【課題】複数の蒸着材料を被蒸着体に共蒸着するインライン型蒸着装置において、膜厚の蒸着膜を均一に製膜し、信頼性の高い被蒸着体を生産する。
【解決手段】蒸着装置１は、蒸着材料２０，３０を夫々蒸発させる蒸発源２，３と、蒸発源２，３から被蒸着体４へ向かう蒸着材料２０，３０の流路を囲うように配置されるホットウォール５と、を備える。蒸発源２，３は、蒸着材料２０，３０を被蒸着体４側へ放出する放出口２２，３１を有し、蒸発温度が高い蒸着材料３０を蒸発させる蒸発源３の放出口３２がホットウォール５の上端縁よりも上方に設けられている。この構成によれば、蒸発した蒸着材料３０がホットウォール５に付着することなく被蒸着体４に蒸着される。従って、蒸着材料３０がホットウォール５によって再蒸発しながら被蒸着体４に付着することがなく、膜厚の蒸着膜を均一に製膜でき、信頼性の高い被蒸着体４を生産することができる。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、クラスタ構造を有し、ライン長を短くできる、あるいは、スペース効率のよい有機ＥＬデバイス製造装置または基板の姿勢を補正する角度補正機構を提供することである。
【解決手段】
本発明は、第１の櫛歯状ハンドによって基板を搬入する搬入口と、第２の櫛歯状ハンドによって前記基板を搬出する搬出口と、前記基板を支持する複数の支持ピンと、複数の前記支持ピンを固定し、前記基板を支持し回転させる支持ピン回転台と、前記支持ピン回転台を前記基板と平行な平面内で回転させる回転駆動手段と、複数の前記支持ピンと、前記第１の櫛歯状ハンドと前記第２の櫛歯状ハンドの少なくとも一方との干渉を回避する回避手段と、有する。 （もっと読む）

【課題】アルカリ金属又はアルカリ土類金属を含む材料の薄膜を成膜する際において、生産性を低下させず且つ安全にメンテナンスを行うことができる成膜装置及び成膜方法を提供する。
【解決手段】処理室と、処理室内を真空にする真空排気手段と、処理室内に設けられ、成膜材料を放出するための手段と、成膜材料を放出するための手段に対向して設けられた基板支持手段と、一方の面が処理室の内壁と対向し、且つ熱伝導性を有する領域であり、他方の面が熱伝導性を有する領域に接して設けられた酸化物を含む領域である、防着板と、を備えている成膜装置である。そして、当該成膜装置を用いた成膜方法である。 （もっと読む）

【課題】大型の基板に蒸着を行うための防着板の取付け／取外しが容易で、メンテナンス作業の向上が可能となる真空成膜装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバと、真空チャンバ内に設けられて蒸着材料を蒸発して供給する蒸着源と、真空チャンバ内に導入された基板を直立した状態でマスクの所定の位置に位置合わせするための機構と、位置合わせ機構により、直立した状態で前記マスクに対して位置合わせされた基板の蒸着表面に沿って、蒸着源を移動させる手段と、マスクと前記蒸着源との間に配置されたベースプレートとを備えた真空成膜装置において、真空チャンバ内において、蒸着源から供給されてマスクを介して前記基板の蒸着表面に蒸着されると共にその周囲にも飛散する蒸発した蒸着材料が付着する壁面に、薄膜状の防着膜１００を着脱可能に取り付けるための手段を備える。 （もっと読む）

