【課題】Ｘ線照射手段側のＸ線照射のＯＮ／ＯＦＦ状態を検出する、あるいはＸ線照射手段側のＸ線照射の異常を検出することができるＸ線制御装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線管２１も含めてＸ線発生装置３１の消費電流に基づいて、Ｘ線照射のＯＮ／ＯＦＦ状態を電流検出回路１１ａが検出することで、消費電流をモニタリングすればＸ線発生装置３１側のＸ線照射のＯＮ／ＯＦＦ状態を検出することができる。また、当該消費電流とＸ線照射条件との比較に基づいて、設定されたＸ線照射条件における電流と、実際にモニタリングされている消費電流との間に不一致が生じる場合には、Ｘ線照射の異常を電流検出回路１１ａが検出することで、消費電流をモニタリングすればＸ線発生装置３１側のＸ線照射の異常を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】 陽極ターゲットの冷却特性を向上させることができる、信頼性の高いＸ線管装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線管装置は、陰極と、陽極ターゲットと、真空外囲器と、陽極ターゲットへの電子の衝突に伴って発生する熱が伝えられる熱伝達面１ｓと、を有したＸ線管１と、循環流路１０と、循環ポンプ２０と、ベローズ機構と、圧力調整機構６０と、を備えている。ベローズ機構は、冷却液充満空間３３と、ガス充満空間３４と、に隔て、水系の冷却液３の温度変化による体積変化を吸収する伸縮自在のベローズ３２を有している。圧力調整機構６０は、ベローズ機構のガス充満空間３４に連通され、ガス充満空間のガスの圧力を調整可能である。 （もっと読む）

【課題】 電源設備容量を抑えることが可能なＸ線高電圧装置を提供することを目的とする。
【解決手段】Ｘ線高電圧装置は、商用電源から直流電圧を発生する直流電源部１１００と、直流電源部の発生する直流電圧を高周波の交流電圧に変換するインバータ部１２００と、インバータ部の出力する交流電圧を昇圧してＸ線管に供給する高電圧発生装置１３００と、電力を蓄積するキャパシタ部１４００と、制御部１６００とを有する。キャパシタ部１４００は、直流電源部１１００と並列にインバータ部に接続されている。制御部１６００は、直流電源部からインバータ部へ入力される直流電圧が所定の電圧に満たない場合に、キャパシタ部１４００から直流電圧をインバータに供給させる。 （もっと読む）

【課題】省スペース化が可能で、被検体の無効被爆を防止できる高電圧発生装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線管に供給する管電圧を生成する回路と、管電圧を降下させた際に回路内の電荷を放電する波尾遮断回路と、管電圧生成回路および放電回路を収容する筺体と、前記容器内に満たされた電気絶縁油とを有する。筺体の一面には、内部空間が筺体内の空間と連通した伸縮性容器が連結され、伸縮性容器には放熱ユニットが搭載されている。これにより、筺体の一面のみで、電気絶縁油の膨張を吸収できるとともに、電気絶縁油を冷却することができる。 （もっと読む）

【課題】ＬＰＰ型ＥＵＶ光源装置において、簡単な構成によりプラズマ発生室内の真空度や清浄度を高める。
【解決手段】液滴生成室１００と、該液滴生成室と開口部１０１ａを介して接続されているプラズマ発生室１１０と、プラズマ生成室内にターゲット物質を供給するノズル１０２と、ノズルから供給される溶融金属のターゲット物質に基づいて、繰り返し滴下する溶融金属の液滴１０８を生成するピエゾ素子１０３及びピエゾドライバ１０６と、生成されたターゲット物質の液滴１０８ａが、開口部を通過するのを妨げる液滴遮断ユニット１０７と、液滴遮断ユニットが所定のタイミングで動作するように制御する制御部１１５と、レーザ光を出射するレーザ光源１１１と、レーザ光源から出射したレーザ光を、液滴生成室において生成され、開口部を通過してプラズマ発生室に導入されたターゲット物質の液滴１０８ｂに照射させるレンズ１１２とを含む。 （もっと読む）

