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Fターム[3K107GG35]の内容

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【課題】有機発光素子に対する水分の浸入を防止することにより、発光特性の劣化が発生することがなく、信頼性の高い有機発光装置を作製する。
【解決手段】基板101と、基板101上に設けられた有機発光素子と、有機発光素子を覆う樹脂保護膜109と、樹脂保護膜109を覆う無機保護膜110と、から構成される有機発光装置の製造方法において、樹脂保護膜109をスクリーン印刷法で形成する工程を含む。スクリーン印刷工程は、基板101上の印刷領域の周囲に、スクリーン印刷版が接触しないようにして樹脂保護膜109を形成する。 (もっと読む)


【課題】塗布により発生する汚染物質の拡散を防止しつつ、塗布スペースのクリーン度を確保し、基板へのパーティクルの付着を抑制する塗布装置を提供する。
【解決手段】基板1およびノズルヘッド13のノズル噴出口を囲むように第1のブース12を設け、かつ第1のブース12を囲むように第2のブース14を設置し、第1のブース12内の圧力を第2のブース14内の圧力より高くすると共に、第2のブース14内の圧力を第2のブース14外の圧力より低くする。 (もっと読む)


【課題】本発明は基板処理システムに係り、さらに詳しくは、有機化合物を基板にコーティングする過程において有機化合物の拡散によるチャンバー内部の汚染を防ぐ防汚手段を有する基板処理システムに関する。
【解決手段】本発明に係る基板処理システムは、チャンバーの内部において基板に有機物を噴射するが、前記基板から離れて冷却剤の循環する冷却通路が内部に形成された冷却プレートを有して前記基板にコーティングできずに脱落した前記有機物の拡散を防ぐ噴射部と、前記チャンバーの外側下部に冷却トラップが設けられ、延びる長手方向と交差する方向に分岐または折曲した個所が形成されたポンプ連結管を介して前記噴射部と連結されるポンプとを有するコーティングモジュールと、前記有機物がコーティングされた基板に紫外線ランプを介して紫外線を照射するが、前記基板と前記紫外線ランプとの間に配備される透過窓を加熱する加熱コイルを有する硬化モジュールと、を備える。 (もっと読む)


【課題】基材の全面にわたって均質な機能膜を製造することができる機能膜の製造方法を提供する。
【解決手段】機能膜の成分を溶媒に溶かした機能膜溶液(有機発光材料インク14)を溶液吐出ノズル6から連続的に吐出して、その吐出された前記機能膜溶液を、溶液吐出ノズル6に対して相対的に移動する基材1に塗布する際に、溶液吐出ノズル6の近傍に配置された静圧ノズル7から、弾性体層4に支持された基材1へ気体13を噴出して、その噴出された気体13による加圧力で基材1を変形させ、基材1上面の偏肉よる凹凸を減少させる。 (もっと読む)


【課題】大面積を効率的にパターン塗布可能な塗布法を提供する。
【解決手段】本発明の塗布方法は、塗布液を上方に吐出するノズルに対して上方に配置される被塗布体に前記塗布液を塗布する塗布方法であって、ノズルから吐出される塗布液が前記被塗布体に接液した状態で、該ノズルと被塗布体とを所定の塗布方向に相対移動する塗布工程と、前記塗布液を前記被塗布体から離液させた状態で、前記ノズルと被塗布体とを前記塗布方向に相対移動する非塗布工程とを含み、複数のスリット状吐出口を備えるノズルを用いて、前記塗布工程と前記非塗布工程との2つの工程を交互に繰返すことを特徴とする塗布方法である。 (もっと読む)


1つの実施の形態における本発明は、蒸発材料を含んだ複数の気体流を基材に送り出すという形で、蒸発材料を運ぶ第1の気体流を基材に提供して基材上で積層させること、気体流を囲む気体カーテンを形成することにより、目標印刷範囲を越えて気体流が拡散するのを防ぐこと、蒸発材料を目標印刷範囲で凝縮させること、に関する。また、別の実施の形態では、熱を利用して蒸発材料の流れと積層の厚みとを制御する。 (もっと読む)


【課題】凸版印刷法による有機発光層の形成において、面内膜厚が均一で、欠陥やムラのない膜形成を行うことのできる印刷用凸版を提供する。
【解決手段】凸部201Aの接触面と同一面を有し複数の凸部201Aを接続する接続部201Bを備えることにより、各接触面を接続部201Bを介して接続することによって、アニロックスロールから版凸部上に転写されたインキの流動を版凸部上で可能にし、それによって版凸部上のインキ量の不均一性を緩和した。 (もっと読む)


【課題】溶剤の蒸散や固形成分の濃度にかかわらず、液滴吐出装置からの液滴吐出量を高い精度で計測することのできる液滴吐出量測定方法、および当該液滴吐出量測定方法を利用した有機EL装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】固形成分および溶媒を含む機能液を導入したインクジェット方式の液滴吐出装置2により吐出した機能液の液滴Mの量を測定するにあたって、検査面11上に機能液の液滴Mを吐出着弾させた後、液滴Mから溶剤を蒸散させて固形ドットDとする。その際、液滴Mからの溶剤の蒸散に伴って液滴Mを堆積収縮させて液滴Mの着弾面積よりも固形ドットDの面積を狭くする。しかる後に、固形ドットDを画像認識して固形ドットDの体積を測定する。 (もっと読む)