【課題】少なくとも一つの活性有機層を備えた電子構成要素を製造する。
【解決手段】有機構成要素を巻回プロセスにて製造し得る方法を最初に開示する。連続的な製造方法は、活性半導体層の活性領域が、製造プロセスの任意の時点にて未保護の溶媒、及び／又は溶媒蒸気に露出されない利点を有している。それによって、高品質の有機構成要素を製造することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】マスクの強度を低下させずに、大面積の成膜対象物に成膜できる成膜装置及び成膜方法を提供する。
【解決手段】
マスク３１は、薄膜材料蒸気が通過する複数の通過孔３２が配置された有効領域３３₁〜３３₃と、薄膜材料蒸気を遮蔽する遮蔽領域３４₁〜３４₄とを有し、有効領域３３₁〜３３₃と遮蔽領域３４₁〜３４₃は、長さ方向と、長さ方向と直交する幅方向とを有する四角形状であり、有効領域３３₁〜３３₃と遮蔽領域３４₁〜３４₃とは、有効領域３３₁〜３３₃の幅方向６に沿って互いに隣接して配置され、成膜装置１０ａは、マスク３１と放出装置２１とに対し、成膜対象物４２を、有効領域３３₁〜３３₃と遮蔽領域３４₁〜３４₄とが並ぶ方向に相対的に移動させる第一の移動装置５１を有している。 （もっと読む）

【課題】真空下、可撓性支持体にロール方式で多層薄膜形成を行う生産工程において支持体や成膜面にキズの発生しないガイドロール機構を組み込んだ真空成膜装置、及びこれを用い発光寿命の改善された生産性の高い有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法を提供することにある。
【解決手段】可撓性支持体（ウェブ）を支持し、真空中でウェブの搬送方向を３０度以上、２４０度以下、変更するためのガイドロール機構であって、搬送中、前記可撓性支持体は、ガイドロールの両端部においてのみガイドロールに接触し、かつ、少なくとも接触部分の一部において、可撓性支持体をガイドロール上に押さえる機構を設けたことを特徴とするガイドロール機構。 （もっと読む）

【課題】高精細の発光層パターンを、高い生産性をもって製造することができる有機発光デバイスの製造装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】有機発光デバイスの製造装置１０は、複数の処理ユニット１１，１２と、搬送ユニット１３とを具備する。複数の処理ユニット１１，１２は、基板２上に発光層５Ｒ，５Ｇを形成するレーザ転写装置１１０，１２０を含む。搬送ユニット１３は、レーザ転写装置１１０と１２０との間に設置された搬送室１３０と、基板２を搬送する搬送機構１３１とを含む。移載機構１１３，１２３は、熱転写体５０Ｒ，５０Ｇをそれぞれ配置している。第１の処理ユニット１１、搬送ユニット１３及び第２の処理ユニット１２は、水平面においてＸ軸方向に配列されており、真空中で基板２を搬送しながら熱転写体５０Ｒ，５０Ｇにレーザを照射することで、発光層５Ｒ，５Ｇを順次形成するインライン式のレーザ転写装置を構成している。 （もっと読む）

【課題】帯状フィルムの状態で連続的に積層できない光学フィルムが光学セルの一方面に積層されてなる光学表示パネルを高歩留りかつ高速に連続生産することができる光学フィルムロールセットを提供する。
【解決手段】各々フィルムを供給し、各々フィルムの供給方向を光学セルに対する貼合方向とし、前記光学セルに対する貼合方向を相対的に互いに直交させながら、前記光学セルの一方面に積層するのに用いられる光学フィルムロールセットであって、前記光学セルの対向する一組の辺に対応する幅を有し、長手方向に吸収軸を有する帯状の偏光フィルムを含む帯状の第１積層光学フィルムが巻回されてなる第１光学フィルムロールと、前記光学セルの対向するもう一組の辺に対応する幅を有し、幅方向に反射軸を有する帯状の直線偏光分離フィルムを含む帯状の第２積層光学フィルムが巻回されてなる第２光学フィルムロールと、を含む。 （もっと読む）

【課題】材料の損失の少なくできる又は内圧の上昇による再開放時の蒸発・昇華速度の変化や材料の変質を齎すことない或いは蒸発源の保守時間の短く、稼働率の高い有機ＥＬデバイス製造装置及び有機ＥＬデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】真空蒸着チャンバに設けられた一つ又は２つの処理部に基板６を搬入し、蒸着物噴射口部を長手方向に複数備える蒸発源７を走査して前記基板に蒸着する有機ＥＬデバイス製造装置又はその方法において、前記２つの処理部の有するそれぞれ前記基板を保持する基板保持部９を垂直または略垂直にした状態で互いに正対させ、前記蒸着物噴射口部を回転させて、蒸着する基板を替えること、或いは前記蒸発源を前記真空蒸着チャンバに隣接して設けられた蒸発源保守交換室に移動し、前記真空蒸着チャンバの真空を蒸発源保守交換室から隔離し、前記蒸発源を保守又は新たな蒸発源と交換する。 （もっと読む）

