【課題】 被乾燥物を搭載した容器への輻射熱の照射と熱伝導が不十分である上に乾燥時間に２４時間以上という長時間の乾燥を強いられ、乾燥に時間を要するという難点がある。
【解決手段】 凍結乾燥における被乾燥物への加熱方法であって、凍結した非加熱前の被乾燥物を遠赤外線ヒーターによる輻射熱の吸収能及び熱伝導のそれぞれの高い容器に収納する工程と、該容器に収納された凍結した被乾燥物を減圧槽内へ大気圧下で搭載する工程と、前記減圧槽内に設置した遠赤外線ヒーターによる輻射熱による前記容器への加熱及び減圧槽内で被乾燥物の昇華が起こる減圧状態下で被乾燥物の凍結した水分を昇華させる工程を備えたことを特徴とする遠赤外線ヒーターによる凍結乾燥方法。 （もっと読む）

【課題】 簡素な構成とするとともに、熱エネルギーの消費を少なくすることができる真空乾燥装置を提供する。
【解決手段】 真空乾燥装置Ｍ１は、被乾燥物Ｄを収容する乾燥室１１を備える乾燥タンク１および乾燥室１１内を真空にするオイル型真空ポンプ２を備えている。また、乾燥タンク１とオイル型真空ポンプ２とは、流通管４，５で接続されており、流通管４，５には、水蒸気を凝縮させるコールドトラップ３が設けられている。乾燥タンク１とコールドトラップ３とには、それぞれヒートポンプ６が接続されている。乾燥室１１で蒸発した被乾燥物Ｄの水分は、水蒸気となってコールドトラップ３まで搬送され、コールドトラップ３では、水蒸気が凝縮して水となる。ヒートポンプ６は、コールドトラップ３における凝縮熱を乾燥タンク１に移動させ蒸発熱として利用する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、液体、気体、流動粉体、分散、これらの組合せ等を含む１つ以上の処理流体によりマイクロエレクトロニクス半製品を処理する装置を提供する。
【解決手段】被処理半製品の上に配置され、そして少なくとも一部分を覆う下側表面１０２を有する隔壁板１０２であって、隔壁板１０２の下側表面１０６と半製品と間の距離は隔壁板１０２の外周に向かう方向において先細りとなる隔壁板１０２と、隔壁板１０２の下側表面１０６と流れが連通するように隔壁構造１４内に設けられた吸引通路であって、隔壁板１０２の下側表面１０６上の液体を隔壁板１０２の下側表面１０６上から吸引して抜き取ることができる吸引通路と、吸引通路と流れが連通している真空源であって、真空源及び吸引通路は、真空源が吸引通路に適用されると隔壁板１０２の下側表面１０６上の液体が隔壁板１０２の下側１０６から吸引されて抜き取られるように構成した。 （もっと読む）

【課題】屋外に存在するコンクリート構造物のコンクリート内部を確実に乾燥させる。
【解決手段】この工法では、所定の剛性を有する被覆板１を用いて、コンクリート構造物ＳのコンクリートＣ表面を当該表面に対して所定の間隔の間隙Ｐをおいて気密に被覆し、この間隙Ｐを真空ポンプ５により真空吸引することにより、コンクリートＣ表面の相対湿度を低下させ、コンクリートＣ内部の水分のコンクリートＣ表面への移動を促進して、当該水分を乾燥除去し、コンクリートＣ内部の相対湿度を低下させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、液体、気体、流動粉体、分散、これらの組合せ等を含む１つ以上の処理流体によりマイクロエレクトロニクス半製品を処理する装置を提供する。
【解決手段】被処理半製品の上に配置され、そして少なくとも一部分を覆う下側表面１０２を有する隔壁板１０２であって、隔壁板１０２の下側表面１０６と半製品と間の距離は隔壁板１０２の外周に向かう方向において先細りとなる隔壁板１０２と、隔壁板１０２の下側表面１０６と流れが連通するように隔壁構造１４内に設けられた吸引通路であって、隔壁板１０２の下側表面１０６上の液体を隔壁板１０２の下側表面１０６上から吸引して抜き取ることができる吸引通路と、吸引通路と流れが連通している真空源であって、真空源及び吸引通路は、真空源が吸引通路に適用されると隔壁板１０２の下側表面１０６上の液体が隔壁板１０２の下側１０６から吸引されて抜き取られるように構成した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、液体、気体、流動粉体、分散、これらの組合せ等を含む１つ以上の処理流体によりマイクロエレクトロニクス半製品を処理する装置を提供する。
【解決手段】被処理半製品の上に配置され、そして少なくとも一部分を覆う下側表面１０２を有する隔壁板１０２であって、隔壁板１０２の下側表面１０６と半製品との間の距離は隔壁板１０２の外周に向かう方向において先細りとなる隔壁板１０２と、隔壁板１０２の下側表面１０６と流れが連通するように隔壁構造１４内に設けられた吸引通路であって、隔壁板１０２の下側表面１０６上の液体を隔壁板１０２の下側表面１０６上から吸引して抜き取ることができる吸引通路と、吸引通路と流れが連通している真空源であって、真空源及び吸引通路は、真空源が吸引通路に適用されると隔壁板１０２の下側表面１０６上の液体が隔壁板１０２の下側１０６から吸引されて抜き取られるように構成した。 （もっと読む）