【課題】真空蒸着を行った後のマスク部材をクリーニングするに当って、負荷を最小限に抑制したクリーニング時におけるマスク部材及びクリーニング装置を提供する。
【解決手段】マスク部材1をドライ洗浄ステージ11で鉛直状態に保持して、レーザ発振器からスキャニング光学系を介してレーザ光のパルスをマスク板の表面にスポット的に照射し、マスク板表面の蒸着物質を、マスク板と蒸着物質との間の熱膨張率の差で破砕させ、その砕片及び薄片を長尺ノズルによる負圧吸引力の作用で除去し、次いでウエット洗浄ステージ14において、溶剤洗浄部12で超音波洗浄を行い、シャワー洗浄部13で溶剤を用いてマスクフレームを含めたマスク部材の全体をクリーニングする。 (もっと読む)


【課題】ノズル間の液滴吐出量のバラツキを抑制する。
【解決手段】本発明の液滴吐出装置は、区画領域PX1,PX2の配置間隔が異なる複数の吐出領域PA1,PA2に液滴を吐出するものである。副走査方向の移動間隔δを区画領域PX1の配置間隔の整数倍とし、区画領域PX1に液滴を吐出するときには、区画領域PX1と重なる特定のノズルNからの液滴吐出量の分布に基づいて、各ノズルNから吐出される液滴吐出量が所定の適正量に近づくように、駆動素子の駆動波形を制御する。一方、区画領域PX2に液滴を吐出するときには、区画領域PX2と重なるノズルNを1主走査毎に選択し、選択したノズルNから液滴を吐出させると共に、選択され得る全てのノズルの組み合わせ(吐出パターン)についての平均的な吐出量の分布に基づいて、各ノズルNから吐出される液滴吐出量が所定の適正量に近づくように駆動素子の駆動波形を制御する。 (もっと読む)


【課題】本発明は欠陥がなく印刷品位の高い、高精細な印刷パターンを形成する凸版印刷機を提供することを目的とする。
【解決手段】回転式の版胴11の周面に発光パターン形成用の凸版が装着されている。定盤14に被印刷基板15が取り付けられている。支持基台13は、版胴11を回転可能に支持し凸版12と被印刷基板15とが接する方向に版胴11または定盤14の一方または双方を相対的に移動可能に支持している。アニロックスロール161は、凸版12の表面にインキを供給する。凸版12の版面12bに塗布されたインキは、凸版12が被印刷基板15と接点をもった時点で被印刷基板15上に転写される。定盤は、凸版12と被印刷基板15の接点(接触点)Pが、版胴11の中心Oを通り水平方向に延在する仮想直線L上または仮想直線Lの上方に位置するように配置されている。 (もっと読む)


【課題】非接触支持装置を利用しつつも、安定した有効なノズルプリンティング法により塗布をおこなう装置を提供すること。
【解決手段】基板に流動性材料を塗布するための塗布装置であって、ノズル、液受部、浮上支持ユニット、ノズル移動機構、基板移動機構、制御部を備え、その浮上支持ユニットおよび液受部の配置が、ノズルが被塗布基板に対して液柱を形成している場合に浮上支持ユニットが前記ノズルの直下となるように、または上述のノズルが被塗布基板の範囲外で液柱を形成している場合に液受部のいずれかがノズルの直下となるように行われる、塗布装置。 (もっと読む)


【課題】塗布液を基板に塗布する際、基板外に吐出される塗布液が当該基板へ影響しない塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布装置は、ノズル、ステージ、ノズル移動機構、液受部、および気体供給機構を備える。ノズルは、その先端部から塗布液を吐出する。ステージは、基板をその上面に載置する。ノズル移動機構は、ステージ上の空間において、当該ステージ面を横断する方向にノズルを往復移動させる。液受部は、横断する方向に沿ってステージ上から外れた位置にノズルより塗布液を吐出させつつノズル移動機構が当該ノズルを移動させる際、当該ノズルからステージ外に吐出された塗布液を受ける。気体供給機構は、少なくとも横断する方向に沿って液受部上の位置からステージ上へノズルより塗布液を吐出させつつノズル移動機構が当該ノズルを移動させる状態において、当該ノズルが移動する方向に対して当該ノズルの後方となる空間に所定の気体を供給する。 (もっと読む)


【課題】光硬化性を有する液状材料を用い、高精度な液滴吐出を実現することができる液滴吐出装置および液滴吐出方法を提供すること。
【解決手段】本発明の液滴吐出装置は、ステージ20に載置されたワークWの描画領域とは反対の面側に設けられ、描画領域全域に向けて、液状材料を硬化する光を出射し得る光出射部22を備え、液滴吐出ヘッドは、描画領域の少なくとも一部の領域上に液状材料Lを付与した後に当該領域上から退避し、光出射部22は、液滴吐出ヘッドが前記領域上に存在するとき、前記領域に向けて光を出射せず、液滴吐出ヘッドが前記領域上から退避したとき、前記領域に向けて光を出射するように構成されている。 (もっと読む)