【課題】 回転軸方向に複数のX線発生点が配置されたX線管装置の冷却効率を向上させ、X線管内の過熱を防止できる構造のX線管装置を提供すること、及びそのX線管装置を搭載するX線CT装置を提供することである。
【解決手段】 電子線を発生する陰極と、前記電子線が照射された点であるX線発生点からX線を放射する陽極と、前記陰極と前記陽極を真空雰囲気内に保持する外囲器と、を備えたX線管装置であって、前記陰極と前記陽極からなる対を2つ有し、2つの陽極はX線発生点を有する面の裏側が対向するように配置されており、2つの陽極の間に冷却媒体を流すための冷媒流路をさらに備えたことを特徴とするX線管装置である。 （もっと読む）

【課題】 大気に曝されるＸ線透過窓の腐食を、Ｘ線透過性を損なわず、かつ低コストで低減することができるＸ線発生装置及びＸ線発生装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 Ｘ線発生装置は、真空外囲器１８０と、真空外囲器１８０内に設けられたＸ線発生手段と、真空外囲器１８０に接続され、真空外囲器１８０を密閉し、ベリリウムで形成され、Ｘ線発生手段が発生したＸ線を透過して大気側に放射させるＸ線透過窓１８２と、保護膜Ｆと、を備えている。保護膜Ｆは、Ｘ線透過窓１８２の大気に露出する側の表面の少なくとも一部を覆い、Ｘ線透過窓１８２と、ベンゾトリアゾール又はその誘導体と、の反応被膜である。 （もっと読む）

【課題】紫外線レーザを用いるタイプのＸ線発生装置は内視鏡に組み込んで生体内へ挿入可能であり、かかる使用時において新たな用途の開発が求められる。
【解決手段】紫外線レーザ発生装置５１から放出される紫外線レーザを電子線放出素子の紫外線レーザ受光面２１に照射し、電子線放出素子において紫外線レーザ受光面と異なる電子線放出面２３から放出される電子線を金属片へ照射し、該金属片からＸ線を発生させるＸ線発生方法において、紫外線レーザとして、単位パルス強度を１０００μジュール以下とし、単位パルスの幅を１００ｎｓ以下のものを使用し紫外線レーザ受光面の物質の変性を防止する。かかるＸ線発生装置とともにＸ線照射部位から放出される各種の光を検出する検出器を備える。 （もっと読む）

【課題】紫外線レーザを用いるタイプのＸ線発生装置は内視鏡に組み込んで生体内へ挿入可能であり、かかる使用時において安全性を確保する。
【解決手段】紫外線レーザ発生装置から放出される紫外線レーザを電子線放出素子１０３の紫外線レーザ受光面に照射し、電子線放出素子において紫外線レーザ受光面と異なる電子線放出面から放出される電子線を金属片１０４へ照射し、該金属片からＸ線を発生させるＸ線発生方法において、紫外線レーザとして、単位パルス強度を１０００μジュール以下とし、単位パルスの幅を１００ｎｓ以下のものを使用し紫外線レーザ受光面の物質の変性を防止する。電子線放出素子をアースすることによりＸ線の発生を停止できる。 （もっと読む）

【課題】本発明の実施形態は、アパーチャの付近におけるビーム位置合わせのリアルタイム測定を提供することを目的とする。
【解決手段】 プラズマの形態であるＥＵＶ放射源は、ＥＵＶリソグラフィ装置内の放射源コレクタモジュールの出口アパーチャを通過するように仮想放射源点に合焦される。プラズマ位置は、モニタリング信号を用いて３つの方向、Ｘ、Ｙ、Ｚにおいて制御される。光音響効果を利用することによって、モニタリングは、出口アパーチャを囲むコーンの材料に結合された音響センサを用いて非侵入形式で達成される。放射ビームの様々な角度位置を、相対的な到着時間または位相に基づいて様々なセンサからの信号同士を区別することによって、および／または、信号の振幅／強度を比較することによって推定することができる。シーケンサ機能を用いてビーム位置に意図的なオフセットのシーケンスを導入することができる。 （もっと読む）

