【課題】製造性を向上でき小型化が可能なＸ線管を提供する。
【解決手段】真空外囲器２内の真空コンデンサ８をフィラメント６と収束電極７との間に直列に接続する。真空コンデンサ８一対の平行平板11,12の内側面に仕事関数の低い金属の被覆層14を形成する。収束電極７に印加するバイアス電圧をフィラメント６の電圧の低下時に真空コンデンサ８に取り残される電荷で発生させる。バイアス電圧のオフ時に平行平板11,12の内側面に光ファイバ15からレーザ光を照射する。光電効果によって発生する光電子を利用して真空コンデンサ８を放電させて収束電極７の電位を制御する。軟Ｘ線波尾を遮断しながらパルス状のＸ線が発生可能なＸ線管１を実現できる。Ｘ線管１のコストダウンおよび小型化が可能となる。
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【課題】 大型の設備が必要なく、小型、低コストの設備で軽元素の特性Ｘ線を効率良く発生させることが可能な新規な軽元素特性Ｘ線発生方法を提供する。
【解決手段】
２から１００ｋｅＶの低エネルギーを有する正イオンを、軽元素を含む絶縁体材料ターゲットへ照射することにより、絶縁体材料ターゲットに含まれる軽元素の特性Ｘ線を発生させることを特徴とする軽元素特性Ｘ線発生方法。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線発生器における放射線を遮蔽するための構造を提供する。
【解決手段】 Ｘ線発生器における放射線を遮蔽するための構造１であり、第１の物質から構成される少なくとも１つの第１の層１１および第２の物質から構成される少なくとも１つの第２の層１２を備えており、第１の物質は相当の熱伝達特性を備え、第２の層は相当の放射線遮蔽特性を備える。 （もっと読む）

本発明は、感光性レジストに覆われた物体を検査する照射装置に関し、その照射装置は、物体への放射線の経路を横切るシステムのみならず、ＥＵＶ放射線源と、ＥＵＶ放射線源をフィルタリングする光学系と、物体を収容するチャンバとを備える。本発明は、上記の装置を操作する方法にも関する。本発明は、複雑な光学系を用いることなく安価な実験用放射線源を用いて、複数の照射領域への、少なくとも一部同時の、異なった線量の照射ができる限り速く得られることを目的とする。従って、本発明は、シンプルでコンパクトな光学系を備える装置を提供し、照射される物体の前面に閉口可能なダイアフラム開口部を配置し、放射線の経路に少なくとも１つの制御センサーを配置し、放射線量の測定を可能にする。
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【課題】電子放出素子アセンブリに電子を放出させる信号を供給する電気制御線を真空容器の壁面を貫通させて取り回しする必要をなくす。
【解決手段】電子放出素子アセンブリ、並びに電子ビームを発生する方法を提供する。電子放出素子アセンブリは、光を放出するように構成された光源（８０）を含む。電子放出素子アセンブリはさらに、電子放出素子（７４）に結合されて動作する光応答素子（１０４）を含む。光応答素子（１０４）は、電子放出素子（７４）に、光の受光に応答して電子を放出させる。最後に、電子放出素子アセンブリは、電子放出素子（７４）から放出された電子を受領するアノード（７７）を含む。 （もっと読む）

電子バンチを貯蔵するための電子貯蔵リングを備えるコンプトン後方散乱Ｘ線源が提供される。タイミングシステムが、Ｘ線の放出に関する少なくとも１つの属性を向上させるものが選択されたスケジュールに従って、軌道を回っている電子バンチをリフレッシュする。一実装形態では、電子バンチは、少なくとも約１０Ｈｚの周期で周期的にリフレッシュされる。 （もっと読む）

本発明は、特にＸ線源の電子ビームの電子のために透明な窓の製造方法に関する。そのような窓の余り高価でなく精巧でない製造を可能にするために、並びに、窓フォイル（２）を損傷し得る望ましくない鋭利な縁を窓領域内で防止するために、電子（Ｅ）の透過のための通し孔（１２）を含むキャリア素子（１）に窓フォイル（２）を固定するために用いられるはんだ付け材料（３）を収容するための収容領域（１３，１６）を、窓フォイルが固定されるべきキャリア素子の表面（１１）の上に設けるステップと、実質的に収容領域（１３，１６）のみがはんだ付け材料（３）で充填されるよう、収容領域（１３，１６）を有する表面（１１）をはんだ付け材料（３）で覆うステップと、窓フォイル（２）を表面（１１）の頂面に載せるステップと、窓フォイル（２）を表面（１１）に固定するために前記はんだ付け材料（３）を加熱するステップとを含む。
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