減圧乾燥方法が提供されている。この方法は:フィルム形成性材料および少なくとも1種の溶剤を含有する液体組成物をワークピース上に堆積させて湿潤層を形成するステップ;ワークピース上の湿潤層を、凝縮器を備える減圧チャンバに入れるステップ;および、湿潤層を、−25〜80℃の範囲内の制御温度、および、10-6〜1,000Torrの範囲内の適用された減圧下で、1〜100分間の間処理するステップ;を含み、ここで、凝縮器は、溶剤が適用された減圧で液体として凝縮されることとなる温度で維持される。
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【課題】膜成長性を適切に制御することができ、均質性および機能性を向上させた薄膜を形成することができる薄膜形成方法を提供する。
【解決手段】基板2に滴下された薄膜形成材料を含む溶液の溶媒が揮発してなる結晶性薄膜5の形成方法であって、第1の溶液1を上記基板2の特定領域に滴下する第1の滴下工程と、第1の溶液1中に上記薄膜の成長核3が形成されるまで、第1の溶液1の溶媒を揮発させる第1の揮発工程と、第2の溶液4を上記特定領域に滴下して第1の溶液1と混合する第2の滴下工程と、第1の溶液1と第2の溶液4とが混合した溶液の溶媒を揮発させ、結晶性薄膜5を形成させる第2の揮発工程とを含んでおり、第1の滴下工程における第1の溶液1が含む上記薄膜形成材料の濃度は、第2の滴下工程における第2の溶液4が含む上記薄膜形成材料の濃度よりも低いことが望ましい。 (もっと読む)


【課題】各ノズルから吐出される塗布液の流量管理が容易となる塗布装置の流量設定方法および塗布装置を提供する。
【解決手段】単一の供給源から本管を介して供給される塗布液を複数の支管に分流し、当該支管にそれぞれ設けられた支管流量計測手段によって当該支管を流動する塗布液流量を計測して、当該支管に接続されたノズルから塗布液をそれぞれ吐出する塗布装置における塗布液の流量設定方法である。流量設定方法は、直列供給工程および流量計測調整工程を含む。直列供給工程は、支管流量計測手段をそれぞれ直列に接続し、供給源から当該直列に接続された支管流量計測手段に塗布液を供給して、当該供給された塗布液をノズルの1つから吐出させる。流量計測調整工程は、直列供給工程が直列に接続された支管流量計測手段に塗布液を供給している状態において、当該支管流量計測手段におけるそれぞれの塗布液流量の計測結果を調整する。 (もっと読む)


【課題】受圧膜体への気流の影響を排除することができる圧力調整弁および液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】バルブハウジング71の1次室75と2次室76とを連通する連通流路78に設けた弁体84を、2次室76の1の面を構成する受圧膜体73により大気圧基準で開閉し、流入ポート81を介して1次室75に供給した液体を、圧力調整して2次室76から流出ポート86を介して供給する圧力調整弁27であって、受圧膜体73の挙動を許容すると共に大気に連通する空間を存して、受圧膜体73を覆う風防カバー51を備えた。 (もっと読む)


【課題】定期的に重量測定処理を行なう場合でも、描画処理におけるタクトタイムを短縮すること。
【解決手段】液滴吐出装置1は、ワークWにインクジェット方式で描画を行なう複数の機能液滴吐出ヘッド17と、ワークWを搭載するワークステージ21と、ワークWを主走査方向に移動させるワーク移動手段22と、複数の機能液滴吐出ヘッド17からの捨て吐出を受けるフラッシングユニット14と、複数の機能液滴吐出ヘッド17の吐出性能を検査する吐出検査ユニット18と、複数の機能液滴吐出ヘッド17から吐出された機能液滴の重量を測定する重量測定ユニット90と、フラッシングユニット14、吐出検査ユニット18および重量測定ユニット90を搭載すると共に、フラッシングユニット14、吐出検査ユニット18および重量測定ユニット90を、ワークステージ21と同一軌道上において主走査方向に移動させるユニット移動手段23と、を備えた。 (もっと読む)


【課題】圧力調整弁の自己封止開閉動作を安定して行うことができる弁体付勢ばねを有する圧力調整弁および液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】隔壁77を隔ててバルブハウジング71内に形成され、機能液供給手段に連通する1次室75および機能液滴吐出ヘッドに連通する2次室76と、隔壁77に貫通形成され、1次室75と2次室76とを連通する連通流路78と、連通流路78を形成した隔壁77の1次室75側開口縁部を弁座として、連通流路78を1次室75側から開閉する弁体84と、2次室76の1の面を構成すると共に弁体84を大気圧基準で開閉動作させる受圧膜体73と、隔壁77に対向する1次室75の1の壁面を受けとして、受圧膜体73と拮抗しつつ弁体84を閉弁方向に付勢する弁体ばね(弁体付勢ばね85)と、を備え、弁体ばねが、円錐コイルばねで構成されている。 (もっと読む)


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