）溶質を溶媒中に溶解及び／又は分散してなる原料液を噴霧して液滴を形成すること、（２）液滴中の溶媒を揮発させ濃縮すること、（３）濃縮された液滴を基板１４上もしくは基板１４上に設けられた薄膜の上に堆積させて薄膜を形成すること、を順次行って溶質Ａを含む下層を形成する下層形成工程；上記（１）〜（３）を順次行って、前記下層の上に、溶質Ｂを含む上層を形成する上層形成工程；並びに前記下層形成工程及び前記上層形成工程の間に、上記（１）〜（３）を順次行って、溶質Ａ及びＢを含む混合層を形成する混合層形成工程；を含むことを特徴とする薄膜の作製方法である。 （もっと読む）

【課題】スプレー製膜法を利用して、高い膜密度の薄膜を作製する方法の提供。
【解決手段】溶質を溶媒中に溶解及び／又は分散してなる原料液を噴霧して液滴を形成すること、液滴中の溶媒を揮発させ濃縮すること、濃縮された液滴を基板上もしくは基板上に設けられた薄膜の上に堆積させること、を順次含む薄膜の作製方法であって、基板に、液滴径が互いに異なる液滴を同時に堆積させることを特徴とする薄膜の作製方法。 （もっと読む）

【課題】有機電界発光素子の有機層を湿式成膜法により形成するに当たり、グローブボックス等の装置を用いて窒素置換を行うなどの特別な環境制御を必要とすることなく成膜中の劣化を防止して、安価な製造コストで、高効率で駆動寿命が長い有機電界発光素子を提供する。
【解決手段】有機電界発光素子の陽極と陰極との間の有機層を、有機電界発光素子材料及び溶剤を含有する組成物を用いて、以下の成膜環境１〜３のいずれかの環境下に湿式成膜法で成膜した後乾燥する。
成膜環境１：二酸化炭素濃度０．７ｇ／ｍ^３以下で酸素濃度１８〜２２体積％
成膜環境２：硫黄酸化物濃度２．２μｇ／ｍ^３以下で酸素濃度１８〜２２体積％
成膜環境３：窒素酸化物濃度３．１μｇ／ｍ^３以下で酸素濃度１８〜２２体積％ （もっと読む）

【課題】膜厚均一性の高い高分子有機ＥＬパネルを安価に生産できる印刷装置を提供する。
【解決手段】
凸版印刷装置は、回転式の版胴１０２と、凸版１０１と、移動定盤１０７と、被印刷基板１０６と、インキングユニット１０３を含んで構成され、インキングユニット１０３から凸版１０１表面に転写された発光インキを、被印刷基板１０６に転写することで所望のパターンを形成する。凸版１０１にインキを安定形成するため印刷直前に予備転写装置２００の回転ロール２０１にインキを予備転写する。この被印刷基板１０６として有機ＥＬパネルの基板を用い、基板上に有機発光層を形成するためのインキを凸版１０１に転写する発光インキとして用いて、予備転写後に有機発光層形成用インキを基板に転写する。 （もっと読む）

【課題】印刷物中に異物の混入が少なく、かつアニロックスロール上でのインク濃度のバラツキを低減することで、高品質な印刷が可能な凸版印刷装置及び印刷物の製造方法を提供すること。
【解決手段】アニロックスロールに非接触でインキ供給するインキ供給装置と、アニロックスロール洗浄装置として、アニロックスロールの表面に洗浄液を供給する洗浄液供給ユニットと、洗浄液が供給された後のアニロックスロールに加圧された気体を噴射する送風ユニットと、アニロックスロールの表面に供給された洗浄液を受ける洗浄液回収ユニットと、を備える凸版印刷装置とする。 （もっと読む）

