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Fターム[4C092AB12]の内容

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【課題】極端紫外光を放射するプラズマを生成するための理想的な面状放電を発生させることが可能なプラズマ光源を提供する。
【解決手段】プラズマ光源であって、互いに対向配置され、極端紫外光を放射するプラズマを発生すると共に前記プラズマを閉じ込める一対の同軸状電極10と、各同軸状電極10に対して極性を反転させた放電電圧を印加する電圧印加装置30とを備え、各同軸状電極10は、単一の軸線Z−Z上に延びる棒状の中心電極12と、中心電極12と一定の間隔を隔て、且つ中心電極12の周方向に配置された複数の外部電極14と、中心電極12及び複数の外部電極14を絶縁する絶縁体16とを有する。 (もっと読む)


【課題】大規模な構成の高電圧スイッチ回路が不要で、消費電力が低減され、被曝低減を十分になしうる高電圧スイッチ回路およびこれを用いたX線パルス発生装置を提供する。
【解決手段】高電圧スイッチ回路6は、交流信号が1次側に入力されるパルストランスPTR1、該トランスの2次側に接続されたゲートドライブ回路GD1、および該ドライブ回路によりオンオフ制御される半導体スイッチSw1からなる第1の半導体スイッチ回路S1と、該半導体スイッチ回路に順次直列接続され,該半導体スイッチ回路と同構成の第2〜第nの半導体スイッチ回路Snとを備える。第1〜第(n−1)の半導体スイッチ回路のパルストランスの2次側はそれぞれ第2〜第nの半導体スイッチ回路のパルストランスの1次側に接続され、交流信号に基づいて、第1〜第nの各半導体スイッチ回路における半導体スイッチがゲートドライブ回路によって同期的にオンオフ制御される。 (もっと読む)


【課題】安定してEUV光を生成する。
【解決手段】レーザ装置を備えた極端紫外光生成装置は、前記レーザ装置から出力されたレーザ光を導入するウィンドウを備えたチャンバと、前記チャンバ内部の所定位置付近にターゲットを出力するターゲット供給部と、前記所定位置付近に前記レーザ光を集光するレーザ集光光学系と、前記所定位置付近を通過したレーザ光の像を検出する検出器と、前記所定位置付近における前記ターゲットの通過位置を調整するターゲット位置調整装置と、前記所定位置付近における前記レーザ光の集光位置を調整するレーザ集光位置調整装置と、前記検出器で検出された像に基づいて、前記ターゲット位置調整装置と前記レーザ集光位置調整装置とを制御する制御部と、を備えてもよい。 (もっと読む)


【課題】レーザ光を安定させる。
【解決手段】レーザ装置は、外部装置と共に用いられるレーザ装置であって、パルスレーザ光を出力するマスターオシレータと、前記マスターオシレータに接続される第1の電源と、前記マスターオシレータから出力される前記パルスレーザ光の光路上に配置される少なくとも1つの増幅器と、前記少なくとも1つの増幅器に高周波電圧を印加する少なくとも1つの第2の電源と、前記マスターオシレータと前記少なくとも1つの増幅器との間の光路上に配置される少なくとも1つの光シャッタと、前記外部装置からの信号に基づいて、前記レーザ装置を制御するレーザコントローラと、を備えてもよい。 (もっと読む)


【課題】EUV光を生成する部品の位置合わせ精度を向上する。
【解決手段】フレームと、極端紫外光の生成が内部で行われるチャンバと、チャンバの内部にターゲット物質を供給するためのターゲット供給部と、フレームとチャンバとをフレキシブルに接続するための第1の接続部材と、ターゲット供給部をフレームに固定するための機構と、ターゲット供給部をチャンバにフレキシブルに接続するための第2の接続部材と、を備えてもよい。チャンバには貫通孔が形成されてもよく、第2の接続部材は、チャンバの貫通孔の周囲と、ターゲット供給部とをフレキシブルに接続し、チャンバを密閉するためのフレキシブル管であってもよい。 (もっと読む)


