【課題】フィルム、特に、無菌包装用フィルムの滅菌処理工程に好ましく適用可能であり、殺菌効果が高く、処理が迅速であり、後工程で過酸化水素を除去する手間が実質的になく、しかも過剰な過酸化水素を消費せずに済むフィルムの滅菌処理方法、無菌充填方法、フィルムの滅菌処理装置および無菌充填装置を提供する。
【解決手段】フィルム表面を滅菌する滅菌処理方法であって、フィルムの少なくとも片側表面に過酸化水素ガスを吸着させる過酸化水素ガス吸着工程と、該過酸化水素ガス吸着工程の後に過酸化水素ガスを吸着させたフィルム表面が暴露される空間において大気圧下で気体の少なくとも一部を電離させる気体電離工程とを有することを特徴とするフィルムの滅菌処理方法。 （もっと読む）