【課題】塗布膜に含まれる溶媒を凝縮して塗布膜を乾燥させる際に、冷却板と塗布膜の膜面との間隔を均一にし、且つ、搬送風の乱れを少なくすることでムラの発生を抑制することのできる乾燥方法、乾燥装置及び凝縮液の回収方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る乾燥方法は、シート状基材４に形成された塗布膜４ａから蒸発した溶媒を冷却板１で凝縮することで塗布膜４ａを乾燥させる方法である。そして、本乾燥方法は、シート状基材４の搬送方向に沿って複数配置され、且つ、塗布膜４ａの膜面と平行になるように配置された冷却板１に塗布膜４ａから蒸発した溶媒を凝縮して凝縮液とし、その凝縮液を冷却板１間の隙間を塞ぐ多孔質体ブロック２に含浸させる工程を含むものである。なお、冷却板１のそれぞれは、塗布膜４ａと冷却板１との間の距離が同じである。また、塗布膜４ａと冷却板１との間の距離は、塗布膜４ａと多孔質体ブロック２との間の距離と同じである。 （もっと読む）

【課題】密閉処理室の密閉性を損なうことなく、乾燥力を高めた乾燥装置を提供する。
【解決手段】チャンバ２０の貫通孔２９には、処理室２１内のファン５１とチャンバ２０外の動力源に連結された動力伝達軸５３が挿通されている。圧力調整手段は、処理室２１内を常圧以上の第１の圧力状態と、常圧よりも低い第２の圧力状態とに切り替える。状態切替手段は、チャンバ２０と動力伝達軸５３との間を気密に固定する気密状態と、気密を解いて動力伝達軸５３を回転可能とする回転可能状態と、を切り替える。制御手段は、処理室２１内を第１の圧力状態とし、チャンバ２０と動力伝達軸５３との間の気密を解いて、ファン５１を高速回転させて被乾燥体を高速流動気体により急速加熱する。また、処理室２１内を第２の圧力状態とし、チャンバ２０と動力伝達軸５３との間を気密とすることにより、被乾燥体を真空乾燥する。 （もっと読む）

【課題】乾燥容器内で被乾燥物の乾燥をむらなく促進させることができる、減圧乾燥装置を提供する。
【解決手段】樹脂材料を乾燥させる工程では、樹脂材料が乾燥ホッパ３内に収容されて、乾燥ホッパ３内が減圧される。この減圧により、樹脂材料に含まれる水分の沸点が下がるので、樹脂材料を低温で速やかに乾燥させることができる。乾燥ホッパ３内の減圧が進むと、乾燥ホッパ３内からの水蒸気の排出量の低下を防止するために、乾燥ホッパ３内からの排気が続けられながら、リークバルブ３０が開閉されて、乾燥ホッパ３内にエアが間欠的（パルス的）に導入される。これにより、乾燥ホッパ３内からの排気量と乾燥ホッパ３内へのエアの導入量とのバランスが瞬時に崩れるので、乾燥ホッパ３内の圧力が急変し、乾燥ホッパ３内の環境が乾燥ホッパ３内で対流が生じやすい環境となる。 （もっと読む）