【課題】X線源の所望しない高電圧効果による絶縁の制御性を改良する。
【解決手段】X線源は、電気回路を収容するファラデーシールド(210)と、高電圧電源と、絶縁変圧器とを含み、絶縁変圧器の巻線(190)が同軸状に遮蔽され、この遮蔽部分(193、194)がファラデーシールドへの連続部分を形成する。絶縁変圧器の巻き線が、変圧器の一時巻線が変圧器コアを介して接続される二次巻き線を含み、変圧器の二次巻き線はファラデーシールド内の回路に電力を供給する。 (もっと読む)


【課題】パルス状の放射線ビームを間欠的に照射する放射線透視・撮影装置において、放射線源の陰極と陽極とに流れる電流を正確にフィードバック制御することができる放射線透視・撮影装置を提供する。
【解決手段】本発明によれば、パルス発生の間に両極3a,3bに流れた電流を示すパルス平均電流bと管電流の設定値sとを比較することにより、両極3a,3b間に流れる電流をフィードバック制御するようになっている。パルス発生の間に両極3a,3bに流れた電流の量を平均電流時間積bで表すようにすれば、両極3a,3b間に流れる電流を正確に表した値を利用して両極3a,3b間に流れる電流の過不足を判定することができる。したがって、両極3a,3b間に流れる電流を正確にフィードバック制御することが可能となる。 (もっと読む)


X線発生装置は、プラズマチャンバと、プラズマチャンバに磁場を印加し、構造を変更することなくプラズマチャンバ内の最小磁場の大きさを調節できるように構成された磁石部と、プラズマチャンバにマイクロ波を注入するマイクロ波発生部と、プラズマチャンバ内に注入され、磁場及びマイクロ波による電子サイクロトロン共鳴を通じてX線を生成する反応気体と、生成されたX線を集束する可変型ガイド、及び集束されたX線をプラズマチャンバから出力する可変型引き出し部と、を含む。 (もっと読む)


X線ビーム258を発生するX線管260が提供される。前記X線管は、x方向におけるフォーカルスポット偏向に対する静電グリッド256を有することができ、前記静電グリッドは、陰極250のいずれかの側に取り付けられる。更に、前記X線管は、y方向におけるフォーカルスポット偏向に対する電磁コイル260を有することができ、双極子を形成する前記電磁コイルは、前記X線管の外部に取り付けられ、電子ビーム255が曲の間を通過するように前記陰極と陽極206の標的との間に位置する。前記静電グリッド及び前記電磁コイルは、互いに離れて配置され、電磁z偏向と協力する静電x偏向の組み合わせを提供する。
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【課題】X線発生装置のメンテナンス時間を短縮することを可能とするX線発生装置、X線コンピュータ断層撮影装置及びX線診断装置の提供。
【解決手段】X線を発生するX線管8と、X線管8に印加する管電圧を発生する管電圧発生部35と、X線管8にフィラメント電流を供給するフィラメント電流供給部39と、当該管電圧のもとフィラメント電流に応じてX線管8に流れる管電流を測定する管電流測定部41と、管電流測定部41にて測定された複数の管電流の値と複数の管電流のそれぞれに対応する複数のフィラメント電流の値のデータを記憶する制御装置記憶部43と、複数の管電流の値と複数のフィラメント電流の値との複数の点を通る管電流とフィラメント電流とのエミッション特性を高次の補間法によって推定するエミッション特性推定部47と、を具備する。 (もっと読む)


