【課題】レジストパターンの製造時において優れたフォーカスマージン（ＤＯＦ）でレジストパターンを得ることができるレジスト組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】（Ａ）アルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂、（Ｂ）式（ＩＩ）で表される酸発生剤及び（Ｄ）式（Ｉ）で表される化合物を含有するレジスト組成物。


［式中、Ｒ^１及びＲ^２はそれぞれ炭化水素基、アルコキシ基、アシル基、アシルオキシ基等；ｍ及びｎはそれぞれ０〜４の整数；Ｑ^１及びＱ^２は、互いに独立に、フッ素原子又はペルフルオロアルキル基；Ｌ^１は、＊−ＣＯ−Ｏ−Ｌ^ａ−又は＊−ＣＨ_２−Ｏ−Ｌ^ｂ−、＊は−Ｃ（Ｑ^１）（Ｑ^２）−との結合手、Ｌ^ａ及びＬ^ｂは互いに２価の飽和炭化水素基；環Ｗ^１は複素環；Ｚ^＋は有機カチオンを表す。］ （もっと読む）

【課題】優れたラインエッジラフネスを有するパターンを得ることができるレジスト組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】式（Ｉ)で表される塩及びこの塩を含有するレジスト組成物。


［式（Ｉ）中、Ｑ^１及びＱ^２は、互いに独立に、フッ素原子又は炭素数１〜６のペルフルオロアルキル基を表す；Ｌ^１は、２価の炭素数１〜１７の飽和炭化水素基を表し、該飽和炭化水素基に含まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基で置き換わっていてもよい；Ｒ^１は、ヒドロキシ基、炭素数２〜７のアルコキシカルボニル基又は炭素数２〜７のアルコキシカルボニルオキシ基を表す；ｓは、互いに独立に、１〜３の整数を表す；Ｚ^＋は、有機対イオンを表す。］ （もっと読む）

【課題】 良好な収率、かつ生産性良く（メタ）アクリル酸エステルを簡便に製造し得る方法を提供すること。
【解決手段】 アルコールと（メタ）アクリル酸クロライドを含有する有機溶媒溶液と、塩基性物質を含有する水溶液とを、連続的に混合し反応させることを特徴とする（メタ）アクリル酸エステルの製造方法。 （もっと読む）

【課題】ノルボルネン構造又はノルボルナン構造を有するカルボン酸無水物のエンド体およびエキソ体を含む混合物から、簡便かつ効率的にエンド体とエキソ体とを分離し、各々を高い異性体純度で取り出す方法の提供。
【解決手段】分離方法は、エンド体とエキソ体を含むカルボン酸無水物からエンド体とエキソ体とを分離する方法であって、（Ａ）各々、エンド体およびエキソ体が共存する、下記一般式（１）で示されるノルボルネン構造を有するカルボン酸無水物およびノルボルナン構造を有するカルボン酸無水物の少なくとも一方を含む混合物を準備する工程、（Ｂ）上記混合物と、脂肪族系化合物を含む抽出溶媒とを接触させ、相分離させた後に、抽出処理する工程を含むことを特徴とする。
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【課題】優れた解像度、マスクエラーファクター及びフォーカスマージンを有するパターンを形成することができる塩及びレジスト組成物等を提供することを目的とする。
【解決手段】式（Ｉ−ＡＡ）で表される塩。


［式中、Ｑ^１及びＱ^２は、Ｆ原子又はペルフルオロアルキル基；Ｘ^１は、単結合又は−［ＣＨ_２］_ｋ−、ｋは１〜１７の整数；Ｙ^１は脂肪族炭化水素基、脂環式炭化水素基又は芳香族炭化水素基；Ａ^１及びＡ^２は脂肪族炭化水素基、脂環式炭化水素基又は芳香族炭化水素基か、Ａ^１とＡ^２とが一緒になって環を形成してもよい；Ａｒ^１は（ｍ_４＋１）価の芳香族炭化水素基；Ｂ^１は、単結合又はアルキレン基；Ｂ^２は、酸の作用により脱離し得ない基を表し、かつ置換されていてもよいラクトン環を表す；ｍ_１及びｍ_２は０〜２、ｍ_３は１〜３、ｍ_４は１〜３の整数を表す。］ （もっと読む）

