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【課題】品質の低下が抑制された有機ELデバイスを製造し得る有機ELデバイスの製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】帯状の基材を長手方向に移動させつつ蒸着により該基材に有機EL素子の構成層を形成する有機ELデバイスの製造方法であって、前記基材を長手方向に移動させつつ、該基材の移動方向に沿って設けられた上向き蒸着部及び横向き蒸着部にて、前記基材の一面に蒸着源から気化材料を吐出して順次蒸着を行う構成層形成工程を備え、該構成層形成工程は、上向き蒸着工程と、横向き蒸着工程と、方向変換工程と、を備えている有機ELデバイスの製造方法。 (もっと読む)


【課題】品質の低下が抑制された有機ELデバイスを製造し得る有機ELデバイスの製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】帯状の基材を長手方向に移動させつつ蒸着により該基材に有機EL素子の構成層を形成する有機ELデバイスの製造方法であって、前記基材を長手方向に移動させつつ、該基材の移動方向に沿って設けられた第1及び第2蒸着部にて、前記基材の一面に蒸着源から気化材料を吐出して順次蒸着を行う構成層形成工程を備え、該構成層形成工程は、複数の上向き蒸着工程と、方向変換工程とを備えている有機ELデバイスの製造方法。 (もっと読む)


【課題】光学表示パネルを高歩留りかつ高速に連続生産することができる光学表示パネルの連続製造方法。
【解決手段】長手方向に吸収軸を有する帯状の第1偏光フィルムを幅方向に切断することで得られた前記第1偏光フィルムを第1光学フィルムロール101から供給し、前記光学セルを搬送しながら、前記第1偏光フィルムを前記光学セルの対向する一組の辺側から前記第1偏光フィルムの供給方向に沿って前記光学セルの背面側の面に貼り合わせる第1貼合工程と、幅方向に反射軸を有する帯状の直線偏光分離フィルムを幅方向に切断することで得られた前記直線偏光分離フィルムを第2光学フィルムロール102から供給し、前記光学セルを搬送しながら、前記直線偏光分離フィルムを前記光学セルの背面側の面に貼り合わされた前記第1偏光フィルム上に、前記光学セルの対向するもう一組の辺側から前記直線偏光分離フィルムの供給方向に沿って貼り合わせる第2貼合工程 (もっと読む)


【課題】基板サイズの大型化により、基板を水平搬送でき、基板を略垂直に立てて成膜でき、かつ膜厚均一性がよく、低コストのターゲットや電源を利用でき、蒸着装置とのクラスタ化に適したスパッタリング装置を提供する。
【解決手段】処理真空チャンバ(10)を有するスパッタリング装置であって、処理真空チャンバ内にカソード電極(60)が設けられ、カソード電極上にスパッタリングターゲット材料(61)が設けられ、処理真空チャンバ内に基板が上面搬送され、カソード電極は矩形であり、基板が垂直方向に立てられた状態でカソード電極が基板面と平行に走査されることで、スパッタリングターゲット材料が基板に成膜されるスパッタリング装置。 (もっと読む)


【課題】帯状の基板に表示素子を効率的に製造することができる露光装置を提供する。
【解決手段】マスクMに形成されたパターンPmを基板Sに転写する露光装置EXであって、マスクMを照明する照明装置IUと、基板Sに対してパターンPmの拡大像を投影する投影装置PUと、マスクMを保持する第一円筒面31を有し、第一円筒面31の周方向に回転するマスク保持部40と、基板を搬送する第二円筒面32を有し、マスク保持部40と同一の回転軸Cを中心として第二円筒面32の周方向に回転する基板搬送部50とを備える。 (もっと読む)