【課題】 フィルターの目詰まりを抑制し得る容器回転型混合乾燥機の提供。
【解決手段】 回転軸回りに回転駆動可能に軸支された容器と、一端部が容器の周面に接続され該容器内部の気体を吸引して当該内部を減圧するための吸引管と、前記容器内部に供給された被処理物が前記吸引管内に吸引されないようにするためのフィルター部とを備え、該フィルター部は前記容器の周面と前記吸引管の一端部との接続部に設けられて、前記容器が回転軸回りに回転駆動すると、フィルター部が被処理物により覆われる状態と容器内部の気体に晒される状態とを繰り返す容器回転型混合乾燥機において、フィルター部が被処理物により覆われる状態では吸引管による吸引を行わず、フィルター部が容器内部の気体に晒される状態では吸引管による吸引を行うための吸引手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】穴に通過させるものでは、通過させるときに側面の吸水性のシートが強く擦れ、大きな摩擦が発生して傘本体が傷つきやすい。また、両側に横の回転するベルトに吸水性のシートが付いているものでは、傘の骨と傘の濡れた間の水を効率的には取ることができなかった
【解決手段】本発明の傘脱水機は、傘にあたる側面を縦に回転する吸水性のある球体の物や円形の物を使うことにより、吸水性の物と傘の間にかかる摩擦を大きく軽減する。球体や円形の凹凸が傘の骨と傘の濡れた間にはまり、水が取れやすくなっている （もっと読む）

【課題】塗布膜に乾燥ムラが形成されることを抑えることができる減圧乾燥装置を提供する。
【解決手段】基板を格納するチャンバ２を備え、チャンバ２内部を大気圧より低い圧力に減圧することによって、チャンバ２内部に格納された基板上の塗布膜を乾燥させる減圧乾燥装置であって、チャンバ２は、チャンバ本体３とチャンバ蓋部４を有し、チャンバ本体３とチャンバ蓋部４とが当接することによってチャンバ２内部を密閉し、チャンバ蓋部４は天板４１を有し、天板４１のチャンバ２内部と反対側から天板４１を覆う蓋形状保持部６が設けられ、蓋形状保持部６は、天板４１との間に閉じた空間Ｒを形成し、この空間Ｒの圧力が大気圧以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電源不要、小型で設置スペースを取らず、運搬容易な雨傘用脱水装置を提供する。
【解決手段】雨傘Ｕを先端から挿入可能な開口部１５を上部に有する中空縦長のケース１０、１００と、開口部からケース内に挿入された雨傘の外面に内面で夫々接触するようにケース内に対向配置された少なくとも一対の吸水体２０１と、各吸水体を互いに圧接させる内方向、且つ上方向に弾性付勢する付勢手段１０７と、を備え、開口部から各吸水体間に雨傘が挿入されて付勢手段の付勢力に抗して両吸水体の間隔が広がったときに両吸水体を下降させる吸水体下降手段１０８と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】基板の箇所毎に気流の流れ具合を微調整して、塗布膜の乾燥ムラを少なくできる減圧乾燥装置を提供する。
【解決手段】減圧乾燥装置１は、塗布膜を形成した基板１４を収容するチャンバー１０と、チャンバー１０の天面の排気口１１に接続された減圧配管１２と、チャンバー１０内で基板１４と排気口１１の間に配置されるものであって、複数の通気孔１７が形成された分散板１６を備える。複数の通気孔１７のうち、少なくとも一部の通気孔１７は開度可変である。開度可変とされた通気孔１７は、絞り機構１８により開度を変える。分散板１６は、複数の区画１９ａ、１９ｂ、１９ｃを設定し、区画毎に通気孔１７を複数ずつ配置し、区画毎に通気孔１７の開度を設定するという構成が可能である。 （もっと読む）

