【課題】ノズルの内面に堆積される燃料の汚染の結果である予期しないまたは意図的でない障害または制限の影響を未然に防ぐかまたは軽減することができるシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】本発明の第１態様によると、燃料の体積を保持するように構成されたリザーバと、リザーバと流体接続されており、かつ燃料の流れを軌道に沿ってプラズマ形成配置に向かって誘導するように構成されたノズルと、レーザ放射をプラズマ形成配置における流れに誘導して使用中に放射生成プラズマを生成するように構成されたレーザと、ノズル出口の上流で放射源の燃料流路に配置された汚染フィルタアセンブリとを含む放射源が提供される。汚染フィルタアセンブリのフィルタ媒体は、フィルタ媒体を少なくとも部分的に囲う１つ以上の物体によって提供されるクランプ力によって汚染フィルタアセンブリ内の適切な位置で保持される。 （もっと読む）

【課題】 大気に曝されるＸ線透過窓の腐食を、Ｘ線透過性を損なわず、かつ低コストで低減することができるＸ線発生装置及びＸ線発生装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 Ｘ線発生装置は、真空外囲器１８０と、真空外囲器１８０内に設けられたＸ線発生手段と、真空外囲器１８０に接続され、真空外囲器１８０を密閉し、ベリリウムで形成され、Ｘ線発生手段が発生したＸ線を透過して大気側に放射させるＸ線透過窓１８２と、保護膜Ｆと、を備えている。保護膜Ｆは、Ｘ線透過窓１８２の大気に露出する側の表面の少なくとも一部を覆い、Ｘ線透過窓１８２と、ベンゾトリアゾール又はその誘導体と、の反応被膜である。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ光発生チャンバ内に設置されたレーザ光集光光学系の光学素子の劣化を確実に検出して、的確な劣化判定を行えるＥＵＶ光源装置を提供する。
【解決手段】このＥＵＶ光源装置は、ＥＵＶ光発生チャンバ２と、ターゲット物質供給部と、ＥＵＶ光集光ミラー８と、ドライバーレーザ１２，１３と、ウインドウ６（１）（２）と、コリメートされたレーザ光を反射して集光するＥＵＶ光発生チャンバ内に配置された放物面鏡４３（１）（２）と、ＥＵＶ光の発生が行われないときに、レーザ光集光光学系によって集光された後にターゲット物質に照射されることなく発散したレーザ光のエネルギーを検出するエネルギー検出器３５（１）（２）と、エネルギー検出器によって検出されたレーザ光のエネルギーに基づいてウインドウ及び放物面鏡の劣化を判定する処理部８０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ光発生チャンバ内に設置されたレーザ光集光光学系の光学素子の劣化を確実に検出して、的確な劣化判定を行えるＥＵＶ光源装置を提供する。
【解決手段】このＥＵＶ光源装置は、ＥＵＶ光発生チャンバ２と、ターゲット物質供給部と、ＥＵＶ光集光ミラー８と、ドライバーレーザ１２，１３と、ウインドウ６（１）（２）と、コリメートされたレーザ光を反射して集光するＥＵＶ光発生チャンバ内に配置された放物面鏡４３（１）（２）と、ウインドウと放物面鏡の温度を測定する温度センサ８２（１），（２），（３），（４）と、極端紫外光の発生が行われるときに温度センサによって検出されたウインドウ及び光学素子の温度に基づいてウインドウ及び放物面鏡の劣化を判定する処理部８０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線管のメンテナンスを行うべきか否かの判断をすることができなかった。
【解決手段】カソードとアノードとによって加速した電子線を電子光学系によってターゲットに導いてターゲットからＸ線を出力させるＸ線出力部と、前記Ｘ線出力部によって出力されたＸ線の照射範囲にサンプルを配置するサンプル配置部と、前記照射範囲内のＸ線を取得してＸ線画像を取得するＸ線画像取得部とを含むＸ線検出器において、前記Ｘ線出力部における性能の劣化を示す複数のパラメータを取得して性能の劣化に関する出力を行う。 （もっと読む）