【課題】基材上に形成された有機EL膜の損傷を防止しつつ該有機EL膜が形成された基材の巻き取りを可能とする有機EL素子の製造方法、その製造装置及び有機EL素子を提供する。
【解決手段】帯状の基材を供給しつつ、該基材の一面側に発光層を含む有機層と電極層とを少なくとも順次蒸着することにより前記基材上に有機EL膜を形成し、前記有機EL膜が形成された前記基材の巻き取りを順次行って有機EL素子を製造する有機EL素子の製造方法であって、前記巻き取りにおいては、前記基材よりも柔らかい帯状の保護フィルムをさらに供給し、前記基材の非蒸着面側に接着させつつ前記基材を前記保護フィルムと共に巻き取ることを特徴とする有機EL素子の製造方法。 (もっと読む)


【課題】透明フィルム基材上に、透明導電層および導電性金属層がこの順に形成された導電性積層フィルムの製造において、導電性金属層成膜時のシワの発生を抑止する。
【解決手段】本発明の製造方法は、ポリエステル系樹脂を構成材料とする長尺透明フィルム基材上に透明導電層が形成された長尺透明導電性フィルムが搬送されながら、透明導電性フィルムの透明導電層形成面側に導電性金属層を連続的に成膜される金属層成膜工程を有する。金属層成膜工程は、1Pa以下の減圧環境で行われる。長尺状透明導電性フィルムは、搬送張力が付与されることで連続的に搬送され、透明導電層非形成面側が成膜ロールの表面に接触した状態で、透明導電層形成面側に前記導電性金属層が連続的に堆積される。前記成膜ロールの表面温度は110℃〜200℃であることが好ましい。成膜箇所におけるフィルム基材の長手方向に垂直な面の単位面積あたりの搬送張力が0.6〜1.8N/mmであることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】基材と蒸着源との距離を短くしつつ、発光色の変動が抑制された、高品質な有機EL素子を効率的に製造し得る有機EL素子の製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】気化された有機層形成材料をノズルから吐出させることにより、該ノズルに対して相対的に移動する基材上に有機層を形成する蒸着工程を含み、前記有機層からなり基材移動方向に対して垂直な方向の幅A(mm)を有する発光領域を形成する有機EL素子の製造方法であって、前記ノズルの開口部における前記基材移動方向と垂直方向の長さをW(mm)、前記開口部と前記基材との距離をh(mm)とするとき、W≧A+2×h(但し、h≦5mmである。)を満たすようにして前記蒸着工程を行なうことを特徴とする有機EL素子の製造方法。 (もっと読む)


【課題】ガラスフィルムの損傷を防止すると共に、取り扱い性を向上させることができるガラスフィルム積層体を提供する。
【解決手段】本発明によるガラスフィルム積層体10は、支持フィルム11と、支持フィルム11に粘着層13を介して積層されたガラスフィルム12と、を備えている。ガラスフィルム12は、支持フィルム11の幅および粘着層13の幅より小さい幅を有している。ガラスフィルム12が、ガラスフィルム12の両側から支持フィルム11および粘着層13がはみ出すように配置されて、ガラスフィルム12の両側に、支持フィルム11および粘着層13の側部領域14が形成されている。側部領域14において、粘着層13上に非粘着層15が設けられており、非粘着層15は、ガラスフィルム12に接している。 (もっと読む)


【課題】
本発明は、材料の損出の少なくできる、あるいは安定した蒸着の妨げとなる内圧の変化を防ぐ蒸発源を提供することである。また、前記蒸発源に適した有機ELデバイス製造装置及び有機ELデバイス製造方法を提供することである。
【解決手段】
本発明は、内部に蒸着材料を内在する坩堝と、前記蒸着材料を加熱し蒸発・昇華させる加熱手段と、前記蒸発・昇華した前記蒸着材料を噴射する蒸着物噴射口をライン状に複数並ぶ蒸着物噴射口部を有する蒸発源において、前記蒸着物噴射口部を複数設け、各前記蒸着物噴射口部毎に開閉する開閉手段を有することを第1の特徴とする。また、本発明は、複数ある前記蒸着物噴射口部のうち少なくとも一つの前記蒸着物噴射口部を開き、そのときに他の前記蒸着物噴射口部の全ての前記蒸着物噴射口部を閉じるように前記開閉手段を制御する制御手段を有することを第2の特徴とする。 (もっと読む)