【課題】単一の装置で生物学的試料の有機溶媒処理、除去及び乾燥の工程を行うことができ、装置を小規模化することができ、スラリの閉塞等が起こらず作業効率が高く、非加熱で迅速な処理が可能な有機物抽出装置及び有機物抽出方法を提供する。
【解決手段】有機物抽出装置は、脱脂処理槽と、この脱脂処理槽の下方に設けられた濾過乾燥処理槽とを備えている。脱脂処理槽は、供給された被処理物及び供給された有機溶媒を攪拌混合する攪拌混合手段と、攪拌混合手段によって攪拌混合された被処理物及び有機溶媒との混合物から液体成分を除去する液体除去手段とを備えている。濾過乾燥処理槽は、脱脂処理槽から供給された混合物を撹拌する撹拌手段と、攪拌手段によって攪拌された混合物から残留液体成分を除去する濾過手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 粉体に含まれる液体を効率よく取り除くことのできる小型の粉体の乾燥装置を提供する。
【解決手段】 ホッパー１３内に、減圧手段と接続された耐熱濾過体１４と、攪拌部材１５ａ〜１５ｄを備える加熱部１０において加熱装置１８により加熱した粉体を、減圧手段と接続された耐熱濾過体２４と、スクリュー２５を備える搬送部を通過させる。当該耐熱濾過体１４と２４は、粉体より微細な耐熱金属繊維の焼結された構造、或いは、突起部を備える平板部材の積層構造を有してなり、加熱された粉体から放出される蒸気を、濾過体１４、２４を介して、外部に飛散させることなく脱気可能である。 （もっと読む）

【課題】半導体基板上に生じるパーティクルを低減すると共に、半導体デバイスの電気的特性の劣化を防止する。
【解決手段】本実施形態によれば、半導体基板の超臨界乾燥方法は、金属膜が形成された半導体基板を、表面がアルコールで濡れた状態でチャンバ内に導入する工程と、前記チャンバ内に二酸化炭素の超臨界流体を供給する工程と、前記チャンバ内の温度を７５℃以上かつ前記アルコールの臨界温度未満の所定温度にして、前記半導体基板上の前記薬液を前記超臨界流体に置換する工程と、前記チャンバ内の温度を前記所定温度に維持しながら、前記チャンバから前記超臨界流体及び前記アルコールを排出し、前記チャンバ内の圧力を下げる工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】複数の基板を一括して容易に乾燥することができる乾燥ユニットおよび基板処理装置を提供する。
【解決手段】乾燥部７０は、複数の基板Ｗを一括して乾燥させる乾燥ユニットである。乾燥部７０は、主として、乾燥チャンバ７１と、貯留槽７２と、排出管７１ａ、７２ａと、バルブ７１ｂ、７２ｂと、吐出ノズル８７（８７ａ、８７ｂ）と、を備えている。ＩＰＡによる純水の置換処理において、貯留槽７２に複数の基板Ｗが浸漬されると、吐出ノズル８７から乾燥チャンバ７１内にＩＰＡの蒸気が供給され、純水８０ａの液面８０ｂにＩＰＡの液膜８０ｃが形成される。続いて、貯留槽７２から純水８０ａが排出され、ＩＰＡの液膜８０ｃが、下降させられる。そして、各基板Ｗの基板面とＩＰＡの液膜８０ｃとが接触することによって、各基板Ｗに付着した純水が、ＩＰＡに置換される。 （もっと読む）

【課題】 トロポニン複合体又は遊離型トロポニンＴの保存安定性に優れたトロポニン複合体又は遊離型トロポニンＴを含有する水溶液の凍結乾燥方法を提供する。
【解決手段】 トロポニン複合体又は遊離型トロポニンＴを含有する水溶液（Ａ）の凍結乾燥方法であって、前記（Ａ）を３０〜５０℃で７２〜２４０時間加熱処理した後、アニオン界面活性剤（Ｂ）の存在下に凍結乾燥させることを特徴とする凍結乾燥方法。前記アニオン界面活性剤（Ｂ）は、カルボン酸塩型アニオン界面活性剤（Ｂ１）、硫酸エステル塩型アニオン界面活性剤（Ｂ２）、スルホン酸塩型アニオン界面活性剤（Ｂ３）及びリン酸エステル塩型アニオン界面活性剤（Ｂ４）からなる群から選ばれる少なくとも１種のアニオン界面活性剤であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】乾燥時間を短くでき、かつ乾燥に要するエネルギーを節約できる屋内空間の乾燥方法を提供する。
【解決手段】乾燥初期においては、浴室内の空気をヒーター７により加熱して温風を吹き出す加温運転と、浴室内の空気の一部を換気風路４を通して屋外へ排出する換気運転とを同時に行い、その後、ヒーター７をＯＦＦして、除湿ローター８とヒーター９と再生ファン１０をＯＮして、浴室内の空気を除湿する除湿運転に切り替える。 （もっと読む）