【課題】絶縁構造を強化することで、針治療を行う術者の作業性が良好なＸ線管装置を提供するものである。
【解決手段】ハウジング内のインサート部に収容したＸ線管からＸ線を曝射するＸ線管ユニットと、一対のシールドケーブルで前記Ｘ線管ユニットに電源を供給する電源ユニットとの間において、インサート部がそのケースに接続されたアノードとカソードを含み、アノードが接続されたインサート部のケースが一方のシールドケーブルの芯線によってハウジングに接触することとなく、電源ユニットのケース内の正極側と接続されて接地される構造と、ハウジングが前記インサート部を絶縁して内部に固定、保持し、一対のシールドケーブルのシールド線によって電源ユニットのケースに接続され、かつ接地される構造と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】電気電子製品製造工程でのＰＣＢに部品を装着した上、ハンダ付け作業後に製品の信頼性を確保するために、被測定物をｘ、ｙ、ｚ軸への移動だけでなく、回転して多様な角度での検査が可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】ケース内部に設けられたステージ、Ｘ線チューブ、ディテクターから構成され、被測定物を前記ステージに載置させ、前記Ｘ線チューブでＸ線を照射し前記ディテクターで撮像し被測定物を検査するＸ線検査装置において、前記ステージは回転自在に構成される回転ステージ、または一側に偏って通孔された部分に回転自在に設けた円形の回転ステージを有し、前記回転ステージは、下部に連結棒が構成され、この連結棒の下段に回転モーターが取り付けられ、この回転モーターは固定フレームによって前記ステージに固定されるように構成し、前記回転モーターの回転によって前記回転ステージが回転するように構成することで解決した。 （もっと読む）

【課題】 ハウジングの破損を防止することができる回転陽極型Ｘ線管装置を提供する。
【解決手段】 回転陽極型Ｘ線管装置は、陰極３６と、陽極ターゲット３５ａと、ガラスで形成された真空外囲器３１と、回転体２と、固定体１と、を有したＸ線管３０と、回転体を回転させるステータコイル９１０と、ハウジング２０と、防護体７０と、冷却液７とを備えている。防護体７０は、真空外囲器３１及びハウジング２０の少なくとも一方に固定され、真空外囲器３１及びハウジング２０間に位置し、真空外囲器３１及びハウジング２０に隙間を置いて設けられ、Ｘ線を透過させるＸ線透過窓７１を有している。 （もっと読む）

【課題】 製造コストを低減できる回転陽極型Ｘ線管装置を提供する。
【解決手段】 回転陽極型Ｘ線管装置は、陰極３６と、陽極ターゲット３５ａと、真空外囲器３１と、回転体２と、固定体１と、を有したＸ線管３０と、回転体を回転させるステータコイル９１０と、ハウジング２０と、Ｘ線遮蔽体８０と、冷却液７とを備えている。Ｘ線遮蔽体８０は、真空外囲器３１及びハウジング２０の少なくとも一方に固定され、真空外囲器３１及びハウジング２０間に位置し、真空外囲器３１及びハウジング２０に隙間を置いて設けられ、Ｘ線を透過させるＸ線透過窓８１を有している。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線管装置の故障を防止したり、使用不能となる前にＸ線管装置を交換したりするとともに、Ｘ線管装置を入手するだけで、使用方法改善のための検討が行えるＸ線管装置及びそれを用いたＸ線装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線装置本体１０１に取り付けられ、フィラメント１２から放射された熱電子をターゲット１１の端面に衝突させることで、一次Ｘ線を筐体１４の出射窓１４ａから出射するＸ線管装置１０であって、Ｘ線装置本体１０１の制御部５０と通信可能とする記憶部１８を備え、記憶部１８は、制御部５０と通信することにより、フィラメント１２の前回の使用終了日時情報、フィラメント１２への通電時間情報、フィラメント１２への通電が正常に遮断されたことを示す情報、前回高電圧の印加を終了した日時情報、高電圧印加時間情報、及び、高電圧が正常に遮断されたことを示す情報からなる群から選択される少なくとも一つの情報を記憶する。 （もっと読む）