【課題】キャピラリーコート法によって膜厚のむらを抑制した有機ＥＬ層を形成することが可能な発光装置の製造方法を提供することにある。
【解決手段】有機ＥＬ層となる塗布液を貯留するタンクと連通され、このタンクから供給される前記塗布液を吐出するノズルを、該ノズルの上方に配置される支持基板を含む被塗布体に近接させ、ノズルから吐出される塗布液を前記被塗布体に接液し、被塗布体に塗布液が接液した状態で、被塗布体とノズルとを相対移動させて前記塗布液を塗布成膜し、前記有機ＥＬ層を形成する工程を含み、塗布液を接液した後であって、被塗布体とノズルとを相対移動する前に、塗布液が接液した状態を維持したまま、被塗布体とノズルとの相対移動を開始する時のタンクの位置よりもタンクを下降させ、その後、被塗布体とノズルとの相対移動を開始する時のタンクの位置までタンクを上昇する、発光装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 リペア作業を安定して継続することができ、かつ、リペア品質の維持管理も容易となる手段を提供する。
【解決手段】 表示装置の常時輝点となる表示欠陥部分に、遮光性の液体材料を塗布し、常時滅点化させる、表示欠陥のリペア装置及び方法において、
遮光性の液体材料を溜める容器部と、容器部内に棒状部材を配し、棒状部材を長手方向に往復動作させる往復駆動部を備え、容器の表示装置と対向する部分には開口部が設けられており、棒状部材の先端部は、往復駆動部の動作により、開口部の外側と内側とに移動できるように配置されており、開口部の外側には、開閉可能な構造を有する外気遮断機構を備え、外気遮断機構が閉じた状態で、転写塗布部の先端部を覆う状態となり、外気遮断機構が開いた状態で、保持された遮光性材料を、表示欠陥部分の表面に付着させて、表示欠陥部分に転写塗布させる、表示欠陥のリペア装置及び方法。 （もっと読む）

【課題】金属基材のような反射率の高い基材を用いた凸版であっても、良好なエッジ検出ができる版材が得られ、さらには欠陥検査機も併用できることで、安定的かつ高精度の印刷用刷版の管理を行うことを可能とする高精細パターン形成用凸版を提供する。
【解決手段】印刷用凸版１００の樹脂層により形成される凸部パターン１０１と凸部パターン１０１を支持する金属製の基材１０５との間に、少なくとも４００ｎｍから８００ｎｍの波長領域の光を乱反射する光乱反射層１０４と、光乱反射層１０４に積層されて光乱反射層１０４の端面が印刷用凸版１００の端面から外方に露出しないように覆う光透過層１０３とを有する。 （もっと読む）

【課題】 パターン印刷の際、印刷されるパターンの線幅、膜厚、印刷位置の均一性を向上させるパターン印刷装置および凸版印刷版５０を提供する。
【解決手段】 基板９０上に所望の画像パターンを印刷するパターン印刷装置において、版胴３３の外周面に装着された凸版印刷版５０の表面には、所望の画像パターンに対応する凸部５５１を一方面の画像形成領域５５に設ける基部５３が形成されている。そして、供給ローラ４３により凸版印刷版５０の表面に印刷材料が供給されつつ、版胴３３が回転し凸版印刷版５０を押圧することで、凸部５５１を介して画像パターンが基板９０に印刷される。その際、凸部５５１が押圧されることによって生じる凸部５５１ａの変形を抑制するため、基部５３の両側部あるいは全周部には補強部５７が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 往復移動するノズルに対して可撓性の塗布液供給管により塗布液貯留部から塗布液を送液した場合においても、塗布液の流量を一定に維持して塗布液を均一に塗布することが可能な塗布装置を提供する。
【解決手段】 ガラス基板に対して塗布液を吐出する複数のノズル２３と、このノズル２３をガラス基板の表面に対して平行な主走査方向に往復移動させる主走査方向移動機構と、塗布液貯留部２４から複数のノズル２３に対して塗布液を送液するための可撓性の塗布液供給管６４と、各ノズル２３と塗布液供給管６４との間に配設され、ノズル２３と一体となって移動するとともに、そこを通過する塗布液の圧力変動を吸収する圧力変動吸収機構７０とを備える。 （もっと読む）

【課題】マスキング部材を使用することなく、塗布領域のみに平坦かつ所望の厚みの有機ＥＬ層を備える有機ＥＬ発光装置の製造方法及びこれに用いられるプラズマ処理装置並びに電子機器を提供する。
【解決手段】有機ＥＬ発光装置の製造方法は、基板上の画素形成領域に有機ＥＬ材料を塗布して有機ＥＬ層を有する複数の画素を形成する第１の塗布工程と、プラズマガスを用いて複数の画素のうちの一部の画素から少なくとも有機ＥＬ層を除去する除去工程と、を備える。また、プラズマ処理装置はプラズマガスＰｇを生成するプラズマ生成手段と、プラズマ生成手段から供給されたプラズマガスＰｇを射出するノズル部を有するプラズマヘッド６６０と、ノズル部とプラズマ処理されるべき画素とを対向させる位置合わせ手段と、を備え、ノズル部のプラズマ射出口の面積は画素の開口部面積以下である。 （もっと読む）