【課題】レジスト組成物用の酸発生剤として有用な化合物、該化合物の前駆体として有用な化合物及びその製造方法、酸発生剤、レジスト組成物並びにレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が変化する基材成分（Ａ）、および露光により酸を発生する酸発生剤成分（Ｂ）を含有するレジスト組成物であって、前記酸発生剤成分（Ｂ）が、特定の構造式（ｂ１−２）で表される化合物からなる酸発生剤（Ｂ１）を含むことを特徴とするレジスト組成物。
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【課題】シクロオレフィン性基質と第二のオレフィン性反応物との間の開環クロス−メタセシス反応のための触媒を提供すること。
【解決手段】使用される触媒は、Ｎ−ヘテロ環式カルベン配位子で置換された遷移金属アルキリデン錯体である。基質は、第二のオレフィン性反応物のクロス−メタセシス反応の速度ｋ_ＣＭが、開環メタセシス反応の速度ｋ_ＲＯよりも大きいかまたは等しくなるように選択される。この方法において、主なＲＯＣＭ生成物は、ポリマーではなく、モノマー、ダイマー、および／またはオリゴマーである。本発明はさらに、基質として三置換シクロオレフィンを用いて、末端が異なるオレフィン性生成物の選択的生成および／または最初のＲＯＣＭ工程に引き続くクロス−メタセシス反応について提供する。 （もっと読む）

【課題】塗料、接着剤、粘着剤、インキ用レジン、レジスト、成型材料、光学材料等の構成成分樹脂原料として、特にレジスト用樹脂の原料として有用な（メタ）アクリル酸エステルを収率良く、また、工程数を少なく製造し、各工程の蒸留生成後の釜残の少ない製造法を提供する。
【解決手段】下記式（１）で表される化合物に飽和カルボン酸を付加して飽和カルボン酸付加体を製造する酸付加工程と、前記飽和カルボン酸付加体と（メタ）アクリル酸エステルとをエステル交換させるエステル交換工程と、を順次行うことで、下記式（４ａ）または（４ｂ）で表される（メタ）アクリル酸エステルを製造する。
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【課題】
本発明は、前記従来技術に鑑み、環状オレフィンコポリマー（ＣＯＣ）などの熱可塑性樹脂用モノマーの合成中間体や、医薬品や化粧品などの合成中間体として有用なベンゾノルボルネン−２，３−ジカルボン酸無水物類及びその工業的に有利な製造方法を提供することにある。
【解決手段】
分子量３１２の成分含量が１０ｐｐｍ乃至２０，０００ｐｐｍである下記一般式（１）で表される５，６−ベンゾノルボルネン−２，３−ジカルボン酸類組成物。 （もっと読む）

【課題】高い耐熱性を保ちつつ、高透明性、低誘電性、低吸水性、低熱膨張性、溶媒溶解性およびエッチング特性等の優れた特性を併せ持つポリイミド製造用原料モノマーとして有用な新規テトラカルボン酸系化合物を提供する。
【解決手段】下記式で表されるテトラカルボン酸系化合物。
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【課題】 機能性樹脂などの原料または中間体として高い利用価値を有するテトラシクロ［６．２．１．１^3,6．０^2,7］ドデカ−９−エン−４，５−ジカルボン酸無水物を、高純度で効率よく製造する方法を提供する。
【解決手段】 下記式（１）で表される５−ノルボルネン−２，３−ジカルボン酸無水物を含有する下記式（２）で表される粗テトラシクロ［６．２．１．１^3,6．０^2,7］ドデカ−９−エン−４，５−ジカルボン酸無水物をアルカリ化合物と接触させる。


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