【課題】集束手段への印加電圧を最適化して制御し、ひいてはX線を最適に制御することができるX線発生装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ターゲット13への印加電圧(ターゲット電圧)、電子ビーム量に関する電流(管電流)およびフォーカス電極12による電子ビームBの径を最適化するフォーカス電圧の相関関係を記憶した最適値テーブル28と、最適値テーブル28によって記憶された相関関係、管電流およびターゲット電圧に基づいてフォーカス電圧を最適値に変更するように制御するフォーカス電圧制御部29とを備える。管電流およびターゲット電圧に基づいてフォーカス電圧をフォーカス電圧制御部29は最適値に変更することができる。その結果、フォーカス電圧(集束手段への印加電圧)を最適化して制御し、ひいてはX線を最適に制御することができる。 (もっと読む)


プラズマからEUV光を供給する極紫外線(EUV)光源を提供する。プラズマチャンバに位置決めされてそこで生成されたEUV光を反射するための光学器械とレーザ入力窓とを有するLPP−EUV光源を開示する。この態様に対しては、EUV光源は、窓コーティング劣化を回避するために窓がより低いガス状エッチング液圧に露出されている間に、光学的洗浄のために光学器械をガス状エッチング液圧に露出するように構成することができる。別の態様では、EUV光源は、ビーム経路上で光との第1の相互作用に参加するようにビーム経路に沿って位置決め可能なターゲット材料と、光増幅器と、第1の相互作用から散乱した光子を光増幅器内に誘導し、EUV発光プラズマを生成するターゲット材料との次の相互作用ためにビーム経路上にレーザビームを生成する少なくとも1つの光学器械とを含むことができる。 (もっと読む)


【課題】デュアルエナジーサブトラクション法による撮影では同一撮影位置について管電圧を変えて撮影される2枚の画像の時間間隔をできるだけ短くするために、2回の撮影はフィラメント電流値を変えずに行われるが、低管電圧撮影側の撮影は許容値よりかなり小さい管電流でしか行われないため撮影時間が長くなり、動きのある部位については運動のボケにより画質が低下した画像しか得られない。
【解決手段】3極X線管11を用いて、フィラメント電流を低管電圧撮影時に許容最大電流を流す電流値に設定し、高管電圧撮影時にはグリッド電圧制御部10によりグリッド9に負の電圧を印加して、高管電圧に対する許容最大電流以下になるように制御し、低管電圧撮影時にはグリッド9に印加する電圧を0にして低管電圧に対する許容最大電流を流すようにする。 (もっと読む)


【課題】X線管が放電したとき、画像ノイズの発生を防止するため、あるいはX線管やX線装置を保護するために、放電が検出されると一定時間高電圧の印加が停止されるが、現実的には放電の強度は一定ではなく毎回異なっている。そのため放電の強度が大きい場合、高電圧の印加を停止する時間が終了して再度高電圧が印加されると再び放電することがあるし、逆に放電の強度が小さい場合、必要以上の期間高電圧の印加を停止することにより、必要以上に撮影X線を欠落させることがある。
【解決手段】微分回路11および比較回路15により放電の発生を検出したら、ピーク電圧保持回路12により放電強度に相当する電圧を保持し、電圧・パルス幅変換回路13により放電強度に相当する長さのパルスを発生し、このパルス幅の時間だけ高電圧の発生を停止する。 (もっと読む)


【課題】X線管への印加電圧を高速で昇降でき、出力が変動するX線を高い周波数で連続的に発生することができるX線検査装置用のX線発生装置を提供する。
【解決手段】陰極12から熱電子を発生し印加電圧で加速して陽極14に衝突させX線を発生するX線管10と、印加電圧を一定周期の正弦波状に変動させて発生する変動電圧発生装置20とを備える。変動電圧発生装置20は、印加電圧の直流成分を発生させる直流高電圧回路22と、印加電圧の交流成分を発生させる交流高電圧回路24とを有する。直流高電圧回路22の−端子23aはX線管の陰極に接続され、直流高電圧回路の+端子23bは管電流検出抵抗22eを介して接地される。また、交流高電圧回路24は、1対の出力端子25a,25bを有し、その一方25aはX線管の陽極に接続され、他方25bは接地されている。 (もっと読む)