【課題】 撮像手段の主走査方向の移動時に周期性振動が発生した場合においても、正確に塗布軌跡を測定することができ、これによりノズルの位置調整を正確に実行することが可能な塗布装置を提供する。
【解決手段】 塗布軌跡を撮像する撮像部は、その主走査方向の撮像中心位置が塗布軌跡Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３、Ｔ４の周期性振動の周期Ｓの半分だけ離隔した位置となるように配置され、塗布軌跡Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３、Ｔ４の周期性振動の１周期のほぼ全域の領域を撮像する一対のＣＣＤカメラ９０ａ、９０ｂを備える。 （もっと読む）

【課題】ノズル穴での液滴の吐出異常を簡単かつ迅速に検出することのできるインクジェット印刷装置を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド4 のノズル穴5 にてメニスカスコントロールによるメニスカスの微振動を行う機構を備えたインクジェットヘッドと、前記メニスカスの微振動を観察する光源とカメラ9 を備えた吐出観察装置とを設けたインクジェット印刷装置であって、前記吐出観察装置がメニスカスの微振動を観察して、ノズル穴での液滴の吐出異常を検出する。 （もっと読む）

【課題】凸版印刷法による有機層の成膜において均一な膜形成ができる印刷用凸版、並びにそれを用いた発光輝度ムラのない有機ＥＬ素子及び電子デバイスの製造方法を提供すること
【解決手段】印刷方向と平行な方向に長いストライプ状の凸部が基材上に１つ以上形成された凸部パターンからなり、前記ストライプ状の凸部は少なくとも被印刷基板と最初に接触する印刷開始側から被印刷基板と最後に接触する印刷終了側を有し、インキ供給手段によって前記凸部上に供給されたインキを被印刷基板に転写する凸版印刷法に用いられる印刷用凸版であって、前記ストライプ状の凸部の幅は前記印刷開始側から前記印刷終了側にかけて一様に細くなっていることを特徴とする印刷用凸版。 （もっと読む）

【課題】下層の溶解を回避しつつ、表面平滑性の高い薄膜を、ウェットプロセスで作製可能な方法の提供。
【解決手段】溶質を溶媒中に溶解及び／又は分散してなる原料液を噴霧して液滴を形成すること、液滴中の溶媒を揮発させ濃縮すること、濃縮された液滴を基板上もしくは基板上に設けられた薄膜の上に堆積させること、を順次含む薄膜の作製方法であって、固形分濃度Ｃ₁の液滴を堆積させた後、Ｃ₁＞Ｃ₂を満足する固形分濃度Ｃ₂の液滴を堆積させることを特徴とする薄膜の作製方法である。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ素子のような微細な構造の形成の際における異物の混入を効果的に抑制することが可能な発光装置の製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】印刷装置３００の制御部３０１は、予め記憶部３０２に記憶されているインク補充パターンに基づいて、ヘッド３０３に有機層の材料となるインク３４０をアニロックスロール３１０に向けて吐出させる。このとき、制御部３０１は、前記インク補充パターンに対応するアニロックスロール３１０上の領域、即ち版胴３２０への転写によりインク膜３４１が除去された部分に選択的にインクを吐出させて補充インク膜３４１ａを形成する。補充インク膜３４１ａは、残留しているインク膜３４１と一体となることでアニロックスロール３１０の全周に亘って均一なインク膜３４１となる。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ材料の使用効率を向上させ、製造コストを低減させることが可能な発光装置の製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】印刷装置３００の制御部３０１は、予め記憶部３０２に記憶されている印刷パターンに基づいて、ヘッド３０３に有機層の材料となるインクをアニロックスロール３１０に向けて吐出させる。このとき、制御部３０１は、前記印刷パターンに対応するアニロックスロール３１０上の領域に選択的にインクを吐出させてインク膜３４１を形成する。その後、アニロックスロール３１０からフレキソ版を備える版胴３２０へインクを転写し、版胴３２０は基板３１上にインクを印刷することで有機層を形成する。 （もっと読む）