【課題】
本発明は、低コストで連続的に製造できる、有機エレクトロルミネッセンス(以下「EL」とする)素子の製法を提供する。
【解決手段】
ロールトゥロールにより有機EL素子を製造するのに際し、粘着面および所定の開口パターンを有するシート状のフレキシブルフィルムからなるマスクを、シート状の基板に対して貼り合せ、上記マスクの上から上記第2電極を形成した後、上記マスクを剥離して所定パターンを有する第2電極を形成するようにした。 (もっと読む)


【課題】高いガスバリア性を備え、フィルムを屈曲させたときにもガスバリア性が低下しにくい保護膜を備える有機EL装置を提供する。
【解決手段】第1のフィルムと、前記第1のフィルム上に設けられる有機EL素子と、前記有機EL素子を覆うように形成される保護膜とを有する有機EL装置であって、前記保護膜は、珪素、酸素及び炭素を含有し、珪素原子、酸素原子及び炭素原子の合計量に対する珪素原子の量の比率(珪素の原子比)、酸素原子の量の比率(酸素の原子比)及び炭素原子の量の比率(炭素の原子比)と、前記膜厚方向における前記保護膜の一方の表面からの距離との関係をそれぞれ示す珪素分布曲線、酸素分布曲線及び炭素分布曲線が条件(i)〜(iii)を満たす、有機EL装置に関する。 (もっと読む)


【課題】有機EL素子自体、とくにその一部を構成する電子注入層が劣化しにくく、また、高いガスバリア性を備え、フィルムを屈曲させたときにもガスバリア性が低下しにくく、簡易な工程で短時間で形成することが可能なフィルムを備える有機EL装置を提供する。
【解決手段】有機EL素子と、第1のフィルムとを有する有機EL装置であって、前記電子注入層はイオン性ポリマーを含み、前記第1のフィルムは、珪素、酸素及び炭素を含有するガスバリア層を有しており、前記ガスバリア層は、珪素原子の量の比率(珪素の原子比)、酸素原子の量の比率(酸素の原子比)及び炭素原子の量の比率(炭素の原子比)と、膜厚方向における前記ガスバリア層の一方の表面からの距離との関係をそれぞれ示す珪素分布曲線、酸素分布曲線及び炭素分布曲線が条件(i)〜(iii)を満たす、有機EL装置に関する。 (もっと読む)


【課題】切断マークなどの目印を設けることなく、有機ELテープを所望の切断位置で切断可能な、切断装置を提供すること。
【解決手段】有機ELテープを収納する第1収納部と、有機ELテープを収納部から引き出して搬送する搬送部と、有機ELテープの発光層に含まれる有機ELの発光スペクトルより短波長成分を含む光を有機ELテープに対して照射する光源部と、発光層からの励起光を検出する検出部と、検出部の検出結果に基づいて有機ELテープを切断する切断位置を決定する決定部と、前記切断位置において有機ELテープを切断する切断部と、を有する切断装置である。 (もっと読む)


【課題】ガラスフィルムに樹脂フィルムを貼り合わせた後の反りを抑え、反りに起因する樹脂フィルムのしわや剥離を確実に防止することが可能なガラス−樹脂積層体、及びそれをロール状に巻き取ったガラスロール、並びにガラスロールの製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス−樹脂積層体1は、厚み1〜300μmの長尺状ガラスフィルム2の少なくとも一方の面に、厚み1〜300μm、引張弾性率0.3GPa以上で、剥離可能な長尺状樹脂フィルム3が、長尺状ガラスフィルム2の短尺方向両側端21から食み出した状態で積層されてなる。 (もっと読む)