【課題】X線管が発生する熱を効率よくハウジング外へ放出できるX線発生装置を提供する。
【解決手段】X線管4や受動素子等が収容され、かつ絶縁油5が充満されたハウジング2と、ハウジング2の開口部を密閉する蓋体3と、蓋体3の外側面に設置された放熱手段17とを備えたX線発生装置のハウジング内に、X線管4を収容するX線管室2fと、受動素子等を収容する受動素子室2gとに区画する遮蔽手段6を設けると共に、X線管室2f内の絶縁油5と接する蓋体3の外側面に放熱手段17を設置したもので、X線管4より発生された熱は、絶縁油5から蓋体3に設置された放熱手段17に直接伝熱された後、放熱手段17によりハウジング2の外部へ放出されるため、X線管4より発生された熱を高効率でハウジング2外へ放出することができる。 (もっと読む)


【課題】反跳電子捕獲量や焦点寸法などを任意に可変設定できるX線管装置1を提供する。
【解決手段】電源制御装置41により、陰極12と反跳電子捕獲構造体31との間の電位差と陽極ターゲット14と反跳電子捕獲構造体31との間の電位差との割合を可変する。電位差の割合の可変により、陽極ターゲット14で反跳した反跳電子を反跳電子捕獲構造体31で捕獲する反跳電子捕獲量や、陰極12から陽極ターゲット14に向かう熱電子eの焦点寸法を可変できる。
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電圧逓倍回路は逓倍回路段のチェーン接続を有する。夫々の逓倍回路段STGjは、第1及び第2の入力IP1j、IP2jと、第1及び第2の出力OP1j、OP2jとを有し、逓倍回路段の第1及び第2の出力は、他の逓倍回路段の夫々の第1及び第2の入力へ結合され、夫々の逓倍回路段STGjは、第1の入力IP1jと第1の出力OP1jとの間に同じ導電方向で結合される2つのダイオードD1j、D2jの直列ダイオード配置を有する。夫々の逓倍回路段STGjは、第1の入力IP1jと第1の出力OP1jとの間に結合される第1のコンデンサC1jと、第2の入力IP2jと第2の出力OP2jとの間に結合される第2のコンデンサC2jとを更に有する。夫々の逓倍回路段STGjは、ダイオードD1j、D2jを流れる電流の時間の関数としての電流分布を一様にする等化手段VLSj;C2j、C3j、C4j、望ましくはコンデンサCsiを有する。
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本発明のX線源は光ファイバーケーブルに沿って伝播するレーザー光とともに加熱されるカーボンナノチューブ電界放出カソードを含む。結果として作製される本発明の2端子X線管は菅の電圧及び菅の電流の独立した制御を可能にする。菅の電圧の制御は通常、制御電極を使用して達成され、菅の電流は熱的な調節によって制御される。本発明はX線源のビーム電流を正確に測定するための技術を提供する。この技術はカソードを活性化すること、出力X線放射の所望の線量が達成されるまでレーザーの強度を調節すること、及びX線管の全電流を測定することを含む。次に、カソードは電子ビームをオフにするためにオフにされる。そして、X線管の電流が再度測定される。カソードはその後すぐに、再びオンにされる。上述のX線管の電流の2つの値の間の差は正確なX線管のビーム電流を与える。
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【課題】 適正露出での透視撮影が可能となるまでの時間を短縮すること。
【解決手段】 X線発生器1とX線検出器2から成る撮影装置によって、被検体の透視像を得、X線検出器の受像エリア内に設けた露出検出エリア11における輝度レベルを基に、X線条件を制御するX線診断装置において、撮影装置または寝台10の移動方向と移動速度とから、所定時間後に露出検出エリアに到達すると予測される所望の観察部位の位置に新たな露出検出エリア11aを設定し、新たな露出検出エリアから輝度レベルを得てX線曝射条件を制御するようにした

これにより、適正露出レベルでの透視撮影ができるようになるまでの時間が短縮できる。 (もっと読む)


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