【課題】単結晶のシリコン基板に、高密度反応空間をアレイ状に形成したマイクロリアクターを提供する。
【解決手段】 面方位（１００）面を有する単結晶シリコン基板に、マイクロサイズの開口部と貫通孔から構成される反応空間を複数配置して形成したことを特徴とするマイクロリアクター。
【効果】本発明のマイクロリアクターは、ＰＣＲ用マイクロリアクター、あるいはＰｙｒｏｓｅｑｕｅｎｃｉｎｇによるＤＮＡシーケンス手法に使用される測定用ウエルマルチプレート等として好適に使用することができる。 （もっと読む）