【課題】蒸発源の冷却時間を短縮する。
【解決手段】蒸着準備工程では、蒸着材料３０を収納する坩堝１３、坩堝１３を加熱する加熱部１４、および坩堝１３内で気体化した蒸着材料３０を被処理物に向かって放出するノズル１２、を備える蒸発源１０、および被処理物を真空チャンバ内に配置する。次に、坩堝１３に収納された蒸着材料３０を加熱部１４により加熱して、気体化した蒸着材料ガスを発生させ、被処理物に蒸着膜を形成する。次に、蒸発源１０の外側からノズル１２を介して坩堝１３内にガス２６を供給し、かつ、加熱部１４を停止させて坩堝１３を冷却する。 （もっと読む）

【課題】高精度な蒸着ができ、長時間の連続稼動も可能な蒸着装置並びに蒸着方法の提供。
【解決手段】成膜室30において、蒸発源１から蒸発した成膜材料を、蒸着マスク２のマスク開口部を介して基板４上に堆積して、この蒸着マスク２により定められた成膜パターンの蒸着膜が基板４上に形成されるように構成した蒸着装置であって、前記蒸発源１から蒸発した蒸発粒子の飛散方向を制限する制限用開口部５を設けた飛散制限部を有し、前記蒸着マスク２が付設されたマスクホルダー６を備え、この蒸着マスク２が付設された前記マスクホルダー６が前記成膜室30と往来できるロードロック室32、前記マスクホルダー６が前記ロードロック室32と往来できる待機室33及び装置外部に前記マスクホルダー６を取り出し可能な取出し室34を有する交換室31を備えたことを特徴とする蒸着装置。 （もっと読む）

【課題】フルカラー表示を行う発光装置と、照明装置では、用いる蒸着マスクの開口サイズが異なる。従って別々の蒸着マスクが必要であり、一度に大量の基板を処理する場合には、処理基板枚数に合わせて蒸着マスクを多数用意するため、装置全体のフットプリントが増大することを解決することを課題の一つとする。
【解決手段】カラーフィルタと白色発光素子とを組み合わせることでフルカラーの表示装置を作製する。こうすることで、発光装置の製造ラインと、照明装置の製造ラインと、を一部共通させ、製造装置全体のフットプリントを削減する。 （もっと読む）

【課題】発光寿命の長い有機ＥＬ素子を製造しうる有機ＥＬ素子の製造方法、該製造方法で製造された有機ＥＬ素子、該有機ＥＬ素子を備える面状光源、照明装置及び表示装置を提供すること。
【解決手段】第１の電極と、第２の電極と、該第１の電極及び第２の電極間に設けられる有機層とを有し、該有機層が有機化合物を含む有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、該有機層は、体積基準で１０ｐｐｍ以下の水分濃度を有する低湿度雰囲気下において、該有機層が上に形成される層の表面上に、塗布法により有機化合物を含む有機薄膜を形成する有機薄膜形成工程と、２．０×１０^−３ｋｇ／ｋｇ（乾燥空気）以上の重量基準の絶対湿度を有する高湿度雰囲気下において、該有機薄膜形成工程によって得られた有機薄膜を保管する有機薄膜保管工程とを、包含する方法によって形成される、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、高分子有機光電変換デバイスを低分子有機光電変換デバイスと同様な多層構造を実現することである。
【解決手段】 フィルム状の電極基板を用意する工程と、複数のカレンダーローラー系に光電変換デバイスを構成する高分子有機材料を半溶融状態でそれぞれ供給し、該複数のカレンダーローラー系を構成する複数のカレンダーローラーによりそれぞれ圧延して複数のフィルムとする工程と、該複数のフィルムを光電変換機能が生ずる順に電極基板上に順次ラミネートする工程とを含む有機光電変換デバイスの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】均一な厚みで基材上にインキを転移させる印刷機を提供する。
【解決手段】印刷機５は、基材６２が載置されるフレーム５５と、フレーム５５上に配置され、インキが充填される複数のセル６３を有するインキ版６１と、フレーム５５の上方に配置され、基材６２上にインキを転移させる転写ロール４３と、を備えている。またフレーム５５の側方にはラックベース３０が設けられており、このラックベース３０上にはラック３５が取り付けられている。また転写ロール４３の側方には、ラック３５に上方から係合可能なピニオン４５が取り付けられている。ラック３５は、複数のラック部材３６，３７，３８を水平方向に連結することにより構成されている。 （もっと読む）