【課題】ロールツーロール方式で処理することができ、エージング処理能力が高く、安定した発光輝度を有する有機EL素子を得ることができる有機EL素子のエージング方法を提供する。
【解決手段】長尺の可撓性帯状基板上に、少なくとも取出電極部を備えた第1電極、発光層を含む有機機能層及び取出電極部を備えた第2電極を有する複数の有機EL構造体と、該有機EL構造体を被覆する封止部材とから構成される有機EL素子群をエージングする有機EL素子のエージング方法において、該第1電極の複数の取出電極部を第1の導電性給電部材で連結し、該第2電極の複数の取出電極部を第2の導電性給電部材で連結し、該可撓性帯状基板をロール状に巻き取った状態で、該第1の導電性給電部材と該第2の導電性給電部材とを通電して、該有機EL素子を発光させることを特徴とする有機EL素子のエージング方法。 (もっと読む)


【課題】搬送方向の切替えに付随した挟圧力や搬送高さの偏差を低減し、品質向上と製造コスト低減を両立する薄膜積層体製造装置を提供する。
【解決手段】搬送経路の端部で可撓性基板1をロールから巻出し/ロールに巻取るための正逆双方向に駆動可能なロールコア駆動装置と、基板の縁部を挟持しかつその挟圧力に応じた展張力を縁部に付与する回転可能なグリップローラ61〜69と、成膜部30における基板の搬送高さを検知する検知手段S1〜S9と、検知手段の検出値に基づいてグリップローラの挟圧力を制御する搬送高さ制御装置73と、を備え、搬送高さ制御装置は、グリップローラの挟圧力の初期値を保持する保持手段を有し、基板の搬送方向の切替え時に、初期値に基づいてグリップローラ61〜69の挟圧力を再設定可能とする。 (もっと読む)


【課題】帯状可撓性基板を縦姿勢で横方向に往復搬送させつつ成膜を行う薄膜積層体製造装置において、各搬送方向に対応した搬送高さ制御を低コストかつ簡単な操作で実施可能な基板位置制御装置を提供する。
【解決手段】帯状の可撓性基板1の縁部を挟持する一対の挟持ローラ(31,32)と、前記一対の挟持ローラを回転可能かつ相互に接離可能に支持する支持機構(33〜36)と、前記支持機構を介して前記一対の挟持ローラに挟圧力を付与するスプリング42と、を備え、前記基板の縁部に、前記一対の挟持ローラの挟圧力に応じた展張力を作用させるものにおいて、前記スプリングの付勢力を前記支持機構にトルクとして伝達する伝達部材(37〜39)と、前記一対の挟持ローラの挟圧力を調整すべく、前記スプリングの支持点(41b)を前記伝達部材との連結点(39a)の周りで角変位させる操作部材(41)と、前記操作部材を所定の角変位に保持可能な保持手段(44〜46)とを備えた。 (もっと読む)


【課題】 バリアフィルムおよび基板の密着部分の信頼性を向上させた有機EL素子の製造方法および有機EL素子を提供することにある。
【解決手段】 一定速度で搬送される可撓性を有する基板2の表面に第1の電極層4を形成する第1の電極形成工程と、第1の電極層4の上に有機層5を形成する有機層形成工程と、有機層5の上に第2の電極層6を形成する第2の電極形成工程と、有機層5を除去する有機層除去工程と、第1の電極層4、有機層5および第2の電極層6の一部分を覆い、前記有機層5が除去された部分の基板2と接触するバリアフィルム7を配設するバリアフィルム配設工程と、基板2およびバリアフィルム7を密着するバリアフィルム密着工程とを具備する。 (もっと読む)


【課題】コストが安く、安価な方式により識別記号の付与が可能であり、製造環境に対する悪影響が無い識別記号付与方法と提供する。
【解決手段】連続するベース基板上に有機EL素子が連続して形成された有機EL素子基板と、連続する封止基板上に接着剤層が形成された封止部材とを、貼り合わせた後、各有機EL素子ごとに切断してなる有機ELパネルの製造方法において、前記封止基板または前記ベース基板の何れかに、予め識別記号が印字されており、該識別記号の印字間隔が、有機EL素子の配置間隔よりも短い間隔であり、切断された各有機ELパネルには少なくとも1つの識別記号が付与されていることを特徴とする有機ELパネルの製造方法。 (もっと読む)


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