【課題】ハウジングの破損を防止することができる回転陽極型Ｘ線管装置を提供する。
【解決手段】回転陽極型Ｘ線管装置は、陰極３６と、陽極ターゲット３５ａと、ガラスで形成された真空外囲器３１と、回転体２と、固定体１と、を有したＸ線管３０と、回転体を回転させるステータコイル９１０と、固体の樹脂材を主成分とする材料で形成されたハウジング２０と、防護体７０と、冷却液７とを備えている。防護体７０は、真空外囲器３１及びハウジング２０の少なくとも一方に固定され、真空外囲器３１及びハウジング２０間に位置し、真空外囲器３１及びハウジング２０に隙間を置いて設けられ、Ｘ線を透過させるＸ線透過窓７１を有している。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線照射装置において、制御機構等に不具合を生じた場合にも、安全機構の各部品や回路の自己診断動作が阻害されない、信頼性の高いＸ線照射装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線管球１５に電力を供給するＸ線管球電源１６、Ｘ線の照射対象を格納する試料室１１を有するＸ線照射機構１と、Ｘ線照射機構１の動作を制御する制御機構２と、試料室１１蓋１２の開閉を検知する蓋センサ３４、蓋センサ３４からの出力信号に基づき、Ｘ線管球電源１６への通電を禁止又は許可とするインターロック機構３７を有する安全機構３とを備える。安全機構３は、制御機構２からの通信を受けることなく、制御機構２から独立して安全機構３の状態を自己診断する診断機構３８を更に有する。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線管が結露した状態であるか否かを判定して、Ｘ線管を破損することを防止することができる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】 一次Ｘ線を筐体１４の出射窓１４ａから出射するＸ線管１０と、試料Ｓで発生した蛍光Ｘ線の強度を検出する検出器３０と、入力操作される入力装置８２と、入力装置８２から入力される分析開始操作信号に基づいて、ターゲット１１に高電圧を印加するとともにフィラメント１２に低電圧を印加することにより、検出器３０で検出された蛍光Ｘ線の強度を取得する制御部５０とを備える蛍光Ｘ線分析装置１であって、Ｘ線管１０の外側筐体１４の外周面に取り付けられ、水分情報を検出する結露センサ１７を備え、制御部５０は、入力装置８２から分析開始操作信号が入力された際に、結露センサ１７で検出された水分情報に基づいて、ターゲット１１に低電圧を印加するか、若しくは、ターゲット１１に電圧を印加しない。 （もっと読む）

【課題】ＬＰＰ式極端紫外光（ＥＵＶ）光源装置において長期の連続運転を可能にするため、高温に晒されるバルブを使わずに、ターゲット物質を連続して供給することができるターゲット供給システムを提供する。
【解決手段】高圧溶融槽２１と液滴発生器２２，２３とターゲット物質貯槽３０と移送機構３３を備えたターゲット供給システムにおいて、移送機構３３は、高圧溶融槽の溶融ターゲット物質２６が不足するとターゲット物質貯槽から粒状のターゲット物質３５を高圧溶融槽に移送し、高圧溶融槽が、粒状固体のターゲット物質を溶融して液滴状のターゲット１３として供給する。 （もっと読む）

【課題】絶縁油の膨張、収縮を緩衝する弾性部材が破断したことを検知できるとともに、運転の続行可否を判断できるＸ線発生装置及びＸ線検査装置を得る。
【解決手段】開口部を有しており、Ｘ線管を内包し支持する容器と、該容器内に充填され、Ｘ線管を浸漬して、絶縁する第１の絶縁油と、前記開口部を閉塞するように取り付けられたベローズとを含むＸ線発生装置であって、前記開口部及び前記ベローズの外部と第１の外部容器、管１８、第２の外部容器１９とによって形成された空間を内部に有し、前記空間に気体及び第２の絶縁油２０が貯留されている貯留器を備えている。第２の外部容器１９は、第２の絶縁油２０液面を外部から目視できる透明部１９ａと、透明部１９ａの側部に設けられ、第２の絶縁油２０液面位置を読み取る目盛り１９ｂ_１、１９ｂ_２、１９ｃ_１、１９ｃ_２、１９ｄ_１、１９ｄ_２とを有している。 （もっと読む）