【課題】互いに真空度の異なる複数の成膜室間での基板の連続搬送・連続成膜処理を可能にしながら有機ＥＬ素子などの半導体素子の生産性を大幅に向上させることを低コストで実現可能とする真空一貫成膜装置を提供する。
【解決手段】互いに真空度の異なる複数の成膜室１，２と、前記各成膜室の間を圧力差を維持しながら連通させる圧力調整室３とを備えた真空一貫成膜装置であって、前記圧力調整室には、前記圧力調整室が連通させている各成膜室の間を基板が挿通可能なスリットの部分を除いて遮蔽する遮蔽部材が備えられている。また、前記遮蔽部材を冷却する冷却部が備えられている。また、前記遮蔽部材の表面には活性炭またはゼオライトなどの吸着剤が付着されている。さらに、前記遮蔽部材は、その一部に基板が挿通可能なスリットが形成された遮蔽板である。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造の印刷機を提供する。
【解決手段】印刷機５は、基材６２が載置されるフレーム５５と、フレーム５５上に配置され、インキが充填される複数のセル６３を有するインキ版６１と、フレーム５５の上方に配置され、基材６２上にインキを転移させる転写ロール４３と、を備えている。またフレーム５５の側方には、連結部５８を介してラックベース３０が取り付けらており、このラックベース３０上にはラック３５が取り付けられている。また転写ロール４３の側方には、ラック３５に上方から係合可能なピニオン４５が取り付けられている。また転写ロール４３を回転駆動する回転駆動機構４６が設けられており、この場合、転写ロール４３の回転駆動により、フレーム５５がピニオン４５およびラック３５を介して水平駆動される。またラック３５とラックベース３０との間にはバネ１１が介在されている。 （もっと読む）

【課題】 複数の基板を連続して搬送しながら成膜を行う成膜装置の場合、搬送される複数の基板間の間隙を通って成膜室の内壁に堆積する成膜材料の剥離によって膜欠陥が引き起こされるため、堆積した成膜材料を除去するためのメンテナンスが頻繁に必要となり、装置の稼動率が低下してしまう。
【解決手段】 基板を保持して成膜装置の成膜室内を搬送するための基板保持部材において、複数の基板保持部材を搬送方向に連続して配置した際、それぞれの基板保持部材の搬送方向前方部を、前方に配置される基板保持部材の搬送方向後方部と前記被成膜基板の被成膜面の法線方向に重なり合う形状とする。 （もっと読む）

【課題】発光効率が低下しない表示装置を提供する。
【解決手段】発光部１５が位置する凹部１３が充填膜２７で充填されてから無機膜２８が形成されるので、無機膜２８に亀裂が生じない。無機膜２８はダイヤモンドライクカーボンやＡｌＮのように、気密性と熱伝導性が高い材料で構成されているので、発光部１５に水や酸素が進入し難いだけでなく、発光部１５の熱は無機膜２８に伝達され、発光部１５が高温にならない。更に、第一パネル１０、第二のパネル２０の間の隙間は樹脂膜２９で充填されているので、外部から大気が進入しない。発光部１５は水や酸素や熱によってダメージを受けないので、表示装置１は寿命が長い。 （もっと読む）