【課題】塗布膜に含有される添加物の蒸発や昇華を抑制しつつ、塗布膜に含有される溶媒を迅速に乾燥することができる。
【解決手段】高分子塗布液を支持体に塗布した塗布膜の乾燥装置において、塗布膜温度が第１添加物の融点未満になるように熱風乾燥装置２８の乾燥条件をフィードバック制御する第１制御手段４７と、乾燥点に到達した直後に、第１溶媒よりも分子体積の小さな第２溶媒の蒸気含有熱風を用いて塗布膜を乾燥する蒸気乾燥装置２９と、蒸気乾燥装置２９における塗布膜温度を測定する第２温度センサ５１と、第２温度センサ５１の測定結果に基づいて、塗布膜温度が前記第１添加物の融点未満になるように蒸気乾燥装置２９の乾燥条件をフィードバック制御する第２制御手段５３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基板表面を乾燥させる前に該基板表面に未使用の有機溶剤を供給して基板表面を乾燥に適した表面状態に調整した後に基板表面を乾燥させる基板処理方法および装置において、有機溶剤の消費量を抑制する。
【解決手段】基板処理した際に発生する使用済みのＩＰＡを回収し、再利用ＩＰＡとして貯留タンク７１に貯留している。そして、基板Ｗに乾燥処理の実行前に２段階のＩＰＡ供給を行っている。つまり、リンス処理を受けた基板Ｗに対して再利用ＩＰＡを供給して基板表面Ｗfに付着しているリンス液（ＤＩＷ）を再利用ＩＰＡに置換した後に未使用のＩＰＡを基板表面Ｗfに供給して乾燥処理に適した表面状態を形成している。 （もっと読む）

【課題】乾燥機の設置、運転開始以降の日、時経過によって、故障、乃至異常事態になる場合があるため、これらの場合を予測設定しておいて、的確な異常対処方法を表示する。
【解決手段】穀粒乾燥運転時間に中この乾燥機のエレベータ、又はフアン等のモータや、各センサの異常を検出して、この乾燥運転の経過時間に応じて点検内容を表示する穀粒乾燥機の異常処理装置の構成とする。乾燥機を設置して乾燥運転を開始する事によって、この乾燥運転の時間をアワメータ等により常に検出積算している。これら何れかのモータ、又はセンサの異常が発生すると、この異常が発生したことを表示部に表示すると共に、この異常発生の時点でのアワメータによる乾燥運転使用時間に応じて、予め設定してある点検内容を表示部に表示する。作業者はこの表示部に表された表示内容を見て異常個所をチェックし、補修を行う。 （もっと読む）

凍結乾燥プロセスでの水蒸気（２）の監視及び制御のための装置（１）であって、滅菌可能な凍結乾燥装置（３）と、滅菌可能な凍結乾燥装置（３）の内部体積から隔離され、凍結乾燥装置の滅菌性に不利に影響することなく、凍結乾燥装置（３）の雰囲気内に存在する水蒸気（２）を測定する光学分光計（４）とを含む。
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